低串扰 - 电子工程专辑

低串扰

电容式MEMS六轴力/力矩传感器：大量程、高灵敏度、低串扰

微型六轴力/力矩传感器在机器人触觉感知、微创手术以及其它狭小空间操作等领域具有广阔的应用前景。目前大多数商用传感器由于尺寸过大难以满足这些应用需求。采用硅微加工技术制造的硅基微机电系统（MEMS）六轴力/力矩传感器具有微型化和批量制造的优势，为解决尺寸大、成本高等问题提供了理想的方案。据麦姆斯咨询报道，近期，西安交通大学赵立波教授、韩香广助理教授团队开发出一种基于电容检测原理的三明治结构MEMS六

MEMS 2024-12-17 2519浏览
基于微笼结构的超低串扰触觉传感阵列

01背景介绍大规模高密度的柔性传感阵列对于触觉探测而言非常重要，但此类器件中通常存在较大串扰，这将大大削弱触觉探测的精度。漏电、击穿或者外界电磁干扰等串扰通常可借助电子元件以及后端信号处理来避免，但柔性器件中由于形变而产生的机械串扰则无法使用上述方法来消除。这种机械串扰有时可用来增强局部刺激，但其也需要大量的数据分析才能实现精准的定位功能，因此，设计新型的器件结构以减少传感器像素点之间的机械串扰是

MEMS 2023-03-11 1162浏览

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