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硅纳米线
基于压阻式硅纳米线的多轴NEMS力传感器
基于微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)技术制备的微型力传感器,能够在微牛顿和亚微牛顿范围内对力进行精确测量。MEMS/NEMS力传感器采用的传感原理多种多样,例如压阻、电容、光学、压电及磁性,以检测和量化施加的力。其中,压阻式传感器因其抗静电干扰能力强、读出电路简单、噪声低、易于集成和批量生产,以及具有小型化潜力等优势而备受青睐。一维硅(Si)结构,尤其是亚微米硅纳米线(SiNW),因
MEMS
2024-09-23
533浏览
上海微系统所在硅纳米线生物传感器方面取得研究进展
硅纳米线场效应晶体管(SiNW FET)是一种超灵敏、无标记的生物传感器。然而,硅纳米线的纳米级制造工艺和表面功能化的不一致性导致了传感器之间的差异。考虑到SiNW FET传感器的饱和响应与其特征尺寸和表面功能化之间具有强相关性,中国科学院上海微系统与信息技术研究所李铁课题组提出了一种将SiNW FET的传感原理与Langmuir-Freundlich模型相结合的校准策略。通过将SiNW FET传
MEMS
2024-08-14
603浏览
基于硅纳米线场效应晶体管的ALT检测生物传感器平台
频繁检测血清丙氨酸氨基转移酶(ALT)的活性对于预防药物性肝损伤(DILI)至关重要。目前,ALT活性测量的金标准是一种基于吸光度的检测方法,需要在临床实验室中建立一个大型的自动化平台。由于ALT检测限于中央实验室,肝衰竭的预后指标和随后的临床干预之间的延迟可能是不可避免的。除了后勤负担和费力的过程之外,由于大型仪器的外形尺寸、购置成本和操作人员的要求等因素,这些测试在资源有限的环境下更不切实际。
MEMS
2023-03-07
1318浏览
基于石墨烯/硅纳米线阵列异质结的高灵敏度自驱动近红外光探测器
据麦姆斯咨询报道,近日,中国电子科技集团公司第四十八研究所的研究人员在《激光与红外》期刊上发表了题为“高性能石墨烯/硅纳米线阵列异质结光探测器”的最新论文,通过简单的化学气相沉积法(CVD)方法获得了石墨烯薄膜,并将其转移到硅纳米线阵列上,研制了一种响应式高灵敏度自驱动近红外(NIR)光探测器。在入射波长810nm、光强为90μW/cm²的光照下,光探测器的光电流响应度可以达到0.56A·W⁻¹,
MEMS
2022-11-24
1860浏览
百余根硅纳米线阵列监测循环肿瘤DNA
近日,杭州电子科技大学副教授李杜娟通过引入高效能晶体管生物传感器,在癌症早期诊断以及术后监控上取得新进展。相关研究成果发表于《生物传感器和生物电子(Biosensors and Bioelectronics)》。生物传感器是一类用于检测特定分析物的分析设备,通常由生物识别元件、换能器和电子检测器系统组成。晶体管生物传感器将芯片应用在生物传感领域,进行定量、定性分析。比如验孕棒、血糖仪是生物传感器的
MEMS
2021-05-19
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