谐振器 - 电子工程专辑

谐振器

基于嵌入式微通道BAW谐振器的超灵敏液体传感器

在各类谐振器中，压电谐振器以其对频率的精确控制而闻名。体声波（BAW）谐振器是一种基于MEMS制造的微型压电器件，在高精度谐振传感器领域具有显著的优势，包括更小的尺寸、与CMOS工艺兼容、更高的灵敏度、抗干扰能力以及较低的制造和测量成本等。BAW谐振器的高频和高品质因数特性极大地推动了其在传感技术中的应用。据麦姆斯咨询报道，近期，武汉大学国世上教授、孙成亮教授团队以及武汉纺织大学刘炎博士联合开发出

MEMS 2024-10-26 356浏览
基于声子晶体的微恒温箱控制MEMS谐振器，提高Q值并保持频率稳定性

MEMS谐振器具有体积小、可靠性高、与半导体制造工艺兼容等独特优势，可以作为参考频率替代石英谐振器。虽然具有许多优点，但硅基MEMS谐振器的频率温度系数（TCF）相当大，通常约为-30 ppm/°C。如此大的TCF值使这些MEMS谐振器在没有有效温度补偿的情况下不适合精密时钟应用。目前已开发出多种技术来解决由温度引起的频率偏移问题。其中，微恒温箱控制温度补偿方案是一种实现ppb级频率稳定特别有效的

MEMS 2024-09-30 453浏览
基于二维半导体ReSe₂的高频-超高频纳米机电谐振器

《中国科学：信息科学》英文版（SCIENCE CHINA Information Sciences）近日发表了电子科技大学的研究成果，文章题为“HF-VHF NEMS resonators enabled by 2D semiconductor ReSe₂”，于2024年第67卷第10期刊出。电子科技大学王曾晖、夏娟、朱健凯、徐博为通讯作者；电子科技大学基础与前沿研究院为第一完成单位。该研究得到了

MEMS 2024-09-20 420浏览
【电子科大】BAW谐振器入门

体声波谐振器空腔结构研究Enjoying~清晰内容请下载pdf原文~下载方法：1. 关注本公众号(已关注本号者跳过此步)2. 点击右上角分享此篇文章至朋友圈(共享造福)3. 进入公众号回复：1061 即可下载此篇文章原文☆ END ☆精彩回顾腔体滤波器技术提升解决方案一座5G基站它的成本是由哪些部分组成?腔体滤波器设计之----自动单腔频率温飘秒仿糖葫芦串形低通秒仿糖葫芦型低通后续之----低通优

5G通信射频有源无源 2024-09-13 347浏览
基于双微环谐振器的超高速全硅雪崩光电二极管芯片

为满足日益增长的数据流量需求，硅（Si）光子已成为一种前景广阔的超高速、低成本光互连技术。然而，利用硅光子技术实现高性能光电探测器需要集成更窄的带隙材料，这会导致更复杂的制造工艺、更高的成本和更低的良品率等问题。据麦姆斯咨询报道，为了应对这一挑战，近日，美国慧与（Hewlett Packard Enterprise）和密歇根大学（University of Michigan）的联合研究团队提出了一

MEMS 2024-08-17 481浏览
【光电集成】光频域反射表征微环谐振器

今日光电有人说，20世纪是电的世纪，21世纪是光的世纪；知光解电，再小的个体都可以被赋能。追光逐电，光赢未来...欢迎来到今日光电！----追光逐电光赢未来----绪言针对目前集成电路和光学器件向微型化,集成化的发展趋势,以及构建大规模光电一体化集成系统的现实需求,基于SOI(Silicon On Insulator)的微环谐振腔（MRRs）由于其高集成度,与CMOS工艺兼容等优点,迅

今日光电 2024-06-18 499浏览
基于纳米机电谐振器的气压传感器：宽量程、高线性、快响应

据麦姆斯咨询报道，近日，电子科技大学王曾晖教授、夏娟研究员团队与中南大学周喻教授团队合作报道了基于非层状二维材料β-In2S3的超高频谐振式气压传感器，实现了宽量程（从10⁻³ Torr直至大气压）、高线性（非线性程度仅为0.0071）和快响应（内禀响应时间低于1微秒）的优异传感性能。研究人员还阐明了纳米机电谐振器的频率设计规律，并成功实验测定了材料弹性模量和器件内应力，为基于二维非层状材料的新型

MEMS 2024-06-01 526浏览
北京大学：多模微环谐振器中的多功能光子分子开关

近日，北京大学电子学院王兴军、舒浩文团队提出集成微波光子宽频段精细信号处理解决方案，通过操控波导内空间模式的耦合关系来调控谐振峰劈裂的状态；当劈裂调控至消失时，谐振峰宽仅约30 MHz，同时维持着超百GHz的自由光谱范围，为高精度、超宽带的微波光子应用提供了强大支持。团队实现了基于硅基微环的跨L, S, C, X, Ku, K, Ka, U多频段的微波/毫米波的生成与处理，对于未来机载、卫星的跨频

MEMS 2024-02-26 625浏览
【电子科大】BAW谐振器入门

体声波谐振器空腔结构研究Enjoying~清晰内容请下载pdf原文~下载方法：1. 关注本公众号(已关注本号者跳过此步)2. 点击右上角分享此篇文章至朋友圈(共享造福)3. 进入公众号回复：1061 即可下载此篇文章原文☆ END ☆精彩回顾腔体滤波器技术提升解决方案一座5G基站它的成本是由哪些部分组成?腔体滤波器设计之----自动单腔频率温飘秒仿糖葫芦串形低通秒仿糖葫芦型低通后续之----低通优

5G通信射频有源无源 2024-02-21 459浏览
基于高温退火非极性面氮化铝单晶薄膜实现高性能声学谐振器

氮化铝（AlN）以其超宽禁带宽度（~6.2 eV）和直接带隙结构，与氧化镓、氮化硼、金刚石等半导体材料被并称为超宽禁带半导体，与氮化镓、碳化硅等第三代半导体材料相比具有更优异的耐高压高温、抗辐照性能。此外，氮化铝沿c轴的高频压电性能与高声速特征使其成为制备高频声学谐振器的理想材料，已被广泛应用于高频通讯的射频前端模组。然而，氮化铝材料铝-氮键键能强，制备温度高，高质量单晶制备条件极其苛刻，这些问题

MEMS 2024-01-08 515浏览
集成声学谐振器和电化学芯片的微流控平台，实现细胞内过氧化氢的高灵敏度检测

过氧化氢（H₂O₂）在调节细胞代谢、增殖、分化和凋亡方面起着至关重要的作用。细胞内H₂O₂的过量产生和积累还会引起氧化应激，导致细胞成分的破坏，进而引发神经退行性疾病、心血管疾病、白血病和癌症等多种疾病。因此，H₂O₂水平可以作为早期诊断各种疾病的生物标志物。然而，细胞内的H₂O₂极不稳定，难以动态检测，因此，开发可以准确检测细胞内H₂O₂的方法迫在眉睫。电化学法具有检测速度快、灵敏度高、操作简便

MEMS 2023-12-24 718浏览
利用范德华纳米材料制备高质量红外偏振谐振器

当与电子器件相结合时，红外光可以在分子水平上使传感、成像及信号传输设备实现小型化和加快速度。为了充分利用红外光的优势，用于红外光学和光电应用的材料需要达到无缺陷结晶度。为了制造与红外光强烈共振的高质量晶体，美国斯坦福大学（Stanford University）与劳伦斯伯克利国家实验室（LBNL）共同合作，开发利用自上而下、自组装的方法来合成的具有与块状单晶相一致的晶体质量纳米结构。超薄纳米结构作

MEMS 2023-11-08 602浏览
基于表面等离子体微波谐振器的无创血糖监测传感器

据麦姆斯咨询报道，近日，伊朗赞詹大学（University of Zanjan）、国立云林科技大学（National Yunlin University of Science and Technology）、台大医院云林分院（National Taiwan University Hospital Yunlin Branch）等机构的研究人员组成的团队在Scientific Reports期刊上发表

MEMS 2023-10-25 772浏览
面向5G通讯的高性能LLSAW压电异质声学谐振器

清华大学潘峰教授团队面向5G通讯的高性能LLSAW压电异质声学谐振器01研究内容近年来移动通讯技术不断快速迭代革新，为支持更快的数据传输速率，射频器件正向更高的频谱范围进行拓展迁移。6 GHz是5G通信或WiFi应用部署的关键频段。作为目前移动通讯的主流滤波方案，声表面波（SAW）滤波器也亟需提升中心频率和带宽以匹配未来频段的使用需求。然而，目前SAW滤波器所利用的传统声学模式如瑞利波、水平剪切波

滤波器 2023-10-05 592浏览
面向5G通讯的高性能LLSAW压电异质声学谐振器

MEMS 2023-09-25 00:01 发表于上海清华大学潘峰教授团队面向5G通讯的高性能LLSAW压电异质声学谐振器01研究内容近年来移动通讯技术不断快速迭代革新，为支持更快的数据传输速率，射频器件正向更高的频谱范围进行拓展迁移。6 GHz是5G通信或WiFi应用部署的关键频段。作为目前移动通讯的主流滤波方案，声表面波（SAW）滤波器也亟需提升中心频率和带宽以匹配未来频段的使用需求。然而，目

滤波器 2023-10-04 594浏览
面向5G通讯的高性能LLSAW压电异质声学谐振器

清华大学潘峰教授团队面向5G通讯的高性能LLSAW压电异质声学谐振器01研究内容近年来移动通讯技术不断快速迭代革新，为支持更快的数据传输速率，射频器件正向更高的频谱范围进行拓展迁移。6 GHz是5G通信或WiFi应用部署的关键频段。作为目前移动通讯的主流滤波方案，声表面波（SAW）滤波器也亟需提升中心频率和带宽以匹配未来频段的使用需求。然而，目前SAW滤波器所利用的传统声学模式如瑞利波、水平剪切波

MEMS 2023-09-25 689浏览
基于铪-氧化锆-氧化铝超晶格的宽频谱纳机电谐振器

新开发的原子工程技术为高k电介质中的铁电行为提供了令人兴奋的机遇，高k电介质是与硅相比具有高介电常数的材料。这还可以为更先进且具有更广泛功能或特性的CMOS技术的开发提供有益信息。工作频率17.4 GHz铪-氧化锆-氧化铝纳机电谐振器的扫描电子显微镜图像（左）和突出显示超晶格细节的谐振器横截面图（右）。据麦姆斯咨询报道，美国佛罗里达大学的研究人员近年一直在探索原子工程铪和氧化锆基材料在电子系统各种

MEMS 2023-08-22 714浏览
适用声波谐振器的磁控溅射制备AIN薄膜优化技术

氮化铝（AlN）具有优良的物理化学特性以及与标准CMOS晶硅技术的兼容性，且在多方面性能上优于氧化锌（ZnO）和锆钛酸铅（PZT），因此成为最受关注的压电材料之一。AlN压电薄膜表现出合适的机电耦合系数、高纵波声速、大杨氏模量和高热导率等特点，随着制备工艺和材料微结构调控技术的快速发展，使其成为5G时代声波谐振器中的关键电子材料。AlN压电薄膜的成膜质量直接决定器件的工作频率、Q值和可靠性。制备A

MEMS 2023-07-28 704浏览
碳化硅基钽酸锂异质晶圆上实现超高Q值SAW谐振器的色散调控新机制

来源：上海微系统所，信息功能材料国家重点实验室，异质集成XOI课题组1工作简介中科院上海微系统所异质集成XOI课题组基于自主研制的高质量LiTaO3-on-SiC单晶压电异质衬底，揭示了其中水平剪切波模式（SH-SAW）的主偏振分量（Y分量）的调控机制和伴生杂散偏振分量（X+Z分量）的抑制机制，通过调控厚度波长比以抑制散射损耗，据此实现了Q值超10000的声表面波（SAW）谐振器件。相关研究工作以

MEMS 2023-06-01 935浏览
石英基钽酸锂异质集成晶圆制备及高性能声学射频谐振器

来源：上海微系统所，信息功能材料国家重点实验室，异质集成XOI课题组工作简介上海微系统所异质集成XOI课题组采用万能离子刀技术，成功实现了4英寸晶圆级石英基钽酸锂单晶薄膜异质晶圆（Lithium tantalate on Quartz，LTOQ）的制备，所制备的薄膜具有良好的薄膜均匀性和晶体质量。基于LTOQ衬底所制备的声表面波谐振器的Bode_Q值超过3000，机电耦合系数大于10%，并在高温下

MEMS 2023-01-05 1179浏览
基于MEMS的非线性多模谐振器

非线性现象目前在微机电系统（MEMS）领域正引起人们广泛的关注。通过调节可控的调谐电压，MEMS器件尤其是微执行器上的非线性可以被精确地控制。为了捕获和分离微小颗粒，在微操作中产生大而稳定的旋转力是至关重要的。据麦姆斯咨询报道，近日，国立清华大学（National Tsing Hua University）的研究人员在Scientific Reports期刊上发表了题为“Experimental

MEMS 2022-12-28 1404浏览
5G宽带应用的AlScN薄膜体声波谐振器

凭借高性能和标准CMOS兼容集成工艺，体声波（BAW）滤波器已广泛用于移动通信系统的消费类产品中。然而，对于传统基于氮化铝（AlN）的BAW滤波器来说，仅通过纯声学方法来满足多个分配的具有超过5%相对带宽的5G频带是一项挑战。据麦姆斯咨询报道，近日，武汉大学孙成亮教授研究团队开发了一种基于Al0.8Sc0.2N薄膜的体声波谐振器（FBAR），用于射频（RF）滤波器的设计。通过利用高质量的Al0.8

MEMS 2022-12-14 1043浏览
集成MEMS氮化铝SAW谐振器的片上参考时钟平台诞生

据麦姆斯咨询报道，高性能时钟器件供应商Pearl Semiconductor近日发布了首款真正意义上的单芯片参考时钟平台。这项被称为SingleDie的技术突破，将MEMS表面声波（SAW）谐振器嵌入同一芯片上更大的CMOS集成电路中，实现了一种极低噪声的片上参考时钟平台，适用于汽车和工业等各种恶劣环境中的一系列应用。Pearl Semiconductor开发的SingleDie技术是其与SilT

MEMS 2022-11-16 935浏览
中国科大实现可滑动纳米机电谐振器

中国科大郭光灿院士团队在纳米机电谐振器研究中取得重要进展。该团队郭国平、宋骧骧等人与苏州大学Joel Moser教授及本源量子计算有限公司合作，实现了基于石墨烯的可滑动纳米机电谐振器。相关研究成果近日以“Sliding nanomechanical resonators”为题，发表于《自然·通讯》（Nature Communications）上。一个振动物体的振动性质受到其固定方式的影响，这一规律

MEMS 2022-11-03 951浏览
基于声学超材料和亥姆霍兹谐振器的自供能声学传感器

随着5G和人工智能（AI）技术的发展，自供能声学传感器受到广泛关注。新冠毒病（COVID-19）的全球蔓延，进一步加剧了对自供能声学传感器的需求，通过部署非接触式语音传感系统，严格控制公共场所的接触式传播，将有效减轻疾病传播的风险。与传统声学传感器相比，压电声学传感器解决了低灵敏度和窄频带的问题，但压电材料制造工艺复杂、成本高昂，且灵敏度等性能指标难以进一步提升。声学超材料作为一种人工材料，能够突

MEMS 2022-10-11 1682浏览

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