据称，康宁的Extreme ULE玻璃在光掩模和光刻镜中的应用将是一项重大突破，凭借极高的热稳定性和接近零的膨胀特性，将为半导体制造的高标准提供了关键支持，且直接影响到未来芯片的生产效率和成本结构。
近日消息，美国特种玻璃巨头康宁公司将根据《CHIPS 和科学法案》获得3200万美元的政府补贴。
在上周五的公告中，美国商务部表示，拟议的资金将帮助康宁提高芯片制造过程中使用的玻璃产品的产量。
据悉，这笔资金将用于扩大其位于纽约州坎顿的制造工厂，以增加高纯度熔融石英（HPFS）和Extreme ULE玻璃等特殊材料的产量。这些特种玻璃材料对于先进芯片制造至关重要，因为它们是制造光掩模的关键材料，而光掩模是芯片制造过程中不可或缺的组件。通过增加这些材料的产量，康宁公司不仅将强化自身在半导体材料供应链中的地位，同时也将支持美国芯片制造业的发展。
图源：康宁官网
其中，Extreme ULE玻璃是一种具有接近零膨胀特性的钛硅酸盐玻璃材料，长期用于EUV光掩模和光刻镜，其极低的热膨胀系数确保了在严苛的EUV环境下保持最大的一致性。由于EUV光刻是一项需要极高精度和稳定性的复杂工艺，新玻璃能够承受最佳强度的极紫外光，从而有效提升芯片的设计和制造能力。
康宁公司近期在加州蒙特雷举行的SPIE光掩模技术+极紫外光刻会议上正式发布了其新一代Extreme ULE玻璃材料。据介绍，这种玻璃材料可以帮助芯片制造商改进光掩模，使其能够承受最高强度的极紫外光（包括High NA EUV），从而提升EUV光刻技术的精度和稳定性。
据称，康宁的Extreme ULE玻璃在光掩模和光刻镜中的应用将是一项重大突破，凭借极高的热稳定性和接近零的膨胀特性，将为半导体制造的高标准提供了关键支持，且直接影响到未来芯片的生产效率和成本结构。
康宁先进光学副总裁兼总经理Claude Echahamian曾表示：“随着人工智能的兴起，集成芯片制造的需求不断增长，玻璃创新比以往任何时候都更加重要。EXTREME ULE ®玻璃将通过帮助实现更高功率的EUV制造以及更高的产量，扩大康宁在持续追求摩尔定律方面的重要作用。”
目前，康宁公司与美国商务部已达成了初步协议，获得了这笔《芯片和科学法案》拨款。该项目不仅有助于增加特种玻璃的产量，还将为当地经济带来积极影响，预计新增130个制造业岗位和175个以上建筑业岗位。
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