国内首条8英寸“超越摩尔”研发中试线通线成功

2017年12月1日，致力于“超越摩尔”产业发展的创新平台上海微技术工业研究院（以下简称“工研院”）运营的8英寸“超越摩尔” 研发中试线首款传感器产品近日获得验证通过，正式宣告研发中试线通线成功。

当前以智能传感终端、大数据、云计算、人工智能等为代表的信息技术正加速创新，万物互联智能化时代正在到来。其中“超越摩尔”技术以传感器为核心，结合射频、功率、微能源等技术，是未来实现万物互联的基础。作为创新型功能平台，工研院立足国内集成电路研发和产业基地上海，8英寸研发中试线落户嘉定，填补国内这一领域的空白。

研发中试线着重开展表面硅、体硅、3D微纳加工工艺的开发，并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署MEMS、硅光子、射频、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相关工艺和量测设备，提供全方位的产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务。

“这次的通线成功标志着中国在MEMS及先进传感器的研发和产业化进入一个全新的快速发展的阶段。未来研发中试线将持续发力，在新材料、新工艺、新器件、新系统重点技术领域开展研发，进一步推动“超越摩尔”产业链的完善和物联网创新应用发展。” 上海微技术工研院总裁杨潇表示。

以全球领先的8英寸“超越摩尔”研发中试线为支点，工研院将持续打造集研发、工程、市场、孵化的一体化功能平台，为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案，建设具有全球影响力的科技创新中心及“超越摩尔”产业群。

图：上海微技术工研院8英寸 “超越摩尔” 研发中试线