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用DUV制造5纳米芯片？浸润式光刻之父林本坚：可行！

华为Mate 60 Pro 搭载海思麒麟9000S突破美国制裁而在业界造成不小轰动，业界普遍认为麒麟9000S是采用DUV光刻机多次曝光制造出来的。根据最新报道，台积电前副总裁、被称为浸润式光刻之父的林本坚（Burn J. Lin）认为，在现有DUV 设备制造不仅能制造7纳米，甚至5 纳米芯片也是可行的，不过将非常昂贵。据悉，华为为2024 年开发P70、P70 和P70 Art，有望成为明年第一

EETOP 2023-11-28 1013浏览
阿斯麦解释荷兰最新出口管制：并非所有浸润式DUV设备都受限

Model 3基础款后轮驱动版的电量将从60kWh升级为66kWh，采用M3P新型磷酸铁锂电池。改款车将于三季度推出；宁德时代将M3P称为“磷酸盐体系的三元”，其中不仅仅是磷酸锰铁锂，还包含其他金属元素。编辑 | 夏军雄当地时间周五（6月30日），荷兰政府宣布了限制某些先进半导体设备出口的新规定，这些规定将于9月1日生效。具体而言，荷兰政府将要求先进芯片制造设备的公司在出口之前须获得许可证。荷兰外

科创板日报 2023-06-30 796浏览
浸润式光刻之父林本坚详解IC缩小术！（超详细！建议收藏）

自光学微影技术出现，集成电路（Integrated circuit，IC）体积跟随着摩尔定律不断缩小，到踏入3纳米量产的今日，IC 可说足足缩小了百万倍！这成果并非一蹴可几，而是多年来半导体研发人员和工程师的心血累积。在不久前的台湾地区中研究院111年知识飨宴科普讲座上，被誉为浸润式光刻之父的林本坚林本坚院士以「光学微影缩IC 百万倍」为题，分享光学微影一路走来，如何将半导体元件尺寸越缩越小、推向

半导体工艺与设备 2022-10-07 1309浏览
林本坚亲自揭秘：加入台积电研发浸润式光刻的幕后故事

现年80岁的林本坚，自今年4月底辞任力积电独立董事暨薪酬委员会委员之后，开始将主要精力放到了半导体人才培养方面。目前，林本坚是台湾中研院院士、台湾清大特聘讲座教授，并担任去年12月正式成立的台湾清大半导体学院院长。作为“浸润光刻之父”，林本坚曾在IBM工作22年，期间带领研发团队创造出许多世界第一的技术。2000年加入台积电，在2002年就研发出了193nm浸润式光刻技术，让台积电在55nm之后继

传感器技术 2022-06-22 3339浏览
“他们觉得我在搅局，想说服老板阻止我”林本坚回顾浸润式光刻机研发芯酸历程

恭喜部分学员成功转岗IC验证！《芯片验证从入门到精通》更新完毕！1750补贴仅存最后几个名额！编按：林本坚是台积电前研发大将，他在2000年加入台积电。2002年时全球投入波长157纳米干式微影技术遇到瓶颈，他发表浸润式微影技术引起轰动，却遭干式微影技术的大公司针锋相对，因干式微影技术的投资已远超过10亿美元。在台积电支持下，林本坚和组内的同仁写好几篇论文，从理论的观点证明浸润式微影的可行性及优势

EETOP 2022-06-13 2177浏览
80岁“浸润式光刻之父”林本坚宣告：辞职！

来源：半导体行业观察，谢谢上市不足半年，力积电独立董事、浸润式光刻之父林本坚辞职。编辑｜感知芯视界力积电早前发出公告，公司独立董事暨薪酬委员会委员林本坚因个人业务繁忙，辞任独立董事与薪酬委员会职务，这项人事案将于4月27日起生效。力积电指出，林本坚于2021年7月2日当选独立董事，原任期将在明年5月26日才截止，不过这次异动仍引发半导体业界讨论。现年80岁的林本坚目前仍是中研院院士、清大特聘讲

感知芯视界 2022-04-25 2394浏览

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