PST6747A半导体测试分析系统是一款测量与分析功率半导体器件静态参数的专用仪器，为所有类型的功率半导体器件提供静态参数测量解决方案。产品配置高精度、宽范围、大功率SMU，支持主流功率器件、功率模块和宽禁带半导体(SiC、GaN)进行IV/CV/RG/QG参数测试，满足国内半导体产业研发、检测分析等测试需求。支持3kV(可扩展为10kV)和2200A的条件下实现精确测量、分析功率半导体器件的静态参数，支持连接热流罩、温箱进行高低温测试;支持连接探针台进行晶圆测试;配备SMU板卡式资源模块，单模块具备测量和源两种功能;主要测试参数：电流分辨率fA级。测试对象涵盖：满足IGBT/DIODE/MOSFET等Si器件以及新型材料(GaN和SiC)器件的静态参数(VTH+ICES/IDSS+IGES/IGSS+VCEsat+RDSON+VDSON+V(BR) CE+VF/VSD等)CISS+COSS+CRSS曲线测试需求。该产品高校与研究院方向主要用于功率类教学用具，科研单位教学用具，可定制实验平台以及教学用具。同时满足功率器件应用单位及第三方检测平台提供在此设备基础上的定制功能。