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蚀刻
干法蚀刻各向异性的机理是什么
之前我们介绍了,没有刻蚀偏差的刻蚀就是各向异性刻蚀。下面把刻蚀分解为基本步骤来介绍。首先,刻蚀气体在等离子体中分解电离,形成离子和自由基等刻蚀类物质,称为Enchant,这是第一个阶段。接下来是这些Enchant 到达晶圆表面的过程。此时,想要刻蚀出深度形状,压力低的情况更有利。但是,如果压力过低,放电就会不顺利,也会出现等离子体难以产生的问题。下一阶段是到达晶片表面的Enchant 与被刻蚀物发
半导体工艺与设备
2024-11-27
52浏览
投资约4.9亿元!Chemtronics世宗OLED蚀刻工厂竣工
CINNO Research产业资讯,在韩国世宗市全东面青松农工产业园区,地区代表中坚企业Chemtronics共投入949亿韩元(约4.9亿人民币)的第八代OLED蚀刻工厂实现了竣工。根据韩媒Newsis报道,11月15日,世宗市长崔旼镐、市议会议长林彩成及Chemtronics会长金甫均出席了竣工仪式。Chemtronics新工厂是在三星显示完成前工程的IT用第八代OLED基础上进行后薄型蚀刻
CINNOResearch
2024-11-17
170浏览
投资约4.9亿元!Chemtronics8代OLED后工程蚀刻工厂下月竣工
CINNO Research产业资讯,Chemtronics 将于下个月实现其第8代OLED IT产品后工程蚀刻工厂竣工。该工厂专门为三星现实供应给苹果的IT产品进行Hybrid OLED后工程蚀刻。根据韩媒thelec报道,据10月29日业界消息,Chemtronics计划于下月15日下午2点在世宗工厂举行第8代IT产品用OLED后工程蚀刻工厂的竣工仪式。三星显示中小型事业部长副社长李青(Lee
CINNOResearch
2024-10-30
188浏览
三星显示寻找新的OLED蚀刻承包商
来源:集微网6月13日消息,三星显示正在寻找一家新的承包商来处理其刚性和混合OLED面板的后端蚀刻工作。消息人士称,因为承包这项工作的厂商之一Soulbrain正计划退出该业务。三星显示目前在A2工厂生产用于中低端智能手机的刚性OLED面板,在A3工厂生产用于苹果iPad的混合OLED面板。刚性OLED面板是指使用玻璃基板的OLED面板,这比使用塑料基板的柔性OLED面板便宜,后者面向高端智能手机
CINNOResearch
2024-06-13
435浏览
电池回收|NS:通过盐蚀刻法回收硅太阳能电池板—HuayiYin
点击左上角“锂电联盟会长”,即可关注!【论文链接】https://doi.org/10.1021/jacs.3c11931【作者单位】武汉大学【论文摘要】在向碳中性能源系统过渡的过程中,硅(Si)太阳能电池板的生产和使用正在飙升。为了减少它们的环境足迹,迫切需要开发一种有效的回收方法来处理寿命结束的硅太阳能电池板。在这里,本文报告了一种简单的盐蚀刻方法,从报废的硅太阳能电池板中回收银和硅,而不使用
锂电联盟会长
2024-06-05
605浏览
总投资5亿!沃格光电拟投建OLED玻璃基光蚀刻精加工项目
JM Insights消息,沃格光电(603773)3月27日晚间发布公告,公司及/或公司全资子公司于成都设立项目公司,拟投资建设AMOLED显示屏玻璃基光蚀刻精加工项目,总投资金额约5亿元人民币,建设期预计2年(含项目筹建期),预计2026年正式投入生产,进入产能爬坡阶段。达产年预计实现月产能2.4万片。本次拟投资的AMOLED显示屏玻璃基光蚀刻精加工项目,属于AMOLED显示屏玻璃基后段工艺制
JMInsights集摩咨询
2024-03-28
597浏览
总投资5亿!沃格光电拟投建OLED玻璃基光蚀刻精加工项目
WitDisplay消息,沃格光电(603773)3月27日晚间公告,公司及/或公司全资子公司于成都设立项目公司,拟投资建设AMOLED显示屏玻璃基光蚀刻精加工项目,总投资金额约5亿元人民币,建设期预计2年(含项目筹建期),预计2026年正式投入生产,进入产能爬坡阶段。达产年预计实现月产能2.4万片。本次拟投资的AMOLED显示屏玻璃基光蚀刻精加工项目,属于AMOLED显示屏玻璃基后段工艺制程。本
WitDisplay
2024-03-28
494浏览
总投资5亿!沃格光电拟投建OLED玻璃基光蚀刻精加工项目
WitDisplay消息,沃格光电(603773)3月27日晚间公告,公司及/或公司全资子公司于成都设立项目公司,拟投资建设AMOLED显示屏玻璃基光蚀刻精加工项目,总投资金额约5亿元人民币,建设期预计2年(含项目筹建期),预计2026年正式投入生产,进入产能爬坡阶段。达产年预计实现月产能2.4万片。本次拟投资的AMOLED显示屏玻璃基光蚀刻精加工项目,属于AMOLED显示屏玻璃基后段工艺制程。本
WitDisplay
2024-03-28
519浏览
半导体行业应用速递|近红外光谱法快速分析蚀刻液中混酸含量
与日俱增的电子化水平使我们对半导体的需求日益增加,半导体的工艺流程从覆铜板到PCB、从光刻到蚀刻,整个生产链都要求高质量、高标准的交付,因此必须通过优化生产过程来提高生产效率。以蚀刻过程中使用的蚀刻液为例:蚀刻液的配方组成对于蚀刻效果来说十分重要。酸性蚀刻使用的蚀刻液通常由多种高纯酸混合而成(如,硫酸、磷酸、硝酸、氢氟酸等),为了达到所需的蚀刻效果,必须严格控制蚀刻液中各种酸的含量。在实际工业生产
半导体前沿
2024-03-19
612浏览
JNTC开发出车载显示曲面玻璃AG蚀刻技术
CINNO Research产业资讯,根据韩媒Thelec报道,JNTC公司2月23日表示,公司开发了适用于车辆显示曲面(3D)盖板玻璃的防眩光(AG:Anti-Glare)蚀刻量产技术。 AG蚀刻量产技术通过在户外实现屏幕防眩光,让高清画面更加清晰。JNTC期待“在主要采用于车载显示屏上的超大曲面盖板玻璃上,将支持高品质和生产性”。JNTC本月初曾宣布开发出了防指纹(AF:Anti-Fin
CINNOResearch
2024-02-27
596浏览
【光电集成】电偶腐蚀对先进封装铜蚀刻工艺的影响
今日光电 有人说,20世纪是电的世纪,21世纪是光的世纪;知光解电,再小的个体都可以被赋能。追光逐电,光赢未来...欢迎来到今日光电!----追光逐电 光赢未来----高晓义 陈益钢(上海大学材料科学与工程学院 上海飞凯材料科技股份有限公司)摘要:在先进封装的铜种子层湿法蚀刻工艺中,电镀铜镀层的蚀刻存在各向异性的现象。研究结果表明,在磷酸、双氧水的蚀刻液体系中,因电偶腐蚀造成的凸点电镀铜蚀
今日光电
2024-01-21
809浏览
Soulbrain计划退出OLED面板蚀刻业务
CINNO Research产业资讯,Soulbrain退出用于有机发光二极管(OLED)用减薄玻璃(TG)业务。减薄玻璃是把用于OLED显示制造的玻璃基板变薄,是OLED市场从刚性转变为柔性的决定因素。根据韩媒ETNews报道,据业界11月6日消息,Soulbrain已开始缩减TG业务人员,准备退出业务。据了解,此前已向主要客户三星显示等相关公司传达了业务退出计划。TG是蚀刻用于显示面板的玻璃基
CINNOResearch
2023-11-07
605浏览
瞿永泉教授、苟王燕博士Small研究:电化学蚀刻将IrOx/Y2O3的电催化析氧途径由吸附质演化机制转换为晶格氧介导机制
点击左上角“锂电联盟会长”,即可关注!文 章 信 息电化学蚀刻将IrOx/Y2O3的电催化析氧途径由吸附质演化机制转换为晶格氧介导机制第一作者:谈晓荷通讯作者:苟王燕*,瞿永泉*,马媛媛*单位:西北工业大学研 究 背 景了解电催化剂的OER机制对高效电催化剂的合理设计具有重要意义。迄今为止,吸附物演化机制(AEM)和晶格氧机制(LOM)被广泛认为是过渡金属氧化物催化OER的两种主要途径。在LOM途
锂电联盟会长
2023-07-10
967浏览
400层堆叠3DNAND闪存将至!东京电子宣布开发出全新蚀刻技术
来源:IT之家6 月 12 日消息,东京电子(TEL)近日宣布,已开发出一种用于存储芯片的通孔蚀刻技术,可用于制造 400 层以上堆叠的 3D NAND 闪存芯片。TEL 表示,该技术首次将电蚀刻应用带入到低温范围中,并创造性地发明了具有极高蚀刻速率的系统。图片来源:东京电子具体而言,这项新技术可以在短短 33 分钟内完成 10 微米深度的高纵横比(备注:纵横比是指晶圆上形成图案的深度与宽度之比)
CINNOResearch
2023-06-12
1754浏览
LGD为苹果开发新OLED蚀刻技术
据韩媒The Elec报道,LG显示正在准备推出混合OLED面板,该面板使用像刚性OLED面板一样的玻璃基板,但使用像柔性OLED面板一样的薄膜封装(TFE)。据悉,LG显示和LG电子生产工程研究所(PRI))正在开发一种蚀刻技术,可以同时蚀刻玻璃基板并将其切割成单元。传统的刚性OLED面板使用两块玻璃基板,但在混合OLED面板中,顶部玻璃基板被TFE取代。这意味着面板更薄,剩余的底部玻璃基板被蚀
Dipsplay之家
2023-04-19
700浏览
LGD正在开发苹果IT产品OLED用新型蚀刻技术
CINNO Research产业资讯,LG显示着手开发苹果IT产品用新的蚀刻技术。据推测,其目标是在进行玻璃基板下板蚀刻的同时,将以Cell为单位共同进行切割工艺。Hybrid OLED与现有的的Rigid OLED相比,面板本身更薄,因此,如果同时进行蚀刻和Cell为单位的切割工艺,就能提高生产效率。三星显示将从第六代线开始应用新的蚀刻技术,但LG显示将从未来第八代线开始应用新技术。苹果iPad
CINNOResearch
2023-04-18
994浏览
投资4.8亿!华天科技集成电路蚀刻高端铜合金引线框架项目已封顶
据宝鸡招商消息,截止目前,华天科技集成电路蚀刻高端铜合金引线框架项目已完成投资4.8亿元,厂房已经封顶,正在安装外立面和内部装饰。预计春节后设备进场。消息显示,集成电路蚀刻高端铜合金引线框架项目由华天科技(宝鸡)有限公司投资建设,利用企业自有土地,总投资5亿元。项目新建2#厂房26000㎡,引进、购置先进的生产设备、仪器、模具、废水处理系统,实施集成电路蚀刻高端铜合金引线框架项目,开发FC、QFN
半导体前沿
2023-01-30
1237浏览
蚀刻Etch工艺详解!
中国半导体论坛 振兴国产半导体产业! ***************END***************中国半导体论坛百万微信群加群步骤: 第一步:扫描下方二维码,关注中国半导体论坛微信公众号。 第二步:在公众号里面回复“加群”,按照提示操作即可。 爆料|投稿|合作|社群文章内容整理自网络,如有侵权请联系沟通投稿或商务合作请联系iccountry有偿新闻爆料请添加微信iccountry
中国半导体论坛
2022-10-07
1178浏览
蚀刻Etch工艺详解!
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2022-08-22
918浏览
蚀刻Etch工艺详解!
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中国半导体论坛
2022-08-12
952浏览
蚀刻Etch工艺详解!
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中国半导体论坛
2022-07-17
1050浏览
预计明年投产!德智新材料半导体用碳化硅蚀刻环项目主体工程完工
免责声明:内容如有侵权,请联系本部删除!(手机微信同号15800497114)近日,湖南德智新材料有限公司半导体用碳化硅蚀刻环项目完成了主体工程建设,并预计在明年初投产,一项“卡脖子”的高精尖技术,即将在株洲顺利实现产业化。SiC刻蚀环是半导体材料在等离子刻蚀环节中的关键耗材,在半导体芯片产业链上是一种不可或缺的重要材料。SiC刻蚀环对纯度要求极高,因此只能采用CVD工艺进行生长SiC厚层块体,随
今日半导体
2022-06-10
1523浏览
【干货】PCB加工的蚀刻工艺及过程控制
印刷线路板从光板到显出线路图形的过程是一个比较复杂的物理和化学反应的过程,本文就对其最后的一步--蚀刻进行解析。目前,印刷电路板(PCB)加工的典型工艺采用"图形电镀法"。即先在板子外层需保留的铜箔部分上,也就是电路的图形部分上预镀一层铅锡抗蚀层,然后用化学方式将其余的铜箔腐蚀掉,称为蚀刻。蚀刻的种类要注意的是,蚀刻时的板子上面有两层铜。在外层蚀刻工艺中仅仅有一层铜是必须被全部蚀刻掉的,其余的将形
PCB资讯
2022-06-06
1984浏览
关于氮化铝单晶的湿法化学蚀刻的研究报告
引言氮化镓因其独特的性质和在光电和微电子器件中的潜在应用而引起了广泛的兴趣。然而,GaN异质外延层中高达108 cm-2的位错密度缩短了GaN基器件的寿命。氮化铝和氮化镓之间的化学相容性和晶格/热膨胀匹配使得块状氮化铝单晶可能适合氮化镓外延生长。此外,高热导率(340W/m·K)和高电阻率使AlN成为大功率器件的理想选择。AlN具有极性纤锌矿结构,由紧密间隔的六边形层组成,在沿c轴堆叠在一起的阳离
半导体工艺与设备
2022-02-25
4811浏览
LamResearch将新蚀刻技术用于三星芯片生产
本文由半导体产业纵横编译综合 美国半导体设备公司泛林集团(Lam Research)将在韩国生产用于半导体生产的下一代核心设备,支持栅极全方位(GAA)技术和3D堆叠技术的高选择性蚀刻。 Lam Research于当地时间2月10日公布了新的设备阵容。预计新设备将在三星电子开发下一代存储器半导体和系统半导体方面发挥关键作用。 Lam Research在推出新产品时直接提及其客户是不寻常的。"当半导
半导体产业纵横
2022-02-11
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