石英晶体微天平 - 电子工程专辑

石英晶体微天平

综述：基于MOF/COF的石英晶体微天平CO₂气体传感器的设计策略

石英晶体微天平（QCM）是一种基于石英晶体谐振原理的高性能传感器件（如图1），主要用于测量非常微小质量变化。该传感器特征量的变化不依赖于敏感材料的电性能差异，而只取决于暴露材料的吸附能力。金属有机框架（MOF）/共价有机框架（COF）作为一种功能材料，具有独特的物理和化学性质，能够大量捕获和吸附气体。因此，基于MOF/COF的QCM气体传感器在二氧化碳（CO₂）气体传感中具有广阔的应用前景。图1

MEMS 2025-03-16 91浏览
石英晶体微天平QCM晶体

01QCM(Quartz Crystal Microbalance) 是指用于石英晶体微天平的石英晶片。它利用了石英晶体的压电效应，通过检测输出频率的变化量。使用计算机等其它的辅助设备获得高精度数据，推算出附着在QCM晶体表面微小物质的质量，其敏灵度为0.001mg，是一般电子微天平精度的100倍以上。QCM石英微天平不光可以用于空气中，同样也可以用于液体中，所以可以对固液中的微小质量做精确测

KOAN晶振 2022-07-07 1347浏览

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