广告

藏在ST最新BCD节点里的秘密工艺

时间:2018-06-28 05:43:09 作者:Sinjin Dixon-Warren,TechInsigh 阅读:
TechInsights最近拆解分析ST FDA801B-VYY 4x50W D类放大器样本,它采用了最新BCD9s技术制造;但拆解人员在该逻辑晶体管上观察到的最小接触闸极间距为0.6μm,显示采用的是0.13μm工艺,而非ST宣称BCD9s采用的0.11μ工艺...
广告

TechInsights自2000年以来一直在关注意法半导体(STMicroelectronics;ST)的“双极-互补金属氧化半导体-双重扩散金属氧化半导体”(Bipolar-CMOS-DMOS;BCD)技术进展。在2000年时,TechInsights还曾经拆解一款1999年的0.8μm BCD组件,并执行结构化与电气特性的分析。

BCD技术在单一芯片上整合了CMOS逻辑、DMOS、横向扩散MOS晶体管(LDMOS)和双极晶体管。DMOS和LDMOS晶体管通常用于制作高压或更高功率输出的驱动器晶体管,而双极晶体管则提供模拟功能。

意法半导体是BCD技术的市场领导者之一,声称在1980年代中期就发明了这项技术。但其他供应商也提供这项技术,包括德州仪器(Texas Instruments;TI)、英飞凌(Infineon)、爱特梅尔(Atmel)、Maxim,以及像台积电(TSMC)等主要的代工厂商。

意法半导体目前提供三种主要的BCD技术,对应0.32μm、0.16μm和0.11μm技术分别表示为BCD6、BCD8和BCD9。此外,该公司宣称目前正在开发90纳米(nm)的BCD10技术。

最近,TechInsights购买了一款支持I2C诊断、数字阻抗计和低电压操作功能的意法半导体FDA801B-VYY 4x50W D类(class-D)数字输入功率放大器样本(如下图所示)。它采用了最新的BCD9s技术制造,并搭配有模拟、逻辑和LDMOS功率晶体管区块(block)。

在2015年,意法半导体曾经宣布BCD9s技术将会是其BCD9 0.13μm工艺技术的第二代。根据TechInsights的初步分析发现了几项关键的新功能,包括增加了一个厚顶的重布线层(RDL)。在该逻辑晶体管上观察到的最小接触闸极间距为0.6μm,显示它采用的是0.13μm工艺,而非意法半导体宣称为BCD9s采用的0.11μ工艺。

该技术目前整合了三种隔离类型:深沟槽隔离(DTI),用于隔离各种不同的电路区块;CMOS逻辑采用浅沟槽隔离(STI);而LDMOS功率晶体管区块则使用硅上局部氧化(LOCOS)隔离。这是TechInsights第一次看到在单一芯片上整合了所有的三种隔离类型。

先前的0.13μm BCD9工艺于2015年上市。该技术具有铜金属化特性,整合了现在广泛的BCD特性数组,包括N型和P型LDMOS晶体管、金属-绝缘体-金属(MIM)电容器、6T-SRAM和双极晶体管。

而在BCD9世代之前,意法半导体于2011年左右发布的是BCD8技术。它具有0.18μm CMOS闸极和4层化学机械研磨(CMP)的平面化铝金属,加上2层含硅化钴的多晶硅,以及浅沟槽隔离(STI)。此外,还发现了N型和P型LDMOS晶体管,加上双极晶体管、多晶硅-绝缘层-多晶硅(PIP)电容器和6T-SRAM内存。

BCD技术持续成为电力电子市场空间中积极创新的领域。相较于先进的CMOS——挑战在于将最大数量的MOS晶体管整合至特定区域,BCD技术是由整合各种不同主动组件于单芯片的需求而驱动的。这需要仔细地均衡每种组件类型的不同工程需求。
STMFDA801B-VYYTechInsightsx800
意法半导体的FDA801B-VYY工艺扩散图(来源:TechInsights)

编译:Susan Hong

本文授权编译自EE Times,版权所有,谢绝转载

EETC wechat barcode


关注最前沿的电子设计资讯,请关注“电子工程专辑微信公众号”。

本文为EET电子工程专辑 原创文章,禁止转载。请尊重知识产权,违者本司保留追究责任的权利。
  • 全球裁员、订单转包,英特尔陷入“芯片代工困境” 不管怎么样,英特尔仍在努力推进18A芯片工艺,以期未来在最先进的芯片工艺上能与台积电、三星有一定的领先优势,毕竟其已经率先拿到ASML两台最先进的High NA(高数值孔径)EUV光刻机。未来,英特尔没有选择,只有抓住任何的可能性,硬着头皮上。
  • 2023中国独角兽企业发展追踪报告:企业总数375家、总估值超1.2万亿美元 2016-2023年中国独角兽企业总估值由近5000亿美元持续攀升至超1.2万亿美元,其中在2020年首破万亿美元。
  • OpenAI CEO阿尔特曼计划在美投资数百亿美元建设AI基础设施 OpenAI认为,在美国建设更多基础设施对于推进人工智能并使其优势广泛普及至关重要。
  • 半导体政策或持续收紧,中国芯片设备之困怎么破? 美国一直在向日本、荷兰施压,要求日本、荷兰对包括Tokyo Electron、ASML在内的半导体设备企业向中国出售先进半导体制造设备施加更多限制。但实际上,美国半导体政策不仅影响着中国,还在全球范围内构建起了“贸易藩篱”。
  • GaN与SiC:两种流行宽禁带功率半导体对比 碳化硅(SiC)衬底已在电动汽车和一些工业应用中确立了自己的地位。然而,近来氮化镓(GaN)已成为许多重叠应用的有力选择。了解这两种衬底在大功率电路中的主要区别及其各自的制造考虑因素,或许能为这两种流行的复合半导体的未来带来启示。
  • 欧洲氮化镓半导体厂商BelGaN申请破产,已获得多项竞标  氮化镓半导体市场正在快速发展,预计到2030年将在半导体市场中占据主导地位。然而,氮化镓技术的成熟度推进缓慢,成本与技术仍是关键突破点。尽管BelGaN在氮化镓技术上取得了显著进展,但由于需要大量投资以支持转型,公司在寻找额外投资时未能成功,最终导致破产。
  • 全球折叠屏手机快速增长,中国品牌压 • 得益于西欧、关键亚洲市场和拉丁美洲市场的增长,以及中国品牌的持续领先,全球折叠屏手机出货量在2024年第二季度同比增长了48%。 • 荣耀凭借其在西欧特别强劲的表现,成为最大的贡献者,成为该地区排名第一的品牌。 • 摩托罗拉的Razr 40系列在北美和拉丁美洲表现良好,为其手机厂商的出货量贡献了三位数的同比增长。 • 我们预计,头部中国手机品牌厂商的不断增加将至少在短期内抑制三星Z6系列在第三季度的发布。
  • AI网络物理层底座: 大算力芯片先进 AI技术的发展极大地推动了对先进封装技术的需求,在高密度,高速度,高带宽这“三高”方面提出了严苛的要求。
  • 奕斯伟计算DPC 2024:发布RISAA(瑞 奕斯伟计算2024首届开发者伙伴大会以“绿色、开放、融合”为主题,从技术创新、产品应用、生态建设等方面,向开发者、行业伙伴等相关方发出开放合作倡议,加速RISC-V在各行各业的深度融合和应用落地,共同推动RISC-V新一代数字基础设施生态创新和产业发展。
  • 重磅发布:Canalys 2024年中国云渠道 2024年 Canalys 中国云计算渠道领导力矩阵冠军厂商分别是:阿里云、华为云和亚马逊云科技(AWS)
  • 路特斯的努力有多“韧性” 文|沪上阿YI路特斯如今处在一个什么样的地位?吉利控股集团高级副总裁、路特斯集团首席执行官冯擎峰一直有着清晰的认知:“这个品牌的挑战依然非常大。首先,整个中国市场豪华汽车整体数据下滑了30%~40%,
  • 银河E5和小鹏MONAM03开门红,纯电车或将卷土重来? 文|萝吉今年下半年开始,国内新能源市场正式跨过50%历史性节点,且份额依然在快速增长——7月渗透率破50%,8月份破55%……在这一片勃勃生机万物竞发的景象下,新能源市场占比最高的纯电车型,却在下半年
  • 成立超30年!天津三星电子注销;同时以8.4亿美元向中国公司出售偏光膜业务! 天眼查信息显示,天津三星电子有限公司经营状态9月6日由存续变更为注销,注销原因是经营期限届满。该公司成立于1993年4月,法定代表人为YUN JONGCHUL(尹钟撤),注册资本约1.93亿美元,
  • 大力拓展半导体行业-节卡复合机器人有何优势? 会议预告向世界展示中国最具创新力、领导力和品牌化的产品与技术!9月27号,“第6届国际移动机器人集成应用大会暨复合机器人峰会”将在上海举行,敬请关注!逐个击破现有痛难点。文|新战略半导体行业高标准、灵
  • 该国产SiC将上主驱,还有20家企业取得进展... 近日,又一国产SiC企业宣布实现了主驱突破,并将出口海外。据“行家说三代半”的追踪统计,自2022年起,国内主驱级SiC器件/模块开始在多款车型中得到应用,尤其是2024年,本土供应商的市场份额显著上
  • 上半年SiC汽车中国销售近110万辆,供应商有哪些? 近日A股上市公司陆续完成2024年上半年业绩披露,其中24家SiC概念股上半年合计营收同比增长14.58%至1148.65亿元,研发费用同步增长7.22%至69.16亿元。尤为值得注意的是,天岳先进、
  • 骄成超声:引领超声波技术革新,助力碳化硅产业升级 8月28-30日,PCIM Asia 2024展在深圳举行。“行家说”进行了为期2天的探馆,合计报道了200+碳化硅相关参展企业(.点这里.)。其中,“行家说”还重点采访了骄成超声等十余家企业,深入了
  • 长飞先进:与多家车企达成SiC合作,晶圆产能明年释放 8月28-30日,PCIM Asia 2024展在深圳举行。“行家说”进行了为期2天的探馆,合计报道了200+碳化硅相关参展企业(.点这里.)。其中,“行家说”还重点采访了长飞先进等众多企业,深入了解
  • 华为大突破! 在苹果和华为的新品发布会前夕,Counterpoint公布了2024年第一季度的操作系统详细数据,数据显示, 鸿蒙操作系统在2024年第一季度继续保持强劲增长态势,全球市场份额成功突破4%。在中国市场
  • 下线、投产...这3个电驱动项目传最新进展 近日,3个电驱动项目迎来最新进展,包括项目量产下线、投产、完成试验等,详情请看:[关注“行家说动力总成”,快速掌握产业最新动态]青山工业:大功率电驱项目下线9月5日,据“把动力传递到每一处”消息,重庆
广告
热门推荐
广告
广告
广告
EE直播间
在线研讨会
广告
广告
广告
向右滑动:上一篇 向左滑动:下一篇 我知道了