铌酸锂 - 电子工程专辑

铌酸锂

铌酸锂+碳化硅+SAW--52GHz表面声波共振器：基于硅化碳上的薄膜铌酸锂

摘要——本文报告了一种工作频率为52 GHz的表面声波（SAW）共振器，具有188的高品质因子（Q）和12.2 km/s的高相速度，标志着首个具有高Q值的毫米波（mmWave）SAW器件。该声波平台采用了转移到4H硅化碳（SiC）基板上的300 nm厚128Y铌酸锂（LN）薄膜。由于SiC的高刚度和声速，采用高相速度厚度剪切模式，使得频率得以显著缩放，且该模式被限制在LN-SiC堆叠结构中。12.

滤波器 2025-02-24 96浏览
集成薄膜铌酸锂光子毫米波雷达，大幅提升分辨率和集成度

据麦姆斯咨询获悉，近日，南开大学智能光子研究院祝宁华院士团队与香港城市大学合作，基于兼容CMOS工艺的4英寸薄膜铌酸锂平台，首次设计并构建了集成薄膜铌酸锂光子毫米波雷达，实现了高达厘米级的距离与速度探测分辨率，同时在逆合成孔径雷达二维成像中亦达到了厘米级的卓越分辨率，成功突破了电子雷达低频段窄带宽的瓶颈，大幅提升了光子雷达的分辨率和集成度，是目前分辨率最高的片上光子雷达。此研究工作以“Integr

MEMS 2025-01-30 339浏览
【今日分享】前沿进展|新型薄膜铌酸锂混合集成微环声光调制器的诞生

今日光电有人说，20世纪是电的世纪，21世纪是光的世纪；知光解电，再小的个体都可以被赋能。追光逐电，光引未来...欢迎来到今日光电！----追光逐电光引未来----高效的声光调制在微波到光的转换中起着至关重要的作用。近期，宁夏大学物理学院与暨南大学信息科学技术学院、浙江大学光电科学与工程学院、中山大学电子与信息工程学院、上海交通大学物理与天文学院等单位合作，成功研制出一种新型薄膜铌酸锂

今日光电 2025-01-23 448浏览
恒元光电12英寸光学级铌酸锂晶体入选山东省十大科技创新成果

2024年度山东省十大科技成果创新发布活动于1月15日在山东广播电视台800平米演播大厅成功举行。山东省副省长宋军继，省科技厅厅长孙海生，省创新发展研究院院长刘峰出席活动并为成果代表颁发证书和纪念牌。2024年度山东省十大科技创新成果榜单是在省创新发展研究院组织下，由省内外70位院士专家从省重大科技创新成果库中严格筛选、投票产生。这些“山东好成果”涵盖了基础研究、新一代信息技术、高端装备、现代海洋

MEMS 2025-01-23 237浏览
【光电通信】薄膜铌酸锂技术

今日光电有人说，20世纪是电的世纪，21世纪是光的世纪；知光解电，再小的个体都可以被赋能。追光逐电，光赢未来...欢迎来到今日光电！----追光逐电光赢未来----电光调制器是超高速数据中心和相干光传输的核心光器件。通过调制将通信设备中的高速电子信号转化为光信号，电光调制器成为光通信系统中不可或缺的一环。如下表所示，目前光调制的技术主要基于硅光、磷化铟和铌酸锂三种材料的电光调制器。

今日光电 2024-12-23 678浏览
【光电集成】薄膜铌酸锂在光子集成中的应用

今日光电有人说，20世纪是电的世纪，21世纪是光的世纪；知光解电，再小的个体都可以被赋能。追光逐电，光赢未来...欢迎来到今日光电！----追光逐电光赢未来----来源：粉体圈申明：感谢原创作者的辛勤付出。本号转载的文章均会在文中注明，若遇到版权问题请联系我们处理。 ----与智者为伍为创新赋能----【说明】欢迎企业和个人洽谈合作，投稿发文。欢迎联系我们诚招运营合伙人，对新媒

今日光电 2024-10-08 409浏览
中国科大在铌酸锂毫米波声学器件领域取得重要进展

近日，2024年国际微波会议（IMS 2024，全称为：2024 IEEE International Microwave Symposium）在美国华盛顿哥伦比亚特区举办。IEEE IMS是国际微波领域的全球著名学术会议，今年在微波声学方向仅收录5篇Oral论文，其中中国科学技术大学左成杰教授课题组的1篇论文成功入选。图1 参会人员在IMS 2024做口头报告在现代无线通信技术的发展过程中，随着

MEMS 2024-07-25 802浏览
【光电通信】薄膜铌酸锂光波导器件的研究进展

今日光电有人说，20世纪是电的世纪，21世纪是光的世纪；知光解电，再小的个体都可以被赋能。追光逐电，光赢未来...欢迎来到今日光电！----追光逐电光赢未来----来源：通信百科申明：感谢原创作者的辛勤付出。本号转载的文章均会在文中注明，若遇到版权问题请联系我们处理。 ----与智者为伍为创新赋能----【说明】欢迎企业和个人洽谈合作，投稿发文。欢迎联系我们诚招运营合伙人，对新

今日光电 2024-07-22 448浏览
【今日快讯】“铌酸锂光子芯片”项目获陈嘉庚科学奖

今日光电有人说，20世纪是电的世纪，21世纪是光的世纪；知光解电，再小的个体都可以被赋能。追光逐电，光赢未来...欢迎来到今日光电！----追光逐电光赢未来----6月25日下午，2024年度陈嘉庚科学奖和陈嘉庚青年科学奖颁奖仪式在中国科学院第二十一次院士大会上举行。南京大学祝世宁院士与国防科技大学徐平研究员的“铌酸锂光子芯片”项目获得本年度陈嘉庚科学奖“技术科学奖”。该项目在单个

今日光电 2024-07-08 481浏览
“铌酸锂光子芯片”项目获陈嘉庚科学奖

6月25日下午，2024年度陈嘉庚科学奖和陈嘉庚青年科学奖颁奖仪式在中国科学院第二十一次院士大会上举行。南京大学祝世宁院士与国防科技大学徐平研究员的“铌酸锂光子芯片”项目获得本年度陈嘉庚科学奖“技术科学奖”。该项目在单个铌酸锂晶片上集成了纠缠光源、电光调制器、波导分束等多种功能器件，实现了片上光量子态的高效产生和高速操控。颁奖仪式（右二为祝世宁院士）铌酸锂晶体具有宽透光范围和高电光、声光、热光和非

MEMS 2024-07-07 672浏览
薄膜铌酸锂集成动态微波频率测量系统

快速准确地评估未知微波信号的频率在雷达天文学、卫星通讯、6G等应用场景中起着关键作用。近年来，面对日趋复杂的电磁环境，人们对宽带、智能化和低成本要求的不断提高，传统的微波瞬时频率测量（Instantaneous frequency measurement, IFM）技术面临巨大挑战。最近，融合了微波技术与光子集成技术的集成微波光子学为实现小型化宽带IFM系统提供了新的机遇。迄今为止，由于其低成本、

MEMS 2024-06-15 613浏览
基于激光加工铌酸锂晶圆的热释电传感器，实现触觉传感和温度监测

热释电传感器具有响应速度快、响应速率高、功耗低、不依赖低温制冷技术等特点，在人体检测、温度测量、障碍物检测等领域得到了广泛应用。然而，热释电传感器的效率受到低电压信号输出的限制。据麦姆斯咨询报道，近日，济南大学的研究人员制备了激光加工的铌酸锂（LPLN）晶圆，以提高温度-电压响应。这些加工过的晶圆被用来构造热释电传感器以及人机接口（HMI）。对于人机接口，传感器阵列可以识别各种模式下的触觉信息，并

MEMS 2024-06-13 605浏览
恒元光电研制出12英寸光学级铌酸锂晶体，提升晶体质量和光学性能等

据麦姆斯咨询报道，近日，山东恒元半导体科技有限公司（以下简称“恒元光电”）在济南市“揭榜挂帅”科技计划项目的支持下，成功研制出12英寸（直径300mm）光学级铌酸锂晶体。这一成果不仅是国际上首次报道的12英寸超大尺寸铌酸锂晶体，更是标志着我国光电子产业关键材料产业水平取得了重大突破。铌酸锂材料在光通信领域具有举足轻重的地位，其作用相当于硅在半导体产业中的重要性。恒元光电此次研制的12英寸光学级铌酸

MEMS 2024-05-17 869浏览
【光电集成】基于铌酸锂薄膜波导的高速低功耗光学相控阵

今日光电有人说，20世纪是电的世纪，21世纪是光的世纪；知光解电，再小的个体都可以被赋能。追光逐电，光赢未来...欢迎来到今日光电！----追光逐电光赢未来----来源：沃特德古意特纳米光子学申明：感谢原创作者的辛勤付出。本号转载的文章均会在文中注明，若遇到版权问题请联系我们处理。 ----与智者为伍为创新赋能----【说明】欢迎企业和个人洽谈合作，投稿发文。欢迎联系我们诚招运营合伙

今日光电 2024-05-16 548浏览
低损耗薄膜铌酸锂光集成器件的研究进展

近年来，得益于薄膜铌酸锂晶圆离子切片技术和低损耗微纳刻蚀工艺的飞速发展，薄膜铌酸锂光集成器件的性能越来越高，功能性器件越来越丰富，且朝着大规模光子集成的方向迅速发展，为高速信息处理、精密测量、量子信息、人工智能等重要应用提供了全新的发展动力。近日，中国科学院上海光学精密机械研究所林锦添研究员与华东师范大学程亚研究员的联合团队在《人工晶体学报》2024年第3期“铌酸锂集成光子学”专栏发表了题为《低损

MEMS 2024-04-24 919浏览
【今日快讯】祝世宁院士团队：薄膜铌酸锂光子芯片产线正式启动

今日光电有人说，20世纪是电的世纪，21世纪是光的世纪；知光解电，再小的个体都可以被赋能。追光逐电，光赢未来...欢迎来到今日光电！----追光逐电光赢未来----4月11日，江苏南京南智先进光电集成技术研究院（以下简称“南智光电”）铌酸锂光子芯片产线启动仪式在南京江北新区举行。该项目配备3.5亿元规模设备、5000m2超净间，覆盖了整个产业链的核心工艺，月产能一千片晶圆。本次启用的产

今日光电 2024-04-19 608浏览
祝世宁院士团队：薄膜铌酸锂光子芯片产线正式启动

4月11日，江苏南京南智先进光电集成技术研究院（以下简称“南智光电”）铌酸锂光子芯片产线启动仪式在南京江北新区举行。该项目配备3.5亿元规模设备、5000m2超净间，覆盖了整个产业链的核心工艺，月产能一千片晶圆。本次启用的产线具备了光刻、刻蚀、镀膜、研抛、湿法等系列核心技术工艺，这意味着国内薄膜铌酸锂光子芯片产业化取得重要进展。据了解，2018年，在南京大学和南京江北新区支持下，现中国科学院院士、

MEMS 2024-04-18 880浏览
【光电集成】SOI/铌酸锂异质集成技术

今日光电有人说，20世纪是电的世纪，21世纪是光的世纪；知光解电，再小的个体都可以被赋能。追光逐电，光赢未来...欢迎来到今日光电！----追光逐电光赢未来----来源：科研人笔记申明：感谢原创作者的辛勤付出。本号转载的文章均会在文中注明，若遇到版权问题请联系我们处理。 ----与智者为伍为创新赋能----【说明】欢迎企业和个人洽谈合作，投稿发文。欢迎联系我们诚招运营合伙人，对新媒

今日光电 2024-04-16 475浏览
【今日快讯】光芯片领域迎新进展：科学家研发铌酸锂微波光芯片，兼具超宽带处理和高精度计算

今日光电有人说，20世纪是电的世纪，21世纪是光的世纪；知光解电，再小的个体都可以被赋能。追光逐电，光赢未来...欢迎来到今日光电！----追光逐电光赢未来----参考资料：1.Feng, H., Ge, T., Guo, X.et al. Integrated lithium niobate microwave photonic processing engine. Nature (

今日光电 2024-03-29 561浏览
上海微系统所在八英寸SOI/铌酸锂异质集成技术方面取得重要进展

近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所硅基材料与集成器件实验室蔡艳研究员、欧欣研究员联合团队，在通讯波段硅基铌酸锂异质集成电光调制器方面取得了重要进展。团队成员利用上海微技术工业研究院标准180 nm硅光工艺在八英寸SOI上制备了硅光芯片，然后基于“离子刀”异质集成技术（图1），通过直接键合的方式将铌酸锂与SOI晶圆实现异质集成，并通过干法刻蚀技术实现了硅光芯片波导与LN电光调制器的单片式混合

MEMS 2024-03-16 607浏览
薄膜铌酸锂电光太赫兹探测器

亚皮秒太赫兹电磁辐射脉冲的自由空间电光采样，对于时域太赫兹光谱、时域太赫兹成像、光子时间拉伸测量、近场太赫兹显微镜以及时域太赫兹量子光学非常重要。这些测量模式需要具有0.1~10 THz带宽的电光探测方案，太赫兹光谱和成像的探测阈值为~ 1 V/cm，加速器和非线性太赫兹光谱纵向电子束长度测量的动态范围为~ MV/cm。射频（RF）、毫米波和太赫兹频率电场的电光测量在加速器电子束诊断、等离子体物理

MEMS 2024-03-06 694浏览
基于薄膜铌酸锂的高灵敏度电场传感器

来源：清华大学电机系近日，《自然·通讯》（Nature Communications）期刊报道了清华大学电机系在高灵敏度、微型化电场传感器研究中取得的重要进展。微弱电场测量在工业、国防、科研领域均有着不可替代的作用。光学电场测量响应快、带宽大。过去数十年，基于体铌酸锂的集成光学电场传感器取得了长足发展，但受材料、工艺限制，仍存在灵敏度不够高、长期稳定性等难题。微腔电场传感器及潜在应用薄膜铌酸锂（L

MEMS 2024-03-05 1186浏览
全球首片8吋硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆下线

来源：九峰山实验室日前，全球首片8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆在九峰山实验室下线。此项成果使用8寸SOI硅光晶圆键合8寸铌酸锂晶圆，单片集成光电收发功能，为目前全球硅基化合物光电集成最先进技术。该项成果可实现超低损耗、超高带宽的高端光芯片规模制造，为目前全球综合性能最优的光电集成芯片。此项成果由九峰山实验室联合重要产业合作伙伴开发，将尽快实现产业商用。薄膜铌酸锂由于出色的性能在滤波器、光通讯、量

CINNOResearch 2024-03-04 743浏览
全球首片8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆下线

2024年2月20日，全球首片8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆在九峰山实验室下线。此项成果使用8寸SOI硅光晶圆键合8寸铌酸锂晶圆，单片集成光电收发功能，为目前全球硅基化合物光电集成最先进技术。该项成果可实现超低损耗、超高带宽的高端光芯片规模制造，为目前全球综合性能最优的光电集成芯片。此项成果由九峰山实验室联合重要产业合作伙伴开发，将尽快实现产业商用。全球领先在8寸SOI铌酸锂薄膜上实现光电集成薄膜

MEMS 2024-03-02 726浏览
芯报丨全球首片！8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆在湖北下线

聚焦:人工智能、芯片等行业欢迎各位客官关注、转发每日芯报0301期❶全球首片！8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆在湖北下线全球首片8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆在九峰山实验室下线。此项成果使用8寸SOI硅光晶圆键合8寸铌酸锂晶圆，单片集成光电收发功能，为目前全球硅基化合物光电集成最先进技术。该项成果可实现超低损耗、超高带宽的高端光芯片规模制造，为目前全球综合性能最优的光电集成芯片。此项成果由九峰山实验

AI芯天下 2024-03-01 771浏览

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