半导体生产是个复杂的过程,需要各种各样的设备及材料,哪一个环节出问题都有可能影响全球半导体生产。其中,冷却剂是制造半导体电路图案的蚀刻工艺时用于调节温度的一种电子级氟化液,在半导体制程中必不可少。
日前据韩国《Moneytoday》报道,韩半导体业界透露,比利时政府近期提高了过氟化合物的环保排放标准,直接导致消费品和工业用品制造大厂3M公司位于比利时佛兰德斯的 Zwijndrecht(兹韦恩德雷赫特)的冷却剂工厂被关闭,它的产量占了全球的80%。
据报道,3M比利时公司已经在3月8日执行规定,3月18日向客户发布通知,该工厂将无限期关闭,其客户包括台积电、英特尔、三星、SK海力士、联电、南亚科、世界先进、等全球半导体巨头。
冷却剂为何被禁?
当今许多先进的技术都要做同一件事情:热管理。无论是在半导体芯片制造流程中温度控制,或是数据中心、功率器件、航空电子设备中的散热,传热广泛存在于现代生活当中。由于电子级氟化液所具有的更高的绝缘性等稳定的特性和清洗冷却的效果,它可以长时间使用而不会对电子设备及元器件造成任何损坏,并且在运行过程中不会污染空气,是一种理想的散热材料。可以被广泛的应用于半导体制造的冷却、数据中心的浸入式冷却,航空电子设备的喷雾冷却等。
3M这家工厂主要生产特殊的冷却剂,对半导体蚀刻工艺来说很重要,氟化液是不可燃的绝缘液体,具有工作温度范围宽泛,易于维护、易清洗的特点,是传统冷却液体(如水、水乙二醇或油)的替代品。
3M在全球半导体冷却剂的占有率为90%,而其中80%来自这家比利时工厂,早在1971年,3M就开始在这里生产一种叫“全氟辛烷磺酸”(PFOS,属于PFAS物质)的化学产品。3M方面表示,将通过现有库存的分配进行紧急应对,预计可使用1到3个月,但未来无法补充库存的话难免会影响正常生产。
这家3M工厂被比利时强制要求关闭,主要是跟当地的环保政策有关,因为冷却剂中含有全氟/多氟烷基物质(PFAS)成分,起到防水、防油及抗热的作用,被广泛应用在化妆品、牙线以及纺织品。
虽然对于人体没有立即性的危险,但是PFOS在自然界及生物链中难以分解,有可能在人体内积累导致激素紊乱,对免疫系统会产生不利影响,也会破坏甲状腺功能,怀孕期间还会导致许多胎儿发育的问题,所以欧美都对这种化学物质严厉控制。
3M对此做了什么改进
3M公司 2008 年环境许可证中列出的 PFOS的浓度的最大值为每升 30 微克。但佛兰德斯政府相关部门定期测量的3M工厂的废水中PFOS的浓度则超过了500微克,是最高标准的16倍。为了解决污染问题,2018年11月,经佛兰德斯政府批准,Lantis(管理安特卫普周边交通项目的公共机构)与 3M 签署协议规定:政府将投入 6300 万欧元来清理受污染最严重的土地,而3M 必须保证建造价值 75000 欧元的安全护堤,政府承诺不追究 3M 对 PFOS 污染的责任。
直到2021年,这一污染问题才经由媒体广泛报道公之于众,成为了当地的一大丑闻。舆论的压力之下,2021年10月29日,比利时佛兰德斯环境监管机关再度要求3M比利时Zwijndrecht工厂执行新的安全措施,此举也直接导致了该工厂的部分生产业务立即暂停。虽然3M公司提出暂停实施新安全措施的申请,但是于2021年11月15日拒绝。
3M在近期的官方新闻稿中表示,为了解决比利时Zwijndrecht工厂的传统制造和排放物处置问题,公司已于3月30日宣布,对该工厂追加1.5亿欧元的投资,以进一步减少PFAS排放、继续运行非 PFAS相关制造,以及重新启动先前闲置的PFAS相关制造处理流程。
据介绍,3M除了正在进一步减少其运营中的 PFAS 排放,还设计并启动了一个废水处理系统,该系统有助于显着减少其 Zwijndrecht 工厂的 PFAS 排放,同时3M还将继续与相关当局合作解决影响该设施运营的废水排放许可证修改问题。
3M董事长兼首席执行官迈克·罗曼(Mike Roman)表示:“我们希望与佛兰德斯当局建立建设性的合作关系,以解决所有利益相关者的担忧。今天是向我们在佛兰德斯地区履行更广泛承诺的又一重要步骤。”
“这些投资有助于加强我们的环境管理,并为 3M 在比利时的业务实现长期稳定。我们将继续在比利时推进和运营非 PFAS 相关制造,同时努力让更多支持 PFAS 的制造流程启动并运行符合当地的安全措施。”迈克·罗曼补充称:“除了利用我们的全球制造足迹为我们的客户提供服务外,我们还在 Zwijndrecht 实施了新的控制措施,包括控制空气排放以及捕获、处置和处理水中 PFAS 的技术。这些投资以及适当的与有关当局合作,帮助我们将闲置的流程重新上线,使欧洲能够为我们在世界各地的客户生产基本产品。”
业内各方看待此事影响
《Moneytoday》报道称,韩国内冷却剂全部依赖进口,目前韩产业通商资源部正着手准备国家层面对策。韩国半导体业界专家们一致认为,为彻底实现供应链稳定,应推动冷却剂国产化,政府初期可制定相关企业扶持政策,以起到说服环境团体、获得社会同意等积极作用。
厂商方面,台积电表示,由于与供应链紧密合作,目前不预期造成影响;联电响应没有影响,有替代方案,南亚科也表示不受影响。台媒《工商时报》报导称,供应链指出,台积电在半导体制造供应链当中,不论是干式、湿式等工艺使用的化学气体、液体,供应商除了欧洲之外,日本、韩国等地亦有,且在中国台湾生产供应链库存至少都有数月,不受本事件冲击。
业内人士对此则看法不一,有人认为虽然现阶段不受影响,但该问题若不解决3个月后全球半导体将面临冲击。天风国际知名分析师郭明錤4日在推特发文表示看法,认为3M在比利时的冷却剂PFAS产线暂时停工,对半导体供应的影响几乎可以忽略不计,并表示这些冷却剂主要用于设备维护或修理,日常生产不需要更换。
本文内容参考Business Korea、Moneytoday、工商时报、经济日报报道