4月14日下午,台积电南科晶圆Fab14 P7厂区发生意外断电,业界预估有 3 万片晶圆受影响,损失金额在10亿新台币(折合 2.3 亿人民币)以内。事故原因是南科厂区邻近的厂区新建工程进行直施打地铆施设作业时,不慎损坏电力供应商台电的 161kV 地下电缆。该厂区的晶圆主要用于汽车电子芯片……

4月14日,据台湾媒体报道,台积电南科晶圆14厂(Fab 14)P7厂区当天下午发生意外断电,业界预估有 3 万片晶圆受影响,损失金额在10亿新台币(折合 2.3 亿人民币)以内。

台积电事后发布声明:“台积公司晶圆十四P7厂今日因南科超高压变电所电缆异常致使厂区停电,厂内同仁无安全疑虑亦无人员疏散,目前已靠柴油发电机复电并与台电合作以全力恢复正常供电。实际影响待恢复正常供电后厘清。”

台媒报道了具体事件经过:4月14日上午 11 点 06 分左右,因南科厂区邻近的三福气体进行厂区新建工程时,在厂区内进行直施打地铆施设作业时,不慎损坏电力供应商台电的 161kV (16万1千伏特)地下电缆,导致南科 - 三福线线路跳脱,从而引发停电事故。

如图,红色箭头处为台积电Fab14 P7厂区,红框内是施工导致挖断线缆的地点。(图自谷歌地图)

台湾电力当时表示,原本为应对台积电扩厂,已新建新的电回路,受到工程损毁影响,本来周六要启用的新回路,紧急在今天(4月14日)先上线,预计5点前应可恢复供电,受损线路正抢修中,可能明天才能修复。

 

经过紧急抢修后,台湾电力转供作业准备工作在14日下午3时30分完成,因须配合台积电发电机加压过程,延至傍晚6时23分恢复供电。

周边的联电南科12英寸厂也受波及而压降,不过联电称厂区即时应对,并未造成生产营运上的影响。此外群创、瀚宇、康宁、南茂等均出现压降问题。经过紧急抢修,目前该园区供电已恢复正常,但具体损失有多少仍待厘清。

南科 Fab14 P7 厂区主要生产 12 英寸(300mm)晶圆,是台积电 40nm、45nm 工艺生产的重要据点之一。根据市场研究机构TrendForce的资料显示,台积电Fab14 P7厂的总产能为每月4万片。

该厂区的晶圆主要用于汽车电子芯片,对于近期亟待解决的芯片紧缺问题,这一事故无疑是雪上加霜。涉及的约3万片晶圆会不会全部报废,还需要等台积电进一步评估。

报废晶圆数量要看当时工艺进行到具体哪一步,在酸洗槽和机台内的部分影响会较大,其余部分应该能抢救回来,另外台积电有保险,实际损失应该可以进一步降低。其实相较于地震、火灾等会造成破片、机台移位的事故,停电影响程度算是较轻微的。

越是缺货,晶圆代工厂越是出事

在此之前,联电竹科力行8吋厂区今年1月也曾发生跳电意外,由于电力进入厂区的电力输送系统发生故障,导致突然停电,当时包括8AB、8C、8D 厂均受影响,并造成园区大规模的电源压降,台积电、旺宏、力积电等均受波及。

上个月底,全球第三大汽车晶圆厂日本瑞萨一间12寸晶圆工厂起火,公司宣布该12寸生产线临时停产,目前尚未确定复产计划。

3月31日上午,台积电新竹总部Fab 12 B厂意外在上午 9 时出现火警事件,而引发火警,公司立即紧急疏散员工。火警发生原因疑似是上午由外包商正在进行P6厂变电设备保养时,突然因超载发热起火,消防设备随即启动进行二氧化碳灭火,过程中造成1名施工人员不慎遭二氧化碳呛伤,但意外并未造成其他人员伤亡。

虽然火警发生后一度烟雾弥漫并疏散厂内员工,但经确认没有危险后,员工已陆续返回岗位,整体台积电产线运作没有受到影响。台积电回应说明提到,“台积公司晶圆 12B 厂今日(31日)上午厂内变电站因组件异常而启动 CO2(二氧化碳)灭火系统,导致一名下外包员工吸入过量二氧化碳,救护车于第一时间送往医院并通知家属,目前该人员意识清醒,现留院观察。”

相关阅读:瑞萨火灾致部分车用芯片停供,台积电又传火警

而就在昨天晚间,铜箔基板(CCL)厂商联茂位于中国台湾的新埔厂发生火灾,全厂断电并停工,疑似生产过程静电导致起火,损失暂时不详。

除了这些“人祸”,天灾也不少。2021年2月23日,台积电发言系统证实:新竹、台中、台南各科学园区台积电厂区的确部分启动水车供水。

在芯片半导体的生产加工过程中,除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外,超纯水也是其中最关键的因素之一。这是因为半导体中的杂质对电阻率的影响非常大。半导体中掺入微量杂质时,杂质原子附近的周期势场受到干扰并形成附加的束缚状态。因此,需要用超纯水来进行清洗。面对缺水情况,据称台积电花费2亿新台币从外地预定上百辆卡车运水。

相关阅读:台积电缺水,世界缺芯

责编:Luffy Liu

本文综合自中央社、台湾联合新闻、智通财经、智东西、cnBeta、Technews报道

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