DFM软件瞄准随机缺陷问题

为了提高IC的可制造性设计(DFM)水平，Predictions Software公司发布了PEYE Yield Finder工具，该工具可以确定IC版图中可能会引起良品率问题的特殊形状或图形。

Predictions Software公司之前有款工具叫EYES，它能通过版图样本预测每个取样位置的芯片良品率。EYES的输入是GDSII文件和代工厂特定的工艺缺陷数据。由于这些数据通常是专有的，因此EYES主要出售给集成器件制造商(IDM)或代工厂。

目前，大多数DFM工具都使用设计规则平台，Predictions Software公司副总裁Dan Nenni指出。一些DFM工具可以完成布线扩展，或增加触点和过孔，但这些功能都属于“封闭式”的DFM功能，而EYES则更进一步，可以让用户查看随机的缺陷。

图1：PEYE Yield Finder工具可指出版图设计问题

“DFM的下一个水平是所谓的系统设计缺陷。”Nenni表示，“新的PEYE Yield Finder工具可以查看设计本身和设计架构，并确定哪些是损害良品率的因素，哪些部分应该从设计中去除等等。”

PEYE Yield Finder只能查找用户要求它查找的部分。用户可以采用布尔方程或Perl脚本告诉该工具哪种形状可能会损害良品率。通常，这些信息来自于代工厂，不过有些类型的版图结构已经确知会引起良品率问题。

举例来说，在靠近多晶硅栅的一个有效区域内如果有弯曲就会导致设计中的系统故障。其它可能的问题包括宽线和窄间距的组合。用户可以采用不同的加权系数来指示哪些问题是最严重的。

PEYE Yield Finder只发现问题，它并不进行修复。用户可以使用第三方的版图编辑器完成修改。据Nenni透露，该工具可以与Cadence的Virtuoso编辑器相链接，而且Predictions Software公司还在开发与其它工具的接口。

PEYE Yield Finder工具的输入包括GDSII版图文件、工艺信息和已确认的可能会损害良品率的版图结构。与EYES不同，它不需要代工缺陷数据，因此能更方便地被无晶圆厂设计师使用。

PEYE Yield Finder一般用于模块级，它能处理GDSII代码容量高达1GB的模块，Nenni指出。虽然EYES是一款芯片级统计工具，但PEYE Yield Finder可以做几何图形的关键区域分析。这两款工具是相互独立的，但也可以一起使用以帮助设计师避免良品率问题。

PEYE Yield Finder工具已可供货，一年期许可费用为95,000美元。

作者：葛立伟