中微公司2020年度业绩说明会：12英寸高端刻蚀设备已用于5nm产线

4月6日，半导体设备生产商中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微”） 就2020年度业绩举行说明会。中微公司董事长&总经理尹志尧、董事&副总经理杜志游、财务负责人&副总经理陈伟文等多位高管亮相说明会。

据尹志尧透露，该司生产的等离子体刻蚀设备，已应用在国际一线客户从65纳米到5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线和先进封装生产线。

中微公司业绩说明会线上直播截图

其中，中微旗下备受瞩目的12英寸高端刻蚀设备，已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5纳米、5纳米以下器件中若干关键步骤的加工。

据介绍，等离子体刻蚀机是芯片制造中的一种关键设备，用来在芯片上进行微观雕刻，每个线条和深孔的加工精度都是头发丝直径的几千分之一到上万分之一，精度控制要求非常高。

目前，中微公司主要研发、生产和销售刻蚀设备、MOCVD设备两大产品系列。2020年，刻蚀设备实现营收为12.89亿元，同比增长约58.49%，其中新产品电感性等离子体ICP刻蚀机销售台数同比增长100%。

据尹志尧介绍，中微公司MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，已成为世界排名前列的氮化镓基LED设备制造商，在2018年下半年销量占比已达到60%以上。目前中微公司MOCVD设备Prismo D-Blue、Prismo A7能分别实现单腔14片4英寸和单腔34片4英寸外延片加工能力。

除用于制造通用照明和背光显示的蓝光LED，MOCVD设备还可制造应用于高端显示的Mini LED和Micro LED、用于杀菌消毒和空气净化的紫外LED等。

2020年，中微公司用于Mini LED生产的MOCVD设备的研发工作进展顺利，已有设备在领先客户端开始进行生产验证；制造Micro LED等应用的新型MOCVD设备也正在开发中。

尹志尧表示，2020年，虽然突如其来的新冠肺炎疫情和国际形势的动荡对国内外半导体行业的发展有正反两方面的影响，中微公司成功的应对了新的挑战，也利用了新的机遇，在2020年取得了可喜的进展。同时尹志尧指出，自2020年下半年开始，集成电路和泛半导体产业及对半导体设备的需求已经出现了快速增长的趋势。

财务数据显示，中微公司2020年实现营收为22.73亿元，同比增长16.76%；归母净利润4.92亿元，同比增长161.02%。

不过，中微公司扣非后归母净利润为2331.94万元，同比下滑84.19%，2019年、2018年分别实现扣非后归母净利润为1.48亿元和1.04亿元。

中微公司 2 月披露的 2020 年业绩快报显示，中微公司 2020 年刻蚀设备收入为 12.89 亿元，同比增长约 58.49%，其中新产品电感性等离子体ICP刻蚀机销售台数同比增长100%；由于市场原因，中微公司 2020 年 MOCVD 设备收入为 4.96 亿元，同比下降约 34.47%。

尹志尧表示，2019年到2020年由于照明等LED市场的饱和，近期MOCVD市场处于低潮，但是功率器件、深紫外LED杀菌，特别是Mini LED背光源和显示屏以及Micro LED可期待的大发展，会使MOCVD设备市场在未来形成新的发展高潮。预计2020年到2025年，全球化合物半导体MOCVD外延设备会有较快的增长。

对于中微公司的发展规划，尹志尧表示，公司目前产品以半导体前道生产的等离子体刻蚀设备、薄膜沉积等关键设备为主，并逐步开发后道先进封装、MEMS、蓝绿光及紫外LED、Mini LED、Micro LED等泛半导体设备产品。

责编：Luffy Liu