离子束 - 电子工程专辑

离子束

超精密加工！离子束抛光技术

【DT半导体】获悉，在材料微观结构表征领域，研磨抛光作为制样流程的核心环节，其质量直接决定了显微分析结果的可靠性。该工艺需在消除切割损伤层（通常达数十微米）的同时，精准暴露材料真实晶体结构，这对金刚石、碳化硅等超硬/超脆材料尤为关键。传统抛光技术面临三大瓶颈：（1）机械抛光：依赖金刚石悬浮液的多级研磨虽能处理常规金属，但对金刚石等超硬材料易引发表面石墨化相变，且在碳化硅颗粒增强铝基复合材料等多相

DT半导体材料 2025-03-18 1108浏览
专注离子束超精密加工设备解决方案，博顿光电完成亿元B轮融资

近日，博顿光电（iBDTEC）近日宣布完成B轮近亿元人民币的融资，投资方分别为芯动能投资与季华璀璨投资。本轮融资将为公司在离子束核心技术和高性能离子束设备新产品的持续研发及下游泛半导体、航空航天、新材料等各应用领域的拓展提供强有力的资金支持，进一步巩固公司在高性能离子源与离子束装备领域的领先地位。博顿光电自2016年成立以来，一直专注于高端离子源、离子束整机设备与离子束微纳加工工艺的开发，公司产品

MEMS 2024-09-29 694浏览
【科普】芯片制造工艺：光刻(中)--新曝光方式之电子束、X射线、离子束

上一篇中提到：相移掩模、光学邻近效应校正、离轴照明等方法能弥补光学曝光的不足，但人们也在寻找新的曝光方法来完成纳米级的集成电路制造。本文详细介绍其中的电子束曝光、X射线曝光、离子束曝光分别的原理和优势劣势，以及应用场景。本文目录：电子束X射线离子束电子束电子束(e-beam)曝光是利用某些高分子聚合物对电子敏感而形成曝光图形的。光学曝光的分辨率受到光波长的限制，光波长经历了

滤波器 2024-03-18 3274浏览
一文看懂电子束与离子束加工工艺

电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和电子束光刻化学加工，而离子束加工则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等加工。电子束加工原理电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德国。1948年德国科学家斯特格瓦发明了第一台电子束加工

传感器技术 2022-09-30 1362浏览
一文看懂电子束与离子束加工工艺

电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和电子束光刻化学加工，而离子束加工则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等加工。电子束加工原理电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德国。1948年德国科学家斯特格瓦发明了第一台电子束加工

传感器技术 2022-03-12 1679浏览
引领高端离子束设备国产化，博顿光电完成数千万元A+轮融资

近日，博顿光电公司正式完成数千万元A+轮融资，本轮融资由“建信(北京)投资基金管理有限责任公司”投资，是继2019年A轮融资后的又一重要里程碑。博顿光电本轮融资资金将主要用于新品类离子源产品和离子束高端装备产品的持续研发和细分领域的市场拓展，加强产学研布局和引进人才团队，以适应公司发展速度和增强综合竞争力。博顿光电作为专业从事新型离子源及离子束装备关键技术研发、设计和制造的创新型高科技企业，可为不

MEMS 2021-11-19 1889浏览
一文看懂电子束与离子束加工工艺

电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和电子束光刻化学加工，而离子束加工则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等加工。电子束加工原理电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德国。1948年德国科学家

传感器技术 2021-06-28 2512浏览
一文看懂电子束与离子束加工工艺

电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和电子束光刻化学加工，而离子束加工则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等加工。电子束加工原理电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德

传感器技术 2021-03-05 2767浏览
一文看懂电子束与离子束加工工艺

文 | 传感器技术电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和电子束光刻化学加工，而离子束加工则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等加工。电子束加工原理电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德国。1

传感器技术 2019-06-09 4350浏览

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