广告

紧追摩尔定律,第二代EUV设备将在2024年量产

2016-11-14 11:01:00 Rick Merritt 阅读:
ASML宣布投资光学大厂Carl Zeiss,合作开发下一代0.5NA版本EUV系统。
广告

在第一套极紫外光(EUV)微影设备正式出货之前,荷兰半导体设备大厂ASML透露了产业界期待已久的后续计划;该公司表示将投资并与光学大厂蔡司(Carl Zeiss)合作,推出数值孔径(numerical aperture,NA)高于0.5的版本,但该新一代设备要到2024年以后才会量产。

ASML表示准备投资20亿美元进行上述新设备的开发,将以11亿美元现金收购蔡司24.9%的股份;此外ASML将一次投资约2.44亿美元在合作研发项目上,并在接下来六年于资本设备以及其他需求方面加码投资6亿美元。

上述合作案再一次说明了半导体产业界追赶摩尔定律(Moore’s Law)的任务,是如何地越来越复杂、得付出的代价也更高。目前最先进的芯片线宽小至35纳米,而第一代EUV系统将采用0.33NA的光学镜片实现约13纳米的线宽;而0.5NA版本将能实现约8纳米的线宽。

市场研究机构VLSI Research总裁Risto Puhakka表示:“ASML在以往不曾直接投资供应链上的任何厂商,而且是收购那么大比例的股份;这显示要打造新一代的系统是个高风险任务,同时显示投资了大笔资金的ASML确实信心满满。”

除了宣布与蔡司的合作案消息,ASML也表达了对其即将准备支持量产的第一代EUV系统之乐观预期;该公司首席执行官Peter Wennink表示:“预期到2018年,将有第一批采用现有技术之EUV扫描机的芯片在我们的客户生产在线量产出货。”

那些第一代以EUV微影设备量产的芯片,会是采用ASML将在明年正式出货、预期吞吐量可达每小时125片晶圆、微影迭对(overlays)误差容许度在3纳米以内的NXE:3400B系统;在最近的分析师会议上,ASML表示目前有4家逻辑芯片制造商、2家内存芯片制造商公开表示他们将在2018年左右采用0.33NA的EUV系统进行量产。

至于0.5NA系统预期将达到每小时185片晶圆产量,迭对误差容许度小于2纳米;在新一代的设备问世之前,ASML期望推出0.33NA系统的升级版,可支持每小时145片晶圆产量。
20161107 ASML NT01P1
*图表中2018年的星星符号数量代表将采用EUV设备量产的芯片厂商数量,在2024年的星星符号则是代表ASML预期届时将推出0.5NA系统
(来源:ASML)*

投资庞大成本将带来的庞大优势

尺寸差不多有一间小房间那么大的EUV系统,预期要价超过1亿美元;而今日最高价的步进机一台是6,000万美元起跳。ASML表示,该公司对蔡司的投资也是考虑到了下一代光学零件所需的成本。

高度复杂的EUV系统是为了生产密度更高芯片之精细电路所需,但开发时程比预期延迟许久;以现有的浸润式步进机制造目前最高密度的芯片,得以两重或三重光罩才能实现,才能实现在技术上超越其光学设计限制的电路图形。
20161107 ASML NT01P2
*ASML预计明年正式量产第一代EUV系统NXE:3400b,接下来的新一代平台则是0.5NA系统
(来源:ASML)*

采用今日的浸润式步进机需要以三重或四重光罩才能实现的电路图形,若采用0.33NA的EUV系统预期只需要单一光罩步骤就可完成;不过半导体制程若再继续往更细微节点迈进,就算采用EUV设备也可能需要多重图形步骤,因此会有0.5NA设备需求。

ASML首席技术官Martin van den Brink在新闻声明中指出,新一代(0.5NA)系统将:“可在次3纳米节点为芯片制造商避免复杂且昂贵的0.3NA系统多重图形步骤,以单次曝光支持高生产力,并可降低单位成本。”

VLSI Research的Puhakka表示,工程师们广泛预期,在第二代EUV系统于2024年左右问世以前,还是得使用0.33NA系统进行多重图形:“很多人预期EUV系统也会需要采用多重图形方案,只是需要多少重图形、以及需要多久时间?”

尽管面临许多挑战,ASML仍看好EUV微影设备在先进半导体工艺领域的长期成功。做为交易的一部分,未来蔡司每年需要个别支付股息给自家母公司的股东以及ASML的股东,而ASML将视其投资结果:“延长其股份回购(share buy-back)计划的暂停时间;”ASML的资金将大部分应用于蔡司德国据点。

编译:Judith Cheng

本文授权编译自EE Times,版权所有,谢绝转载

EETC wechat barcode


关注最前沿的电子设计资讯,请关注“电子工程专辑微信公众号”。

本文为EET电子工程专辑 原创文章,禁止转载。请尊重知识产权,违者本司保留追究责任的权利。
Rick Merritt
EE Times硅谷采访中心主任。Rick的工作地点位于圣何塞,他为EE Times撰写有关电子行业和工程专业的新闻和分析。 他关注Android,物联网,无线/网络和医疗设计行业。 他于1992年加入EE Times,担任香港记者,并担任EE Times和OEM Magazine的主编。
  • 格芯高管团队大变动,Tim Breen担任CEO 格芯宣布了其领导层的交接计划,此次领导层交接旨在为格芯下一阶段的增长奠定基础。格芯表示,这些变动将加强公司的执行力和战略方向,使其能够更好地应对市场变化并继续推动创新......
  • 传台积电将在台湾再建两座CoWoS先进封装厂 台积电计划在 3 月前投资超过 2000 亿新台币(约合 61.2 亿美元),扩建其位于台湾南部科学园区三期的CoWoS生产设施。知情人士透露,台积电之所以做出这一决定,是因为人工智能(AI)驱动的先进封装需求比预期更为强劲......
  • 欧洲启动1nm芯片试验生产线,弥合研究与制造差距 欧洲在1nm和光芯片技术上的试验线启动,将有助于缩小研究与制造之间的差距,并推动整个半导体生态系统的发展。
  • 美国商务部:《芯片与科学法案》成果显著,将强化经济和国家安全 过去四年里,美国电子制造业的投资额已经超过此前三十年的总和,整体规划投资约达4500亿美元,堪称美国史上规模最大的半导体制造扩张。
  • CoWoS遭英伟达砍单?台积电回应 尽管市场上有传言称英伟达大幅削减了对台积电CoWoS-S封装的需求,甚至有报告指出砍单幅度高达80%,但台积电和英伟达均对此进行了否认......
  • 传塔塔电子正在与小米、OPPO洽谈代工业务 塔塔电子正在逐渐模仿富士康(Foxconn)的模式,并希望通过为智能手机厂商生产如摄像头和显示屏模块等组件,来提升自己在价值链中的位置......
  • 摩根士丹利详解全球人形机器人100 全球人形机器人领域上市公司的百强名单将人形机器人产业链区分为大脑、身体以及集成三大核心环节,覆盖全球共计100家上市公司。中国共37家企业上榜(中国大陆32家,台湾5家),其中深圳7家,占中国大陆上榜企业近四分之一,包括比亚迪、腾讯、优必选、速腾聚创、雷赛智能、兆威机电、汇川技术等......
  • DeepSeek的低成本AI模型将催生光通 DeepSeek模型虽降低AI训练成本,但AI模型的低成本化可望扩大应用场景,进而增加全球数据中心建置量。光收发模块作为数据中心互连的关键组件,将受惠于高速数据传输的需求。未来AI服务器之间的数据传输,都需要大量的高速光收发模块......
  • 全球首款骁龙®8至尊版折叠旗舰,OPP 凭借新一代3nm制程工艺与全新架构,骁龙® 8至尊版的单核和GPU 性能提升均超过 40%,使得Find N5在性能上实现质的飞跃……
  • 康佳特重磅推出aReady.IoT 简化物联网连接:应用就绪型软件构建模块
  • 比亚迪全系车型搭载高阶智驾天神之眼开创全民智驾时代 2月10日,比亚迪举办智能化战略发布会,重磅发布全民智驾战略。在整车智能战略下,比亚迪构建起天神之眼技术矩阵,其全系车型将搭载高阶智驾技术,其中天神之眼 C首批上市21款车型,覆盖7万级到20万级,包
  • 恩智浦3.07亿美元收购NPU厂商Kinara 当地时间2025年2月10日,恩智浦半导体公司 (NXP) 宣布,已与高性能、节能和可编程离散神经处理单元 (NPU) 领域的行业领导者 Kinara 达成最终收购协议。此次收购将以全现金方式进行,
  • DeepSeek推理型AI尽显高效训练的小模型之威 在IBM院士Kush Varshney看来,全球AI竞赛中的地缘政治差异,可能没有人们想象的那么重要。美通社消息,DeepSeek-R1 是中国初创公司 DeepSeek 推出的人工智能模型,不久前,
  • Microchip、ADI、TI...有订货需求找老王! 2022年下半年以来,需求下降,芯片价格跳水,芯片行情趋向寒冷,拼价格、拼服务、拼账期成为常态,持续的低迷之下,芯片人都开始靠省钱过日子。同时,我们发现,行情冷淡的时候,订货、配单、PPV(Purch
  • 40家知名日本半导体材料企业汇总! 我是芯片超人花姐,入行20年,有40W+芯片行业粉丝。有很多不方便公开发公众号的,关于芯片买卖、关于资源链接等,我会分享在朋友圈。扫码加我本人微信👇1.  信越化学(Shin-Etsu Chemica
  • 比亚迪这一次是对的,尽管也是没办法 文|乔伊比亚迪开年就整了个大的。或者换一个方式来表述:蛇年的开年暴击,全都是关于智能的。昨天,有两个新闻可以在极大程度上改变未来中国人的生活方式,乃至所有人的在人工智能环境下的生活形态。其一,是全球人
  • 全球人形机器人产业链百强榜发布 近日,摩根士丹利发布了题为《The Humanoid 100: Mapping the Humanoid Robot Value Chain》的报告,该报告公布了全球人形机器人产业链百强企业榜单。这一
  • 引领少儿 AI 编程教育革新!英荔教育率先接入 DeepSeek 2 月 8 日,英荔教育旗下核心产品英荔 AI 应用平台正式接入全球顶尖 AI 大模型 DeepSeek。通过整合 DeepSeek 的认知决策能力和英荔多年积累的教育经
  • 震撼科技圈!Meta全球大裁员! 脸书母公司Meta全球大裁员!Meta在10日宣布将裁减5%的员工、约3,600人,表现最差员工将被资遣,并加速招募机器学习工程师的速度。《华尔街日报》报道,MetaCEO扎克伯格上月发表内部声明,宣
  • 300+已报名!AI芯片与终端产业链上下游都在这场大会(赞助通道已开启) 我是芯片超人花姐,入行20年,有40W+芯片行业粉丝。有很多不方便公开发公众号的,关于芯片买卖、关于资源链接等,我会分享在朋友圈。扫码加我本人微信👇2月15日,芯片超人开年首场芯片大会,2025年AI
广告
热门推荐
广告
广告
广告
EE直播间
在线研讨会
广告
广告
广告
向右滑动:上一篇 向左滑动:下一篇 我知道了