MEMS 自动对焦（AF）致动器是压电多态薄膜致动器，可以在 Z 轴和倾斜方向移动，以实现三轴补偿。这些 MEMS 装置设计基于标准的硅制造工艺，因此具有良好的可扩展性和易于处理、测试和封装的特点。
这种基于传感器的技术有多个优势。与基于镜头的单轴 AF 系统相比，它提供了三轴影像调整（Z 轴、倾斜和旋转）。它还可以比基于镜头的 AF 系统快 3 倍，精度提高 10 倍，可以检测到小于像素的振动，而基于镜头的 AF 系统只能达到 3-5 微米的精度。最后，它通过不使用马达来移动镜头，功耗最多可降低 50 倍，并避免加热问题影响图像质量。
在汽车应用中，行驶过程中持续的振动可能导致模糊影像，而温度和湿度等环境因素可能使摄像头变形，进一步降低视频质量。MEMS AF 技术通过提供自动对焦（AF）解决方案来解决这一问题，增强影像清晰度和稳定性，满足高级驾驶辅助系统（ADAS）对汽车安全所需的严格质量标准。

MEMS 压电自动对焦技术还正在改变手机和增强现实/虚拟现实摄像系统。MEMS 技术通过快速和精确地调整摄像模组来增强性能，确保精确对焦和最大视觉清晰度，显著提升整体用户体验。MEMS 致动器的低功耗消耗还可以减少加热问题，增强设备性能和使用寿命。