压电薄膜 - 电子工程专辑

压电薄膜

上海微系统所在高掺钪AlN压电薄膜HBAR器件研究的关键进展

随着5G技术、工业4.0和物联网的兴起，无线通信系统飞速发展，对射频模块性能提出了更高要求。体声波（BAW）滤波器凭借其独特优势，成为该领域的关键元件，而其中压电材料的性能则是决定滤波器性能的核心因素。BAW滤波器因具备高工作频率、低插入损耗和优异的品质因子（Q值），在射频模块中得到广泛应用。氮化铝（AlN）虽在BAW滤波器中应用广泛，但本征机电耦合系数较小，限制了滤波器带宽。掺钪（Sc）AlN则

MEMS 2025-04-11 61浏览
基于铌酸锂压电薄膜的MEMS谐振器与滤波器

据麦姆斯咨询报道，2025年4月18日至4月20日，上海科技大学研究员吴涛将参加《第69期“见微知著”培训课程：微纳谐振器及应用》并进行授课，具体信息如下：授课主题：基于铌酸锂压电薄膜的MEMS谐振器与滤波器授课老师简介：吴涛，博士，上海科技大学研究员、常任副教授、博士生导师。他于2007年在浙江大学电子信息工程专业毕业，获得学士学位，2011年获得美国加州大学洛杉矶分校博士学位，博士毕业后曾供职

MEMS 2025-04-10 173浏览
PZT压电薄膜制备工艺

据麦姆斯咨询报道，2024年10月18日至20日，爱发科（苏州）技术研究开发有限公司研究员龚立强将参加《第66期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》并进行授课，具体信息如下：授课主题：PZT压电薄膜制备工艺授课老师简介：龚立强，爱发科（苏州）技术研究开发有限公司研究员，日本新潟大学MEMS专攻硕士学历，研究领域为压电MEMS触觉传感器。目前，主要工作方向为压电MEMS及非制冷红外相关薄膜工艺开

MEMS 2024-10-11 1723浏览
自组装生物压电薄膜：适用于传感、能量收集和生物医学应用

尽管人们正在努力开发具有优异压电性能的合成材料，但大自然似乎已经掌握这种效应数百万年了。从1941年首次在毛发中发现压电性到2021年诺贝尔生理学或医学奖揭示了Piezo 1和Piezo 2蛋白质通过机电耦合效应使细胞感知压力并引发触觉的奥秘，压电生物材料一直以来都受到人们广泛关注。压电效应产生的生物电在生物系统中具有生理意义，例如，人类胫骨在行走时会产生300微伏的压电电位，从而促进骨再生。此外

MEMS 2023-08-21 1016浏览
基于AlScN压电薄膜的MEMS声波器件

MEMS芯片具有无源、结构简单、可批量生产等优点，与低噪声信号放大电路集成后，再通过特殊的水密封装可制成具有小型化、低功耗、易实现宽频检测等特点的水听器，可以很好地解决传统水听器体积大、功耗高、成本高及难以形成阵列等问题。压电材料氧化锌（ZnO）、聚偏氟乙烯（PVDF）、锆钛酸铅（PZT）、氮化铝（AlN）等是应用于压电MEMS水听器的代表性材料，其中AIN薄膜具有性能稳定、品质因数高、介电损耗低

MEMS 2023-08-04 1104浏览
基于压电薄膜的透汗电子皮肤实现咳嗽的可靠监测

众所周知，许多呼吸系统疾病都伴随着不同程度的咳嗽。百日咳、慢性阻塞性肺病的诊断对社会公共资源提出严重考验。尤其自新冠肺炎疫情以来，咳嗽作为新冠肺炎患者主要的病症之一，对患者日常活动中咳嗽症状进行监测和分析具有重要意义。开发用于呼吸类疾病诊断的咳嗽监测传感器势在必行。在过去的数十年里，柔性传感技术在个性化医疗、智能可穿戴设备、智能假肢、人机交互界面和虚拟现实（VR）/增强现实（AR）等应用具备潜力而

MEMS 2023-03-02 904浏览
温度补偿的压电薄膜体声波滤波器

温度补偿的压电薄膜体声波滤波器清晰内容请下载pdf原文~下载方法：1. 关注本公众号(已关注本号者跳过此步)2. 点击右上角分享此篇文章至朋友圈3. 进入公众号回复：1077 即可下载此篇文章原文☆ END ☆精彩回顾腔体滤波器技术提升解决方案一座5G基站它的成本是由哪些部分组成?腔体滤波器设计之----自动单腔频率温飘秒仿糖葫芦串形低通秒仿糖葫芦型低通后续之----低通优化[超级全]一百多页的射

5G通信射频有源无源 2023-01-09 738浏览
基于单晶压电薄膜异质衬底的射频声波滤波器研究进展

张师斌1，吴进波1,2，张丽萍1,2，郑鹏程1,2，姚虎林1,2，欧欣1,2（1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室，上海 200050；2. 中国科学院大学材料科学与光电技术学院，北京 100049；）摘要：在5G及未来6G无线通信系统中，射频前端技术被视为一项关键技术，而射频滤波器作为射频前端的核心部件，具有频率选择以及抑制干扰信号的功能。基于压电效应的声波滤波器

MEMS 2022-11-01 1896浏览
压电薄膜的特性、制备和应用

压电材料是实现机械能与电能相互转换的功能材料，它的发展有着十分悠久的历史。自19世纪80年代从CURIE 兄弟在石英晶体上发现了压电效应后，压电材料开始引起人们的广泛注意，随着研究深入，不断涌现出大量的压电材料，如压电功能陶瓷材料、压电薄膜、压电复合材料等。这些材料有着十分广泛的用途，在电、磁、声、光、热、湿、气、力等功能转换器件中发挥着重要的作用。PVDF压电薄膜PVDF压电薄膜即聚偏氟乙烯压

传感器技术 2021-08-13 8357浏览
压电薄膜的特性、制备和应用

压电材料是实现机械能与电能相互转换的功能材料，它的发展有着十分悠久的历史。自19世纪80年代从CURIE 兄弟在石英晶体上发现了压电效应后，压电材料开始引起人们的广泛注意，随着研究深入，不断涌现出大量的压电材料，如压电功能陶瓷材料、压电薄膜、压电复合材料等。这些材料有着十分广泛的用途，在电、磁、声、光、热、湿、气、力等功能转换器件中发挥着重要的作用。PVDF压电薄膜PVDF压电薄膜即聚偏氟乙烯压

传感器技术 2021-08-12 3027浏览

正在努力加载更多...

广告

今日新闻

热门文章排行

广告

最新评论更多>>

真的是，硬要逼我用ViewTurbo

用户17445... 评论文章 2025-04-13

Github屏蔽中国IP！！中美关税大战的战火还是烧到科技圈
A1，寓意，美国作为人造这一领域的第一人

自做自受评论文章 2025-04-13

尴尬！美教育部长将AI读成Aone

资料

文库

帖子

博文

在线研讨会

E聘热招职位