上海嘉定“超越摩尔”中试线建成投产 新成立基金加速行业发展

中科院上海为系统与信息技术研究所所长、上海微技术工研院负责人王曦在仪式上发言介绍：“上海微技术工研院构建的这条8寸“超越摩尔”研发中试线，提供从研发到批量量产的全程服务，打造完整的“超越摩尔”产业链，推动“超越摩尔”技术和物联网创新应用的快速发展。 研发中试线专注于“超越摩尔”产品与技术， 整个中试线拥有近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房，一期已建成了3000平米。 可以全面开展表面、体、3D微纳加工技术以及新工艺、新器件、新系统的研发和量产，将重点部署了MEMS、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备，并开发完整、可靠的工艺，使超越摩尔产品和技术能够无缝地实现中试和量产，为国内外客户提供优秀的全程服务。” 王院士指出，这条8寸线的建设， 从启动建设到落成运营， 大约经历了1年时间，能够在那么短的时间内完成一个晶圆厂的建设，创立了一个国内行业的记录。

图：中国工业和信息化部原部长杨学山、中国工业和信息化部电子司副司长吴胜武、国家集成电路产业投资基金有限公司总裁丁文武、上海市科学技术委员会主任寿子琪、上海市嘉定区区委书记马春雷等领导等多位领导出席上海微技术工业研究院（SITRI)“超越摩尔”研发中试线启动剪彩仪式

IDC发布的报告指出，至2020年全球物联网市场规模将达到1.7万亿美元，作为物联网产业中的重要一个环节，传感器同时也迎来最佳的市场机遇。过去中国的传感器的供应商，主要都是来自国外的厂商。但是近年来中国传感器企业也不断取得研发技术上的突破，但要实现商业上的量产与客户的采用，还需要在国内有更好的生产产能与技术上的支持。为此，上海微技术工研院，在产业基金与政府的支持下，通过一年的时间，花费5亿元在上海嘉定区建成第一期生产线，为支持国产传感器的试产与量产，提供了生产产能与工艺上的保障。

上海微技术工研院“超越摩尔”研发中试线厂长运营副总裁游家杰在接受记者采访时也透露，该8寸线产线的月产能3000片，最高工艺0.35微米，员工规模在60~70名。10月份将会有第一批传感器芯片正式投产下线。

好事成双，国内传感器行业在活动中再次迎来好消息。规模达50亿的“超越摩尔”产业基金在峰会开幕式上举行了签约仪式。相比之前成立针对半导体产业的2500亿大基金，本次签约的“超越摩尔”产业基金将会专门针对MEMS传感器领域的初创企业提供资金上的支持。

在研发中试线启动剪彩仪式完成后，电子工程专辑记者也一同参观了这座8寸线的工厂车间。众多先进的晶圆加工设备，第一次曝光在媒体上。下面是记者拍到的车间设备的相片，相信芯片设计的工程师们也一定会跟记者一样，为此感到兴奋与自豪。

图：中科院院士中国科协副主席王曦还在2017全球传感器与物联网产业峰会暨SENSOR CHINA开幕式上作主持并发言。

国家集成电路产投资基金有限公司总裁丁文武发表讲话。作为2500亿大基金的负责人，丁文武表示，大基金以1比5的规模带动了很多来自其他领域的投资进入到集成电路产业。万亿资本投到中国半导体领域，中国半导体行业将迎来高速的发展。

图：2017全球传感器与物联网产业峰会开幕式现场

Sensor China 2017活动由中国传感器与物联网产业联盟主办，产业活动主题覆盖传感器技术的创新、传感器产业链建设包括设计、制造、封测和集成等，聚焦智能系统的应用，覆盖智能网联汽车、智慧医疗、人工智能、工业物联网、物联网通信、智能家居等物联网产业的应用热点，中国传感器物联网产业联盟作为国际性的交流平台构建中国本土的产业生态圈，落地国家传感器和物联网产业战略，活动预计参展企业250余家，会议13场，预计参观观众的人数将达到1.5万人左右。

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