晶圆制备 - 电子工程专辑

晶圆制备

从无到有重大突破！上海微系统所首片300mmSOI晶圆制备完成

来源：上海微系统所10月22日消息，中国科学院上海微系统所官方公众号日前发布消息，称魏星研究员团队在300 mm SOI晶圆制造技术方面取得突破性进展。制备出了国内第一片300mm射频（RF）SOI晶圆，实现了从无到有的重大突破。根据文章介绍，团队基于集成电路材料全国重点实验室300mm SOI研发平台，依次解决了300mm RF-SOI晶圆所需的低氧高阻晶体制备、低应力高电阻率多晶硅薄膜沉积、

CINNOResearch 2023-10-23 968浏览
石英基钽酸锂异质集成晶圆制备及高性能声学射频谐振器

来源：上海微系统所，信息功能材料国家重点实验室，异质集成XOI课题组工作简介上海微系统所异质集成XOI课题组采用万能离子刀技术，成功实现了4英寸晶圆级石英基钽酸锂单晶薄膜异质晶圆（Lithium tantalate on Quartz，LTOQ）的制备，所制备的薄膜具有良好的薄膜均匀性和晶体质量。基于LTOQ衬底所制备的声表面波谐振器的Bode_Q值超过3000，机电耦合系数大于10%，并在高温下

MEMS 2023-01-05 1303浏览
晶体生长及晶圆制备

上篇我们从玻尔原子模型聊到了本征和掺杂半导体以及电子和空穴的概念，目前，高密度和大尺寸芯片需要大直径的晶圆，同时更大直径晶圆能够不断降低芯片成本，更大直径的晶圆对于整个整备过程和晶体结构、电性能一致性等提出了更高的要求。今天我们来聊聊从自然界的沙石到变成半导体级别的硅，再转变为晶体和晶圆。

功率半导体那些事儿 2020-11-23 2626浏览

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学到了！！！

青青水草评论文章 2025-03-25

刷到一个分离元器件搭建的电路，据说这个电路已经量产，成本低，电路简单，且同时实现了三种功能
我搞错了，你是对的

jy1900 评论文章 2025-03-23

一篇短文搞定共集电极放大电路

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