电子束 - 电子工程专辑

电子束

电子束探测(EBP)：用于7纳米以下集成电路背面PDN安全分析的新利器

集成电路（IC）的外包制造使其易受硬件安全威胁的攻击。安全威胁如逆向工程、硬件木马的植入以及后端非接触式探测以窃取加密信息，可能会导致知识产权持有者的经济损失，并对部署这些IC的系统带来安全风险。物理检测技术已经变得更加先进，用于调试7nm以下先进技术节点的系统级芯片（SoC）或异构集成（HI）封装中的故障分析。然而，这些为调试开发的高级检测技术也可能被攻击者恶意利用，用来揭示知识产权、密钥和存储

EETOP 2024-10-24 370浏览
无需掩膜，更快创新！新思科技xMultibeam推出业界首款可量产电子束光刻系统

基于掩膜的传统光刻技术，其成本正呈指数级攀升。而无掩膜的电子束光刻技术提供了补充性选项，可以帮助芯片制造商更快地将产品推向市场。电子束光刻技术采用电子束在硅晶圆上生成图案，无需等待掩膜制造过程，进而可以更快提升生产速度。此外，鉴于能够在单个晶圆上进行图案设计迭代，迭代的学习周期也得以缩短。Multibeam Corporation（以下称Multibeam）是电子束光刻领域的关键创新企业。其总部位

新思科技 2024-05-22 1100浏览
华中科大在基于电子束精准调控的微纳制造方向取得新进展

近期，《自然·通讯》（Nature Communications）在线刊发“华中科技大学-华引芯（武汉）科技有限公司新型半导体显示光源联合研究中心”题目为“Boosting the electron beam transmittance of field emission cathode using a self-charging gate“研究成果。电子束聚焦技术可以通过外加电场或磁场实现，具

MEMS 2024-04-03 720浏览
【科普】芯片制造工艺：光刻(中)--新曝光方式之电子束、X射线、离子束

上一篇中提到：相移掩模、光学邻近效应校正、离轴照明等方法能弥补光学曝光的不足，但人们也在寻找新的曝光方法来完成纳米级的集成电路制造。本文详细介绍其中的电子束曝光、X射线曝光、离子束曝光分别的原理和优势劣势，以及应用场景。本文目录：电子束X射线离子束电子束电子束(e-beam)曝光是利用某些高分子聚合物对电子敏感而形成曝光图形的。光学曝光的分辨率受到光波长的限制，光波长经历了

滤波器 2024-03-18 2732浏览
电子束有望替代EUV！多位行业大佬力挺，中国半导体有希望了？

电子束有望替代EUV！多位行业大佬力挺，中国半导体有希望了？在“芯片规则”实施后，中企全速启动自主化产业体系的搭建，巅峰时期全球每新增20家芯片企业，其中就有19家来自国内，然而2022年“倒闭”的相关企业，却突破了5746家，风风火火的背后，同样也隐藏着诸多“隐患”，一切还要归结于芯片的全球化属性，且基于硅基材料打造的电子芯片，真正算起来是美国人发明的，因此在一些基础技术、核心专利上，大部分源自

半导体工艺与设备 2023-03-22 1486浏览
清华大学在太赫兹电子束研究中取得重要进展

太赫兹（THz）是频率介于微波与红外之间的电磁波辐射，在基础科学和应用领域有重大需求。在需求最迫切的1-10THz频段，电子学和光学方法尚难以产生高功率、窄带宽且连续可调谐的THz辐射，因而被科学界称为“THz间隙”难题。加速器电子束可以通过多种机制产生高功率THz辐射。不考虑横向影响，当电子束长度远大于辐射波长时，电子束辐射不相干，辐射功率与电子数目成正比；而当电子束长度显著小于辐射波长时，束团

MEMS 2023-01-21 1204浏览
一文看懂电子束与离子束加工工艺

电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和电子束光刻化学加工，而离子束加工则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等加工。电子束加工原理电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德国。1948年德国科学家斯特格瓦发明了第一台电子束加工

传感器技术 2022-09-30 1340浏览
“双院士”领衔，先进电子束晶圆检测设备项目落地无锡高新区

7月28日，先进电子束晶圆检测设备项目签约活动在无锡高新区举行。图片来源：无锡高新区在线据悉，电子束检测和测量技术、设备研发是IC装备、半导体制造、控制领域至关重要的核心环节之一，是集成电路技术中能够检测和测量集成电路图案结构中最小缺陷的唯一方案。该项目由中国工程院院士丁文江、中国科学院院士张泽，及国内外科学家、上市公司创始人联合发起，聚焦半导体超高精度量测设备的开发、生产、销售和服务，以解决中国

半导体前沿 2022-07-29 1515浏览
一文看懂电子束与离子束加工工艺

电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和电子束光刻化学加工，而离子束加工则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等加工。电子束加工原理电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德国。1948年德国科学家斯特格瓦发明了第一台电子束加工

传感器技术 2022-03-12 1620浏览
提升微光学元件制造水平，Fraunhofer IOF采购电子束光刻系统

电子束光刻技术使量子新元件的微型化设计成为可能。据麦姆斯咨询报道，德国图灵根州经济与科学部（Thuringian Ministry of Economics & Science）正在支持弗劳恩霍夫应用光学和精密工程研究所（Fraunhofer IOF）以1200万欧元采购新款光刻系统。该光刻系统将使量子领域的杰出基础研究成为可能，还将使如在航天器中观测气候变化等更精确的光学研究得以实现。德

MEMS 2021-08-09 2184浏览
一文看懂电子束与离子束加工工艺

电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和电子束光刻化学加工，而离子束加工则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等加工。电子束加工原理电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德国。1948年德国科学家

传感器技术 2021-06-28 2466浏览
一文看懂电子束与离子束加工工艺

电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和电子束光刻化学加工，而离子束加工则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等加工。电子束加工原理电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德

传感器技术 2021-03-05 2738浏览
一文看懂电子束与离子束加工工艺

文 | 传感器技术电子束加工和离子束加工是近年来得到较大发展的新型特种加工。他们在精密微细加工方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束加工主要用于打孔、焊接等热加工和电子束光刻化学加工，而离子束加工则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等加工。电子束加工原理电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德国。1

传感器技术 2019-06-09 4234浏览

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