MEMS马达是一款静电马达，它能做平面内的X，Y位移和沿Z轴的旋转。它通过移动图像传感器来补偿抖动，在拍照和录像过程中保持图像稳定。与传统的基于镜头的光学防抖（OIS）相比，创新的MEMS光学防抖是一种传感器位移防抖解决方案，具有以下多项优势：
• 10ms快速响应
• 4mW超低功耗
• 亚像素级位移精度
• 没有磁场干扰
• 不增加发热
• 在低光环境和视频拍摄中提供高图像分辨率且无模糊
• 使用寿命长，通过了超过20亿次的循环测试，且图像无劣化
MEMSDrive的光学防抖（OIS），称为SensorShift，是世界上最小的MEMS OIS执行器。MEMS技术的尖端应用提供了五轴光学防抖（OIS）解决方案，以提高清晰度并实现稳定和精确的图像。使用MEMS马达，我们可以实现业内第一个手机摄像头上的5轴防抖，在pitch，yaw，roll抖动和X，Y平移抖动下都可以稳定拍照和录影。利用MEMS马达主动移动的高精度和快速响应特性，还能实现超级分辨率的应用。通过在不同方向平移图像传感器1个像素或者半个像素，并在每个位置拍照，然后合成并处理这些照片，可以得到一张4倍甚至更高分辨率的图片。
MEMS马达是在晶圆厂生产，使用12寸晶圆工艺来生产MEMS马达。利用半导体工艺，MEMS马达的产量爬坡会很快，足以满足客户大批量的采购需求，一致性非常高。