根据ASML的员工回忆,German是个 “表现并不突出的人”,而其他人则表示他是一位专注但性格内向的技术人员,沟通存在困难,但没有人怀疑他会窃取信息。

2025 年 4 月,荷兰《新鹿特丹商业报》(NRC)披露一起重大技术窃密案。43 岁的俄罗斯籍工程师 German A. 被指控从 ASML、台积电、恩智浦等企业窃取 193 份机密文件(含 ASML 105 份、台积电 88 份),涉及半导体生产工艺、设备参数及供应链管理细节,协助俄罗斯建立本土首条 28nm 晶圆产线。German A.将面临 18 至 32 个月的监禁。

尽管 28nm 工艺已经属于成熟工艺范畴,但在军事、物联网及汽车电子领域仍具不可替代性。俄罗斯受国际制裁影响,无法通过正常渠道获取关键设备与技术,此次窃密事件直指三大核心:

  • 半导体生产手册:涵盖光刻胶涂布、离子注入等关键工艺参数
  • 设备维护指南:涉及化学气相沉积(CVD)、电子束检测等设备操作规范
  • 供应链信息:包括 ASML 与台积电的设备采购清单及供应商网络

从 Mapper 到 ASML 的十年潜伏

值得注意的是,涉案文件虽不包含完整光刻机设计图,但已足够支撑建立基础 28nm 产线。业内人士指出,俄罗斯或通过逆向工程与本地化改造,实现部分设备替代。

German A. 的职业轨迹暴露出这个行业技术防御体系的漏洞。

2008 至 2009 年,他曾在比利时微电子研究中心(IMEC)实习,后加入希腊研究机构“德谟克利特”(NCSR),并在格芯(GlobalFoundries)位于德国德累斯顿的Fab 1工厂工作。

2015年,他跳槽至荷兰创业企业Mapper,该公司开发出一种开发了一种基于使用 1 万至 1.3 万条电子束进行大规模并行电子束直写的无掩膜光刻机。需要指出的是,Mapper公司早在2012年,曾获得了一位主要的俄罗斯投资者 Rusnano的投资。作为这笔注资的交换,Mapper 在莫斯科建造了一家工厂,主要生产 MEMS(微机电系统)——带有引导电子束的小透镜的芯片,后来该工厂成为了隶属于俄罗斯军用无人机制造商 Astron的资产。

2018年,Mapper破产后,ASML在美国和荷兰的压力下将其收购,German A.也随之加入了ASML,负责光电芯片制造,并参与发明了4项专利。

公司内的“透明人”,没人认为他会窃取信息

在ASML工作期间,German 利用职务之便,窃取了105份ASML的内部文件和88份与台积电相关的文件。根据ASML的员工回忆,German是个 “表现并不突出的人”,而其他人则表示他是一位专注但性格内向的技术人员,沟通存在困难,但没有人怀疑他会窃取信息。

对German的数字活动审查显示,他在 2020 年 12 月 16 日和 17 日访问了受限文件,尽管他并无使用这些文件的需求。当时,公司的内部安全系统并未发出任何警报,他通过Google Drive网盘、社交应用等将信息传到了莫斯科,在与俄罗斯情报机构 SVR 联系后,他在莫斯科交出一个装有“机密”文件的U盘,并收到了大约4万欧元的资金。

在ASML工作期间,German的职业生涯曾陷入了停滞,2021 年ASML决定将他所从事的工作外包出去时。虽然German试图“拓宽”自己,但缺乏必要的理论知识,最终ASML决定在 2021 年之后不再与其续约。

离开ASML后,German 通过职业介绍所寻找科研岗位的工作,但没有成功。2022 年 1 月,在疫情期间,他以临时合同工的身份加入了位于荷兰内梅亨的恩智浦公司,担任工艺技术员。在介绍性会议期间,他给人的印象是一个敬业但内向的技术人员,难以沟通。“(他)棱角分明,啰嗦。”认识他的人说。

2022年 5 月,他联系了内梅亨的一家公司,要求提供一份来自ASM International的二手化学气相沉积设备的报价。起初,这批设备本应运往德国,但他后来将目的地改为了以色列。最终这批设备一直没有交付。现在看来,这是他试图为一个新工厂收集零部件的举动。

German的前妻的陈述显示,到 2023 年末,他与俄罗斯研究人员就建造一座能够使用 28 纳米技术生产芯片的俄罗斯晶圆厂一事进行了接触。当时,俄罗斯的相关实体被列入了黑名单,无法从知名供应商(无论是经销商还是代工厂)那里获得先进芯片。

同年,German在代尔夫特理工大学(TU Delft)担任了一年的职位,但一直比较孤立,调查人员在那里没有发现他有盗窃行为的迹象。

2024年8月,他被美国CIA逮捕,一个月后,ASML和恩智浦相继通报了遭间谍入侵的情况。调查显示,其行动可能涉及俄方科研机构与情报部门协作,形成 “技术掮客 + 学术伪装 + 供应链渗透” 的复合窃密模式。

行业冲击之后的防御升级

ASML作为全球最大的光刻机制造商,其技术一直处于领先地位,目前仅有日本的尼康和佳能、中国的上海微电子装备拥有光刻机的制造能力,但是他们在技术上与ASML之间存在巨大的代差。尽管本次窃取的文件不包含核心设计蓝图,但这些信息仍可能对ASML的市场竞争力产生一定影响。而台积电作为全球领先的晶圆代工厂,其技术资料的泄露也可能对其客户关系和市场份额造成潜在威胁。

事件曝光后,ASML 立即升级内部监控系统,实施更严格的访问权限控制。台积电则强化与合作伙伴的技术隔离协议,要求供应商签署额外保密条款。荷兰政府宣布将半导体技术列为 “国家安全资产”,拟立法延长技术人员离境审查期至 5 年。

但更深层的产业影响正在显现:

  • 供应链重构加速:欧美企业重新评估对俄技术输出风险
  • 技术标准争夺加剧:28nm 工艺设备出口管制清单可能进一步收紧
  • 军事应用突破:俄或借此缓解无人机、制导系统芯片供应压力

技术安全的 "最后一公里"

“此次事件暴露出半导体行业的三大软肋:人员流动性管理、跨企业数据共享安全、技术脱密处理。”国际半导体产业协会(SEMI)分析师指出。事实上,German A. 窃取的并非尖端技术,而是系统化的生产 know-how。这种 “技术拼图” 式窃取,往往比获取单一专利更具破坏性。

目前,全球半导体企业正采取三项关键措施:

  • 动态权限管理:基于角色与项目实时调整访问权限
  • 数字水印追踪:在敏感文档嵌入隐形标识,实现泄密溯源
  • 认知安全培训:通过 VR 模拟演练识别高级社交工程攻击

随着俄罗斯 28nm 产线的逐步落地,全球半导体地缘政治格局将进入新阶段。美国已启动《半导体供应链韧性法案》,要求盟国同步升级技术出口管制。欧盟则加速推进 "芯片法案 2.0",计划在 2027 年前建成首条量子芯片产线。

对中国而言,事件敲响警钟:在加速半导体自主化的同时,必须构建 "人防 + 技防 + 制防" 三位一体的安全体系。正如中微半导体董事长尹志尧所言:"技术突破需要十年磨一剑,但安全防护必须做到万无一失。"

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