4月14日,据台湾媒体报道,台积电南科晶圆14厂(Fab 14)P7厂区当天下午发生意外断电,业界预估有 3 万片晶圆受影响,损失金额在10亿新台币(折合 2.3 亿人民币)以内。
台积电事后发布声明:“台积公司晶圆十四P7厂今日因南科超高压变电所电缆异常致使厂区停电,厂内同仁无安全疑虑亦无人员疏散,目前已靠柴油发电机复电并与台电合作以全力恢复正常供电。实际影响待恢复正常供电后厘清。”
台媒报道了具体事件经过:4月14日上午 11 点 06 分左右,因南科厂区邻近的三福气体进行厂区新建工程时,在厂区内进行直施打地铆施设作业时,不慎损坏电力供应商台电的 161kV (16万1千伏特)地下电缆,导致南科 - 三福线线路跳脱,从而引发停电事故。
如图,红色箭头处为台积电Fab14 P7厂区,红框内是施工导致挖断线缆的地点。(图自谷歌地图)
台湾电力当时表示,原本为应对台积电扩厂,已新建新的电回路,受到工程损毁影响,本来周六要启用的新回路,紧急在今天(4月14日)先上线,预计5点前应可恢复供电,受损线路正抢修中,可能明天才能修复。
经过紧急抢修后,台湾电力转供作业准备工作在14日下午3时30分完成,因须配合台积电发电机加压过程,延至傍晚6时23分恢复供电。
周边的联电南科12英寸厂也受波及而压降,不过联电称厂区即时应对,并未造成生产营运上的影响。此外群创、瀚宇、康宁、南茂等均出现压降问题。经过紧急抢修,目前该园区供电已恢复正常,但具体损失有多少仍待厘清。
南科 Fab14 P7 厂区主要生产 12 英寸(300mm)晶圆,是台积电 40nm、45nm 工艺生产的重要据点之一。根据市场研究机构TrendForce的资料显示,台积电Fab14 P7厂的总产能为每月4万片。
该厂区的晶圆主要用于汽车电子芯片,对于近期亟待解决的芯片紧缺问题,这一事故无疑是雪上加霜。涉及的约3万片晶圆会不会全部报废,还需要等台积电进一步评估。
报废晶圆数量要看当时工艺进行到具体哪一步,在酸洗槽和机台内的部分影响会较大,其余部分应该能抢救回来,另外台积电有保险,实际损失应该可以进一步降低。其实相较于地震、火灾等会造成破片、机台移位的事故,停电影响程度算是较轻微的。
越是缺货,晶圆代工厂越是出事
在此之前,联电竹科力行8吋厂区今年1月也曾发生跳电意外,由于电力进入厂区的电力输送系统发生故障,导致突然停电,当时包括8AB、8C、8D 厂均受影响,并造成园区大规模的电源压降,台积电、旺宏、力积电等均受波及。
上个月底,全球第三大汽车晶圆厂日本瑞萨一间12寸晶圆工厂起火,公司宣布该12寸生产线临时停产,目前尚未确定复产计划。
3月31日上午,台积电新竹总部Fab 12 B厂意外在上午 9 时出现火警事件,而引发火警,公司立即紧急疏散员工。火警发生原因疑似是上午由外包商正在进行P6厂变电设备保养时,突然因超载发热起火,消防设备随即启动进行二氧化碳灭火,过程中造成1名施工人员不慎遭二氧化碳呛伤,但意外并未造成其他人员伤亡。
虽然火警发生后一度烟雾弥漫并疏散厂内员工,但经确认没有危险后,员工已陆续返回岗位,整体台积电产线运作没有受到影响。台积电回应说明提到,“台积公司晶圆 12B 厂今日(31日)上午厂内变电站因组件异常而启动 CO2(二氧化碳)灭火系统,导致一名下外包员工吸入过量二氧化碳,救护车于第一时间送往医院并通知家属,目前该人员意识清醒,现留院观察。”
而就在昨天晚间,铜箔基板(CCL)厂商联茂位于中国台湾的新埔厂发生火灾,全厂断电并停工,疑似生产过程静电导致起火,损失暂时不详。
除了这些“人祸”,天灾也不少。2021年2月23日,台积电发言系统证实:新竹、台中、台南各科学园区台积电厂区的确部分启动水车供水。
在芯片半导体的生产加工过程中,除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外,超纯水也是其中最关键的因素之一。这是因为半导体中的杂质对电阻率的影响非常大。半导体中掺入微量杂质时,杂质原子附近的周期势场受到干扰并形成附加的束缚状态。因此,需要用超纯水来进行清洗。面对缺水情况,据称台积电花费2亿新台币从外地预定上百辆卡车运水。
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本文综合自中央社、台湾联合新闻、智通财经、智东西、cnBeta、Technews报道