光罩护膜 - 电子工程专辑

光罩护膜

曝光技术大进展！三星关键材料EUV光罩护膜透光率达90%

来源：科技新报12月5日，三星电子在 EUV 曝光技术取得重大进展，韩媒 Business Korea 报导，三星电子 DS 部门研究员 Kang Young-seok 表示，三星使用的 EUV 光罩护膜（EUV pellicles）透光率（transmission rate）已达 90%，计划再提高至 94-96%。EUV 光罩护膜（Pellicle）是光罩上的薄膜，保护光罩免于微尘或挥发性气

CINNOResearch 2023-12-05 940浏览
韩国开发出石墨烯EUV光罩护膜！瞄准台积电、三星潜在客户

来源：科技新报韩国媒体报导，一家韩国小公司开发出新材料，有望显著提高荷兰半导体设备公企业艾司摩尔 (ASML) 极紫外光微影曝光设备 (EUV) 良率。BusinessKorea 报导，半导体和显示材料开发商石墨烯实验室 (Graphene Lab) 日前宣布，开发出使用石墨烯制造、小于 5 纳米的 EUV 光罩护膜 (Pellicle) 技术，并准备好量产。Graphene Lab 执行长 Kw

CINNOResearch 2022-12-16 1196浏览
韩国企业开发出石墨烯EUV光罩护膜

中国半导体论坛振兴国产半导体产业！据韩国媒体报导，一家韩国小公司开发出一种新材料，有望显著提高荷兰半导体设备公企业艾司摩尔 (ASML ) 的极紫外光微影曝光设备 (EUV) 的良率。根据 BusinessKorea 的报导，半导体和显示材料开发商石墨烯实验室 (Graphene Lab) 日前宣布，其已开发出使用石墨烯制造、小于 5 奈米的 EUV 光罩护膜 (Pellicle) 技术，并

中国半导体论坛 2022-12-15 931浏览

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