制造与测试 - 电子工程专辑

制造与测试

光纤法珀式SiC耐高温压力传感器的制造与测试

高温极端环境下的压力原位直接测量在航空发动机工作状态监测、石油油井环境探测等高温高压领域存在迫切需求，耐高温压力传感器技术已经成为当前的重要研究方向。光纤法珀式压力传感器由于无需引入金属等其他材料，能够最大限度地发挥传感膜片等基体所用材料的耐高温特性，可满足高温极端环境下的压力测量要求。碳化硅（SiC）作为第三代半导体材料，与现有MEMS加工技术具有良好的相容性，且具备优异的耐高温特性，因此成为制

MEMS 2022-12-15 1016浏览

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