中芯国际：韩媒发布涉EUV不实报道

在半导体工艺进入10nm节点之后，制造越来越困难，其中最复杂的一步——光刻需要用到EUV光刻机，而后者目前只有荷兰ASML公司才能供应。中芯国际去年也订购了一台EUV光刻机， 不过前不久有消息称ASML停止对中芯国际供应EUV光刻机，随后ASML公司表示不是停供，而是延期，主要是在准备该国政府的出口申请文本工作。

中芯去年花1.2亿美元“抢”到一台

中芯国际是中国大陆最大的半导体制造公司，今年14nm工艺已经实现客户风险量产，追平台联电14nm工艺，预计在今年底贡献有意义的营收，明年年底实现大量出货。

目前台积电买下了ASML今年的30台EUV光刻机中的18台，不过量产的7nm工艺仍是基于DUV(深紫外）工艺，今年3月份才启动7nm EUV的量产。而三星在去年就小规模投产了7nm EUV。

从中芯国际近2年晶圆收入构成来看，7nm和EUV还是太早。中芯国际目前主要的营收来自于90nm及以上工艺，2018年45/40/28nm先进工艺合计营收占比只有14%。

2018年以前，所有65nm以下先进工艺都是依赖193nm DUV设备制造的，台积电正是用这套设备率先实现了7nm量产，所以买EUV光刻机对中芯国际的意义更多在为未来产线升级提前布局，而不是必须依赖它来上7nm。

去年5月，中芯国际向荷兰ASML订购了首台EUV光刻机，价值1.2亿美元，几乎相当于该司2017年全部净利润。光刻机原计划于2019年年初交付。

而在去年12月，临近交货时间，ASML突发大火。根据官网信息，火灾摧毁元件供应商Prodrive工厂的部分库存、生产线，因此，2019年年初供货情况预计将会递延。

2019年已经临近尾声，EUV仍未交付至中芯，并再次面临“延迟通知”的风险。ASML方面将此归因于出口许可证到期。

不过，业内人士透露，这批设备仍预计最快在 2020 年初前出货，并且在 2020 年底前完成装机。

日前有韩国媒体报道，中芯国际表示与ASML之间已解决光刻机的问题，EUV技术研发步入正轨。

中芯国际官方声明：

近日，《BusinessKorea》等韩国媒体发布报道，“引用”中芯国际董事长周子学博士在韩国参会时对EUV（极紫外光刻机）事宜的表态。中芯国际对此郑重声明，此类报道违背事实，纯属捏造。周董事长仅参加了本月“中韩工商领袖和前高官对话”内部会议环节，期间并未接受任何媒体采访，在发言中也从未提及EUV事宜。

对于杜撰及传播谣言的媒体和个人，公司表示强烈谴责，将保留诉诸法律追责的权利。

特此声明。

责编：Yvonne Geng