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压电材料
“薄膜压电材料+X”异质集成技术
据麦姆斯咨询报道,2024年10月18日至20日,南京南智先进光电集成技术研究院有限公司工艺总监包晓清将参加《第66期“见微知著”培训课程:MEMS制造工艺》并进行授课,具体信息如下:授课主题:“薄膜压电材料+X”异质集成技术授课老师简介:包晓清,博士,南京南智先进光电集成技术研究院(江苏省光电技术创新中心)工艺总监,南京信息工程大学副研究员,四川省海外高层次留学人才。他长期专注于半导体工艺、光电
MEMS
2024-10-08
300浏览
纳米多孔压电材料BCZT,可用于高密度能量收集器
据麦姆斯咨询介绍,澳大利亚昆士兰大学、日本早稻田大学和熊本大学的研究人员开发了一种超应变纳米多孔材料——锆钛酸钡钙(Ba0.85Ca0.15Ti0.9Zr0.1)O3(BCZT),展现了非凡的压电响应(d33≈7500 pm/V),相比锆钛酸铅(PZT)等传统压电材料高出了一个数量级。纳米多孔BCZT电子显微照片这项研究成果已发表于Chemical Science期刊,首次在纳米尺度上研究了BCZ
MEMS
2024-07-15
661浏览
基于AlN压电材料的高性能PMUT阵列
超声换能器在许多领域都有着广泛应用,例如医学成像、无损检测和目标识别等。随着MEMS技术的日益进步,微机械超声换能器(MUT)取得了长足的进步。相比于传统的块体型超声换能器,MUT展示出了许多优势,如体积小、功耗低、可批量制造和一致性好等。其中,电容式微机械超声换能器(CMUT)可以达到较高的机电耦合系数,但是也需要较小的空气间隔和较大的偏置电压,制造难度较大。压电式微机械超声换能器(PMUT)则
MEMS
2023-10-12
1127浏览
imec基于AlScN压电材料开发新一代PMUT超声成像
通过向人体发射高频声波并将其回波转换为电信号,可以构建体内实时图像。通过超声成像对子宫内的胎儿进行非侵入性可视化已得到广泛认可。除了医学成像,超声波还可以应用于汽车、虚拟现实(VR)/增强现实(AR)应用以及其他领域的生物识别和手势识别。目前,超声换能器通常采用硅基半导体设备来生产。对于大面积覆盖的高分辨率医学成像,需要大尺寸传感器,这对于硅基传感器来说具有挑战性,因为其每平方毫米的成本很高。用于
MEMS
2023-09-11
1013浏览
基于压电材料的宽量程压力传感器,可嵌入衣物实现长期健康监测
据麦姆斯咨询报道,美国马萨诸塞大学阿默斯特分校(University of Massachusetts Amherst)的研究人员合成了一种新材料,解决了制造可穿戴传感器过程中最困难的问题之一:压力问题。研究人员表示,尽管可穿戴“机电转换”传感器对改善健康监测和非现场护理应用至关重要,但检测范围窄、无法同时感知静态/动态压力以及耐久性差等问题限制了其实用性。为了解决这一问题,研究人员开发了一种全织
MEMS
2023-02-06
769浏览
射频滤波器用的压电材料的技术现状
1 摘要 射频滤波器是当前5G通讯建设所需的核心器件,而压电晶体则是制造射频滤波器的基础材料。本文就当前射频滤波器所用的压电材料的技术现状进行了描述,对当前国内外产业发展现状进行简要总结。2 引言 当前,第五代移动通信技术(5G)正在阔步前行,人类将开启万物广泛互联、人机深度交互的新时代。2020年3月,工信部发布的《工业和信息化部关于推动5G加快发展的通知》中强调,要“加快5G网络建设部
MEMS
2022-01-07
2577浏览
射频滤波器用的压电材料的技术现状
1 摘要 射频滤波器是当前5G通讯建设所需的核心器件,而压电晶体则是制造射频滤波器的基础材料。本文就当前射频滤波器所用的压电材料的技术现状进行了描述,对当前国内外产业发展现状进行简要总结。2 引言 当前,第五代移动通信技术(5G)正在阔步前行,人类将开启万物广泛互联、人机深度交互的新时代。2020年3月,工信部发布的《工业和信息化部关于推动5G加快发展的通知》中强调,要“加快5G网络建设部
射频百花潭
2022-01-06
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james1982...
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2024-12-04
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