中芯国际与光刻机巨头ASML签订12亿美元大单

目前全球芯片严重紧缺，以中芯国际为代表的国内厂商有望在这一波行业机会中大显身手。

3月3日晚，中芯国际发布公告称，此前与全球光刻机巨头荷兰阿斯麦尔签署采购协议延长一年，根据采购协议签署的购买单总价格逾12亿美元。

今年2月1日，中芯国际与阿斯麦尔上海签订了经修订和重述的阿斯麦尔批量采购协议，据此，阿斯麦尔批量采购协议的期限从原来的2018年1月1日至2020年12月31日延长至从2018年1月1日至2021年12月31日。

来源：中芯国际公告

公告显示，根据采购协议，中芯国际已于2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期间就购买用于生产晶圆的阿斯麦尔产品与阿斯麦尔集团签订购买单，阿斯麦尔购买单的总代价为略超12亿美元。

来源：中芯国际公告

中芯国际称，为应对客户的需要，需继续扩大其产能、把握市场商机及增长。批量采购协议及阿斯麦购买单乃于本公司正常业务过程中就购置用于生产晶圆的相关机器作出，由于阿斯麦尔批量采购协议的期限已到期，本公司签订经修订和重述的阿斯麦批量采购协议。

先进制程开发陷入瓶颈，但中芯国际在成熟工艺有突破可能。EUV光刻机外，阿斯麦尔也提供DUV（深紫外光）光刻机产品，面向成熟工艺。在2020年进博会期间，阿斯麦尔ASML中国区总裁沈波接受媒体采访时表示，该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度，对全球客户均一视同仁，在法律法规框架下，都将全力支持。

中芯国际是国内最大的芯片代工商，ASML则是全球领先的半导体设备供货商之一，向全球芯片制造商提供多种类型的光刻机，此前中芯国际便与ASML有密集的业务往来。

2020年3月，中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机，但这台光刻机并非用于7纳米的EUV光刻机。另外，2018年中芯国际曾向阿斯麦尔下单了一台EUV光刻机，但由于美国特朗普政府的阻扰，这台机器至今还未交付。

特朗普政府下台后，光刻机有望迎来解封，但EUV光刻机是否能立即解封还是一个未知数。此前有消息称目前中芯国际已经获得美国设备厂商的供应许可，可以进行采购14nm及以上(14nm及28nm等成熟工艺)的设备供应。

不过目前中芯国际在7nm以及更先进的工艺上仍旧处于被限制的阶段，此次中芯国际与ASML签订12亿大单，也可以被视为与全球先进光刻机设备厂商良好合作的一个重要的开端，未来获取EUV光刻机也不是没有可能。

责编：Yvonne Geng