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刻蚀机
北方华创发布首台国产12吋晶边刻蚀机AccuraBE
7 月 18 日消息,近日,北方华创科技集团股份有限公司(以下简称“北方华创”)正式发布应用于晶边刻蚀(Bevel Etch)工艺的 12 英寸等离子体刻蚀机 Accura BE,号称实现国产晶边干法刻蚀设备“零”的突破,为我国先进芯片制造量身打造良率提升高效解决方案。图源:北方华创公众号据介绍,在器件制造过程中,由于薄膜沉积、光刻、刻蚀和化学机械抛光等工艺步骤的大幅增长,在晶圆的边缘造成了不可避
半导体工艺与设备
2023-07-24
835浏览
北方华创发布首台国产12英寸晶边刻蚀机
近日,北方华创科技集团股份有限公司(以下简称“北方华创”)正式发布应用于晶边刻蚀(Bevel Etch)工艺的 12 英寸等离子体刻蚀机 Accura BE,号称实现国产晶边干法刻蚀设备“零”的突破,为我国先进芯片制造量身打造良率提升高效解决方案。据介绍,在器件制造过程中,由于薄膜沉积、光刻、刻蚀和化学机械抛光等工艺步骤的大幅增长,在晶圆的边缘造成了不可避免的副产物及残留物堆积,这些晶边沉积的副产
全芯时代
2023-07-19
1118浏览
北方华创发布首台国产12吋晶边刻蚀机AccuraBE,可提高芯片良率
来源:北方华创7 月 18 日消息,近日,北方华创科技集团股份有限公司(以下简称“北方华创”)正式发布应用于晶边刻蚀(Bevel Etch)工艺的 12 英寸等离子体刻蚀机 Accura BE,号称实现国产晶边干法刻蚀设备“零”的突破,为我国先进芯片制造量身打造良率提升高效解决方案。图源:北方华创公众号据介绍,在器件制造过程中,由于薄膜沉积、光刻、刻蚀和化学机械抛光等工艺步骤的大幅增长,在晶圆的边
CINNOResearch
2023-07-18
1191浏览
中微公司诉美国半导体厂商侵犯刻蚀机商业秘密案,终审胜诉!
▲ 更多精彩内容 请点击上方蓝字关注我们吧!7月11日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)宣布,公司在针对美国半导体设备大厂泛林集团(Lam Research Corporation,又称“科林研发”)提起的侵犯商业秘密案中赢得二审胜诉。在上海市高级人民法院2023年6月30日的终审判决中,法院命令泛林集团销毁其非法获取的与中微公司等离子刻蚀机有关的一份技术文件和两张照片。
电子工程世界
2023-07-12
1113浏览
胜诉!美国半导体巨头侵犯中微刻蚀机商业秘密案,终审宣判!
编辑:感知芯视界来源:EETOP2023年7月11日——中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”,上交所股票代码:688012)今日宣布,公司在针对美商科林研发股份公司(Lam Research Corporation,以下简称“科林研发”)提起的侵犯商业秘密案中赢得二审胜诉。在上海市高级人
感知芯视界
2023-07-11
953浏览
胜诉!美国半导体巨头侵犯中微刻蚀机商业秘密案,终审宣判!
欢迎关注EETOP半导体资讯备用号2023年7月11日——中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”,上交所股票代码:688012)今日宣布,公司在针对美商科林研发股份公司(Lam Research Corporation,以下简称“科林研发”)提起的侵犯商业秘密案中赢得二审胜诉。在上海市高级人民法院2023年6月30日的终审判决中,法院命令科林研发销毁其非法获取的与中微公司等离子刻
EETOP
2023-07-11
1017浏览
胜诉!美国半导体巨头侵犯中微刻蚀机商业秘密案,终审宣判!
欢迎关注EETOP半导体资讯备用号2023年7月11日——中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”,上交所股票代码:688012)今日宣布,公司在针对美商科林研发股份公司(Lam Research Corporation,以下简称“科林研发”)提起的侵犯商业秘密案中赢得二审胜诉。在上海市高级人民法院2023年6月30日的终审判决中,法院命令科林研发销毁其非法获取的与中微公司等离子刻
EETOP
2023-07-11
1007浏览
拆开一台刻蚀机,你会看到这么多陶瓷部件!
什么是刻蚀机?先简单说一下名称,大家叫“刻蚀机”和“蚀刻机”都是正确。国内两家重要的厂家中微半导体和北方华创用的都是“刻蚀机”。如果把芯片比作一幅平面雕刻作品,那么光刻机是打草稿的画笔,刻蚀机则是雕刻刀,沉积的薄膜则是用来雕刻的材料。光刻的精度直接决定了元器件刻画的尺寸,刻蚀和薄膜沉积的精度则决定了光刻的尺寸能否实际加工,而为了将芯片电路图从掩模转移到晶圆上,以实现预定的芯片功能,刻蚀工艺是其中重
滤波器
2023-05-14
4820浏览
中微半导体|5nm刻蚀机拟下半年发运台积电美国工厂
来源:上观新闻据上观新闻报道,今年下半年,中微半导体的刻蚀机将运往台积电美国工厂,用于5纳米工艺芯片生产。这意味着,中微刻蚀机能在头发直径万分之一的面积上建五六十层的“房子”。这种微观加工能力与全球顶尖水平已相差无几。上海此轮疫情期间,中微半导体坚持闭环生产,其最新财务数据显示,今年上半年,公司新签订单同比增长61.8%,营业收入和扣非净利润同比分别增长47%和600%。中微半导体今年闭环生产期间
CINNOResearch
2022-08-02
1938浏览
中微公司中标华虹无锡12台刻蚀机设备
近日,中国招标头条公公服务平台发布等离子体介质刻蚀机中标结果公告显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)中标华虹半导体(无锡)有限公司(以下简称“华虹无锡”)12台刻蚀机。Source:全国招标投标公共服务平台公告信息显示,中微公司本次中标的12台刻蚀机设备包括3台钝化膜等离子体刻蚀机、7台氧化膜等离子体刻蚀机、2台氮化硅等离子体刻蚀机。中微公司主要从事高端半导体设备及泛半
半导体工艺与设备
2022-04-25
1221浏览
设备|中微中标华虹无锡12台刻蚀机设备
近日,中国招标头条公公服务平台发布等离子体介质刻蚀机中标结果公告显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)中标华虹半导体(无锡)有限公司(以下简称“华虹无锡”)12台刻蚀机。图片来源:全国招标投标公共服务平台公告信息显示,中微公司本次中标的12台刻蚀机设备包括3台钝化膜等离子体刻蚀机、7台氧化膜等离子体刻蚀机、2台氮化硅等离子体刻蚀机。中微公司主要从事高端半导体设备及泛半导体
CINNOResearch
2022-04-09
1231浏览
恭喜中微!中标华虹无锡12台刻蚀机设备
近日,中国招标头条公公服务平台发布等离子体介质刻蚀机中标结果公告显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)中标华虹半导体(无锡)有限公司(以下简称“华虹无锡”)12台刻蚀机。Source:全国招标投标公共服务平台公告信息显示,中微公司本次中标的12台刻蚀机设备包括3台钝化膜等离子体刻蚀机、7台氧化膜等离子体刻蚀机、2台氮化硅等离子体刻蚀机。中微公司主要从事高端半导体设备及泛半
芯通社
2022-04-08
1713浏览
大国重器之国产刻蚀机:中国芯片燎原火
一、刻蚀机是用来做什么的刻蚀机,顾名思义,对应的是芯片制造中的“刻蚀”这一步。在芯片制造中,“光刻”和“刻蚀”是两个紧密相连的步骤,也是非常关键的步骤。回顾IT之家之前介绍光刻机的文章,我们知道,“光刻”就相当于用投影的方式把电路图“画”在晶圆上。注意,这个时候,电路图其实不是真的被画在了晶圆上,而是被画在了晶圆表面的光刻胶上。光刻胶表层是光阻,一种光敏材料,被曝光后会消解。而“刻蚀”,才是真正沿
半导体工艺与设备
2022-03-27
3389浏览
半导体刻蚀机研究框架
2019年全球刻蚀市场觃模达到 115亿美元,复合年增长率近19%。叐终端应用市场蓬勃发展 、及半导体制造技术升级驱劢 ,根据SEMI预测,预计到2025年,全球刻蚀设备市场觃模将增长至 155亿美元,CAGR约为5%。 介质刻蚀不硅刻蚀各占据约半壁江山;电容性等离子刻蚀机(CCP)主要应用亍高硬度介质材料的刻蚀,电感性等离子刻蚀机(ICP)主要用亍硅材料等软性材料刻蚀。半导体行业发展遵
智能计算芯世界
2021-12-04
1574浏览
半导体刻蚀机研究框架(115页)
来源 | 智能计算芯世界智库 | 云脑智库(CloudBrain-TT)云圈 | 进“云脑智库微信群”,请加微信:15881101905,备注研究方向2019年全球刻蚀市场觃模达到 115亿美元,复合年增长率近19%。叐终端应用市场蓬勃发展 、及半导体制造技术升级驱劢 ,根据SEMI预测,预计到2025年,全球刻蚀设备市场觃模将增长至 155亿美元,CAGR
云脑智库
2021-11-14
1914浏览
半导体刻蚀机行业112页深度研究报告
来源 | 未来智库智库 | 云脑智库(CloudBrain-TT)云圈 | 进“云脑智库微信群”,请加微信:15881101905,备注您的研究方向(报告出品方/作者:方正证券,陈杭)1 行业增长:技术周期不国产替代双驱动全球市场规模:155亿美元空间2009年全球刻蚀设备市场规模为 24亿美元,2019年全球刻蚀市场规模达到 115亿美元,复合 年增长率近
云脑智库
2021-09-28
3850浏览
尹志尧揭秘:中微是怎么从初创公司,做到全球领先的刻蚀机大厂
*免责声明:转载仅为了传达一种不同的观点,不代表今日半导体对该观点赞同或支持,内容如有侵权,请联系本部删除!手机微信同15800497114来源电子发烧友综合报道9月15日,中微半导体设备(上海)有限公司创始人、董事长、总经理尹志尧在公开演讲中探讨如何打造高质量、有竞争力的半导体设备公司时,表示目前半导体公司的设备主要可以分为四大类,光刻机、等离子体刻蚀机、薄膜设备、测试设备。以刻蚀机设备为例,等
今日半导体
2021-09-15
2493浏览
半导体刻蚀机研究框架(115页)
2019年全球刻蚀市场觃模达到 115亿美元,复合年增长率近19%。叐终端应用市场蓬勃发展 、及半导体制造技术升级驱劢 ,根据SEMI预测,预计到2025年,全球刻蚀设备市场觃模将增长至 155亿美元,CAGR约为5%。 介质刻蚀不硅刻蚀各占据约半壁江山;电容性等离子刻蚀机(CCP)主要应用亍高硬度介质材料的刻蚀,电感性等离子刻蚀机(ICP)主要用亍硅材料等软性材料刻蚀。半导体行业发展遵
智能计算芯世界
2021-08-28
2437浏览
半导体刻蚀机研究框架(100多页)
end
ittbank
2021-08-27
1373浏览
半导体刻蚀机研究框架(112页)
*免责声明:转载仅为了传达一种不同的观点,不代表今日半导体对该观点赞同或支持,内容如有侵权,请联系本部删除!手机微信同15800497114。此处为广告,与本文内容无关来源:方正证券 作者:陈杭2021 今日半导体沙龙,欢迎免费报名
今日半导体
2021-08-23
1429浏览
中国芯片刻蚀机17年突围战 | 青桐资本 x 市界
本篇是【媒体采访】系列第85篇探讨“芯片”近日,《市界》以中微公司为例,剖析了国内芯片近20年发展。芯片是青桐资本在技术领域重点关注的方向,已帮助数十家芯片及产业链相关公司完成融资等。此次采访,青桐资本执行总经理陈蓉鸿发表如下观点:青桐资本执行总经理 陈蓉鸿“ 在近年来帮助芯片项目获得融资的过程中,不难发现在产业环节上,大部分投资机构更喜欢投资芯片设计类企业,因为模
青桐资本
2021-08-18
2169浏览
中国芯片刻蚀机17年突围战
作者丨董温淑编辑丨李曙光2004年,已经60岁的尹志尧,带领一群志同道合的人,两手空空踏上了飞往中国的班机。从此,“硅谷最有成就华人”的荣耀已成过往。等待他的,是想办法突破中国等离子刻蚀机的空白。刻蚀机是雕刻出每一枚芯片电路的纳米级“手术刀”,这个挑战艰巨且紧迫。2004年5月31日,中微半导体设备公司(下称中微公司)在上海市牛顿路的一间办公室中注册成立。17年过去了,尹志尧已经77岁
传感器技术
2021-08-02
1011浏览
中微公司:刻蚀机已进入国际客户5nm产线
免费入驻咨询热线:400-1027-270 近日,中微公司董事长尹志尧公开表示,该公司开发的等离子刻蚀设备,已经进入了某客户的5nm生产线,目前技术层面已经满足国际一线客户从65nm到14nm、7nm、5nm的生产要求。消息称,中微公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上,并且5nm及以下芯片中关键步骤的加工能力已经具备。中微公司也在互动平台上证实
半导体商城
2021-04-09
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