湿法刻蚀 - 电子工程专辑

湿法刻蚀

干法刻蚀与湿法刻蚀的优劣详解

在本文将简要说明湿法蚀刻和干法蚀刻每种蚀刻技术的特点和区别。在半导体制造中，在处理基板或在基板上形成的薄膜的过程中，有一种称为“蚀刻”的技术。蚀刻技术的发展对实现英特尔创始人戈登·摩尔在1965年提出的“晶体管的集成密度将在1.5到2年内翻一番”的预测（俗称“摩尔定律”）起到了推动作用。蚀刻不是像沉积或键合那样的“加”过程，而是“减”过程。另外，根据刮削方式的不同，分为两大类，分别称为“湿法蚀刻”

半导体工艺与设备 2024-03-17 1692浏览
干法刻蚀与湿法刻蚀的优劣详解

知识酷 👆显示技术 | 显示资讯 | 知识管理第1602篇推文‍在本文将简要说明湿法蚀刻和干法蚀刻每种蚀刻技术的特点和区别。在半导体制造中，在处理基板或在基板上形成的薄膜的过程中，有一种称为“蚀刻”的技术。蚀刻技术的发展对实现英特尔创始人戈登·摩尔在1965年提出的“晶体管的集成密度将在1.5到2年内翻一番”的预测（俗称“摩尔定律”）起到了推动作用。蚀刻不是像沉积或键合那样的“加”过程，而是“减”

BOE知识酷 2024-03-07 888浏览
晶片湿法刻蚀

硅湿法刻蚀1、酸性蚀刻液：Si+HNO3 +6HF → H2 SiF6 +HNO2 +H2O+H22、硅的碱性刻蚀液：氢氧化钾、氢氧化氨或四甲基羟胺（TMAH）溶液，晶片加工中，会用到强碱作表面腐蚀或减薄，器件生产中，则倾向于弱碱，如SC1清洗晶片或多晶硅表面颗粒，一部分机理是SC1中的NH4OH刻蚀硅，硅的均匀剥离，同时带走表面颗粒。随着器件尺寸缩减会引入很多新材料（如高介电常数和金属栅极），那

半导体工艺与设备 2023-06-14 1645浏览
干法刻蚀与湿法刻蚀的优劣详解

在本文将简要说明湿法蚀刻和干法蚀刻每种蚀刻技术的特点和区别。在半导体制造中，在处理基板或在基板上形成的薄膜的过程中，有一种称为“蚀刻”的技术。蚀刻技术的发展对实现英特尔创始人戈登·摩尔在1965年提出的“晶体管的集成密度将在1.5到2年内翻一番”的预测（俗称“摩尔定律”）起到了推动作用。蚀刻不是像沉积或键合那样的“加”过程，而是“减”过程。另外，根据刮削方式的不同，分为两大类，分别称为“湿法蚀刻”

半导体工艺与设备 2023-02-04 2513浏览
【原创】湿法刻蚀及其均匀性技术探讨

湿法刻蚀是化学清洗方法中的一种，是化学清洗在半导体制造行业中的应用，是用化学方法有选择地从硅片表面去除不需要材料的过程。其基本目的是在涂胶的硅片上正确地复制掩膜图形，有图形的光刻胶层在刻蚀中不受到腐蚀源显著的侵蚀，这层掩蔽膜用来在刻蚀中保护硅片上的特殊区域而选择性地刻蚀掉未被光刻胶保护的区域。从半导体制造业一开始，湿法刻蚀就与硅片制造联系在一起。虽然湿法刻蚀已经逐步开始被干法刻蚀所取代，但它在漂去

半导体工艺与设备 2021-12-28 2004浏览
设备｜晶洲装备G8.5湿法刻蚀设备量产设备交付

2021年，晶洲装备迎来新的家园，站在新的高度，踏上了新的征程。新厂竣工伊始，晶洲接获某大客户大尺寸显示基地示范工厂G8.5刻蚀设备订单，历时130余天，G8.5刻蚀设备较之标准生产周期提前50天超前完成生产，顺利下线。这是我司新工厂投入使用后首批交付的主工艺设备，该订单的接获，体现了行业标杆企业对晶洲研发设计以及生产能力的认可。湿法刻蚀设备主要应用于平板显示制程的阵列(Array)段，其原理是利

CINNOResearch 2021-09-11 1775浏览
【原创】湿法刻蚀及其均匀性技术探讨

湿法刻蚀是化学清洗方法中的一种，是化学清洗在半导体制造行业中的应用，是用化学方法有选择地从硅片表面去除不需要材料的过程。其基本目的是在涂胶的硅片上正确地复制掩膜图形，有图形的光刻胶层在刻蚀中不受到腐蚀源显著的侵蚀，这层掩蔽膜用来在刻蚀中保护硅片上的特殊区域而选择性地刻蚀掉未被光刻胶保护的区域。从半导体制造业一开始，湿法刻蚀就与硅片制造联系在一起。虽然湿法刻蚀已经逐步开始被干法刻蚀所取代，但它在漂去

半导体工艺与设备 2021-07-30 5892浏览

正在努力加载更多...

广告

今日新闻

热门文章排行

1 是不是完了，ADI取消文晔代理，国内仅剩2家

集成电路IC  5589
2 华为“全能车王”来了！余承东：我出牌了，还挺大

快科技  5155
3 ISLE2025逛展攻略新鲜出炉！3月7-9日约定你不见不散

JMInsights集摩咨询  1861
4 最高补贴2万！今年汽车以旧换新政策来了

智能车参考  1812
5 路透社：中国将出台政策推广RISC-V芯片应用

谈思汽车  1810
6 全球首例！中国量子纠缠涡旋光芯片问世，破解光子维度革命终极难题！

飙叔科技洞察  1722
7 什么是RISC-V芯片

芯片工艺技术  1460
8 供应链“起义”！中国推动全国使用RISC-V芯片能否撼动ARM与X86的霸主地位？

飙叔科技洞察  1448
9 突发！ADI取消文晔代理！

芯片视界  1247
10 关于华为900亿收购拓维信息

集成电路IC  1161
11 DeepSeek+RAG本地知识库搭建实战

智能计算芯世界  1148
12 SiC用量超25万片/年！全球AR眼镜一哥将导入？

第三代半导体风向  1127
13 全裁！北京中芯聚源被曝关门！

集成电路IC  1123
14 三元锂电池，悄然间沦为时代的“弃子”？

电动车公社  1079
15 数亿美元！滴滴自动驾驶融资，估值达50亿美元！国产机器人厂商多轮融资！

飙叔科技洞察  1058
16 腾讯：23张PPT搞懂DeepSeek核心技术！

ittbank  937
17 中国拟出台政策，鼓励全国使用RISC-V芯片！

皇华电子元器件IC供应商  927
18 LED显示行业走势分化，MicroLED、COB、海外市场等塑造新增长极

JMInsights集摩咨询  903
19 北京大学：DeepSeek私有化部署和一体机

智能计算芯世界  877
20 参会指南｜3月6-7日相约国际连接技术大会

线束世界  874
21 仅仅2小时：摩尔线程GPU火速支持阿里杀手级AI大模型

文Q聊硬件  820
22 字节年终奖，高呼离谱

集成电路IC  817
23 慧与科技裁员5%，约2500名员工！

皇华电子元器件IC供应商  786
24 索尼任命史上首位女性CFO；SAP任命原欣为大中华地区总裁；谷歌老将吴永辉加入字节跳动|2025年2月全球科技企业高管变动

全球TMT  780
25 传美国将全面对华禁售AI芯片！

皇华电子元器件IC供应商  780
26 唯一的双风扇RX9070XT：4999元良心原价！中国独享

硬件世界  779
27 京东方华灿：揭晓2025LED芯片战略

行家说Display  730
28 ASML官宣：将在中国北京成立公司！

集成电路IC  723
29 6nm！5G芯片出货全球76个国家，国产手机芯片又一个里程碑！

飙叔科技洞察  700
30 月薪高达45-60K！电子制造从业人员新出路，真心建议大家冲一下，工资高前景好，人才缺口极大！

阿昆谈DFM  699

广告

最新评论更多>>

带飞哥，去年5月份我就开始关注CircuitMind，一直关注他的进展，在去年我也约了远程演示，可否联系一下一起交流下

也许评论文章 2025-03-09

架构系统框图到完整原理图在60S内完成，硬件工程师离被淘汰还有多远。【前沿探索】
最新LOXIM公司推出的微孔雾化专用芯片LX8201-0B，比上面提到的驱动方案更加简练，成本低而且雾化一致性更好（消除了因为离散器件比如三角电感带来的雾化流量波动），功耗也更低（能做到0.8W）

Loximonline 评论文章 2025-03-07

探秘：雾化片的驱动电路

资料

文库

帖子

博文

在线研讨会

EE直播间

不一样的热像检测 - 电子产品的热像检测技术要点和案例分享直播时间：03月26日 10:00
利用高性能源表和强大的软件，实现半导体参数的测试和分析直播时间：04月17日 00:00

E聘热招职位