中国首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线

2019年，全球传感器市场规模达2265亿美元。然而，目前国内传感器的供应上仍然依赖进口，尤其在中高端传感器领域，对外依赖度达到80%。加速先进传感器产业的国产化刻不容缓。

6月30日，由国家智能传感器创新中心（简称“创新中心”）建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。所谓的“中试”，也就是中间阶段的试验，在科技成果转化为生产力的过程中，中试环节是少不了的。

该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，加速先进传感器产业链国产化，实现自主可控。

面向新兴技术发展和市场应用需求，创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件和新集成等关键共性技术，重点突破光学、声学、力学、生物等先进传感器的核心工艺，并推动相关产品及应用的产业化。

12英寸中试线位于上海智能传感器产业园内，产业园以智能传感器为核心，以创新平台和龙头企业为支撑，伴有精准的政策助力，发展传感器特色工艺，积极培育和引进领先的智能传感器产业链领军企业，促进产业集聚和协同发展，力争将上海嘉定打造成国内传感器领域产业高地。

为什么要中试呢？相关统计数据显示，在科技成果产业化的过程中，如果没有中间阶段的试验，它的产业化成功率只有30%，通过中试后，这一数据就提高到80%。所以，中试的好处是显而易见的，如果这一步成功后，就基本可以“官宣”量产了。

全球范围内的中高端传感器领域，先进技术主要掌握在欧美日韩等发达国家手中，例如索尼、三星、博世、德州仪器等都是传感器行业的领军企业。虽然近年中国传感器市场规模年均增长率超过10%，发展相当迅速，2019年市场规模已达2188.8亿元。不过国产化率仍然不高，并且由于起步较晚，目前国产传感器还是以低端为主。

国家智能传感器创新中心致力于先进传感器技术创新，以关键共性技术的研发和中试为目标，联合中国传感器与物联网产业联盟1000+ 家产业链各领域的代表企业开展共性技术研发，形成“产、学、研、用”协同创新机制，加速我国先进传感器及其相关应用的核心技术发展，推动智能传感、物联网、人工智能的生态体系建设。

责编：Luffy Liu