EUV光刻机揭秘：研发数十年，10万个零部件，送货需2年，价格1.2亿美金

目前，全球高端半导体的制造都需要用到荷兰ASML（阿斯麦）的EUV光刻机。日前，ASML开发副总裁透露：这台价值1.2亿美金的光刻机，由超过10万个零部件组成， 其配送时间需要2年。

根据公开消息，在阿斯麦一年所制造出的全球最尖端的EUV光刻机中，台积电一家就采购了44台，而同为芯片巨头的三星仅仅购得了19台。同时，海力士也加入了EUV光刻机的采购行列。目前也是与阿斯麦签下了高达43.4亿美元的采购协议。

荷兰ASML（阿斯麦）是全球唯一的EUV光刻机制造商，中芯国际的7nm工艺虽然已经技术开发完成，但目前卡脖子的最关键一环就是买不到EUV。在最新的媒体交流活动中，ASML技术开发副总裁Tony Yen披露了一些EUV光刻机不为人知的细节。

EUV即极紫外光刻，它是借助13.5nm波长极紫外光在硅晶圆上蚀刻数十亿规模的微缩结构。

按照Yen的说法，当前ASML的EUV光刻机单台售价1.2亿美元(约合7.8亿元)左右，由超过10万个精密零部件组成。

Yen笑着表示，买我们的EUV光刻机可不是今天下单，两天内送达，通常需要两年的时间才能配送到货，发运是需要多达40个集装箱。

据悉，世界上第一台EUV光刻机2010年在三星装配，第二台2011年进驻台积电。谈及摩尔定律，ASML认为至少还能延续10年。

EUV曾研发数十年，ASML通过融资实现EUV蜕变

1999年美国特批了ASML参与了1997年成立的EUV LLC，而尼康没有。

前者和浸入式一起确立了接下来ASML对尼康的技术优势；

后者确保了ASML在十五年后扩大了垄断优势。

事实上尼康在1991年就和日立开始研发EUV，NTT甚至从80年代就开始了。无数顶尖机构在三十年间成为铺路石甚至垫脚石。

2011年，ASML要在18寸光刻机和EUV两线作战，资金不足，而且EUV的风险巨大。于是ASML在2012年提出了客户投资计划，拿出25%的股份请主要客户做联合投资，那时ASML市值只有200亿。

英特尔率先认购了15%。但是， 其中10%是对18寸晶圆光刻机的投资，只有5%是对EUV的投资。

台积电认购了5%，三星只认购了3%(放弃了2%)。

截止美东时间2021年3月17日，ASML市值超过飞利浦+空客+宝马的总和，达到2330.69亿美元.

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