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沉积
沉积(Sedimentation):固体颗粒在重力的作用下沉淀到底部的过程.
日本名古屋大学开创了一种可快速、大面积沉积二维薄膜的技术
名古屋大学材料与系统可持续发展研究所(IMaSS)教授Minoru Osada领导的日本研究小组开创了一种高速、大面积沉积二维材料(包括氧化物、氧化石墨烯和化合物半导体氮化硼)的方法。这项被称为 “自发集成转移法 ”的技术是偶然发现的。研究小组认为,它可以彻底改变纳米片的生产。研究成果发表在《Small》杂志上。传统上,人们采用气相沉积(CVD)和Langmuir-Blodgett(LB)技术等方
DT半导体材料
2024-09-20
481浏览
日本8.6代OLED沉积机器人垄断被打破!
WitDisplay消息,工业物流机器人和真空机器人专业制造商T-Robotics正在挑战日本Sankyo主导的8.6G沉积真空机器人市场。T-Robotics 已经在中国显示面板的 LCD 和 OLED 物流领域拥有强大的参考,计划明年初进入 8.6G 沉积工艺,从今年第四季度的真空机器人开始,他们的目标是三星显示和京东方。7月9日业内人士透露,T-Robotics作为韩国政府项目开展的“用于8
WitDisplay
2024-07-10
463浏览
薄膜沉积设备解析——PECVD/LPCVD/ALD设备的原理和应用
薄膜沉积是在半导体的主要衬底材料上镀一层膜。这层膜可以有各种各样的材料,比如绝缘化合物二氧化硅,半导体多晶硅、金属铜等。用来镀膜的这个设备就叫薄膜沉积设备。从半导体芯片制作工艺流程来说,位于前道工艺中。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类:物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD),其中CVD工艺设备占比更高。物理气相沉积(PVD)指将材料源表面气化并通过低压气体/等离子体在基体表面沉积,包
半导体工艺与设备
2024-07-10
1874浏览
北方华创专注刻蚀、薄膜沉积、清洗和炉管等制程设备,2023年收入221亿元,新订单超300亿元
2023年,公司持续深耕半导体基础产品领域,坚持技术创新和管理创新。与2022年同期相比,公司新增订单显著增加,产能大幅提升,业绩再创新高。2021年至2023年,北方华创集团营业收入和归母净利润连续三年实现增长,营业收入年复合增长率51.00%,归母净利润年复合增长率90.23%。(1)营业收入比上年同期增长的主要原因是公司主营业务发展良好,应用于集成电路领域的刻蚀、薄膜沉积、清洗和炉管等数十种
半导体工艺与设备
2024-06-22
839浏览
微导纳米拟发行可转债募资不超11.7亿元!投入半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设等项目
来源:证券时报、微导纳米公告5月29日晚间公告,微导纳米拟向不特定对象发行可转换公司债券的募集资金总额不超过11.7亿元。扣除发行费用后,将全部投资于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目、研发实验室扩建项目以及补充流动资金。2022年登陆科创板的微导纳米致力于薄膜沉积设备研究,经过多年发展,形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,化学气相沉积(CVD)等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,覆盖多类
CINNOResearch
2024-05-30
680浏览
深圳大学孙灵娜JEC:利用Fe3Se4与多硫化锂相互作用增强锂硫电池反应动力学并诱导Li2S三维沉积
点击左上角“锂电联盟会长”,即可关注!01引言锂硫电池有着超高的理论能量密度(2567 Wh/kg),硫正极绿色环保、成本低廉,一直被认为是最具希望的下一代高性能电化学储能器件之一。但由于锂硫电池存在硫正极的电导率差、穿梭效应、Li2S不可逆沉积和锂枝晶等问题,导致其实际应用一直受到阻碍。为了应对这些挑战,研究人员开发了各种改性方法,包括电解质改性、硫正极改性、隔膜改性和引入功能性中间层等。这些改
锂电联盟会长
2024-05-07
566浏览
新气相沉积技术!这一美国团队开发的技术或可加速钙钛矿太阳能电池的商业化
NREL、BlueDot Photonics、华盛顿大学、科罗拉多矿业学院和罗切斯特理工学院的研究人员开发了一种基于连续闪现升华(CFS)的气相沉积技术,可以在5分钟内连续制造出全无机钙钛矿薄膜。采用该方法还可以提高钙钛矿太阳能电池的功率转换效率。连续闪蒸升华(CFS)方法的示意图,包括源粉末的机械化学合成(这里是CsPb(IxBr1−x)3),在自制蒸发系统中的高通量沉积过程,以及提高薄膜质量的
DT半导体材料
2024-04-18
770浏览
最新Nature子刊:控制锂沉积!缓解锂金属软包电池的膨胀问题
点击左上角“锂电联盟会长”,即可关注!背景介绍锂(Li)金属电池技术以其高能量密度而闻名,但面临着实际挑战,特别是在大体积变化和电池膨胀方面。尽管外部压力对电池性能有深远的影响,但在大尺寸软包电池中,外部压力与锂离子电镀行为之间的相互作用研究中存在明显的空白。成果简介美国太平洋西北国家实验室的Liu Jun和Xiao Jie团队深入研究了外部施加压力对350 Wh kg−1软包电池中电镀和剥离锂的
锂电联盟会长
2024-03-26
922浏览
南开大学李福军、温州大学侴术雷&李林Angew:界面调控Zn(002)晶面定向沉积诱导无枝晶锌负极
点击左上角“锂电联盟会长”,即可关注!【研究背景】可充水系锌金属电池具有安全性高、价格低廉、环境友好等优点,在大规模电化学储能中具有潜在的应用前景。然而,锌负极存在枝晶生长、析氢腐蚀和表面钝化等问题,严重制约了锌金属电池的实际应用。在反复的沉积/剥离过程中存在锌再分布不均匀的情况,引发锌枝晶的生长;枝晶的形成导致锌负极与电解液接触的比表面积增加,从而增大界面析氢速率;负极表面的析氢反应会使界面OH
锂电联盟会长
2024-03-20
915浏览
中微公司去年净利同比增超五成今年拟推出超10款新型薄膜沉积设备
2023年成为中微自成立以来,经营业绩最好的一年;公司计划在2024年推出超10款新型薄膜沉积设备。新开发的硅和锗硅外延EPI设备、晶圆边缘Bevel刻蚀设备等新产品,也计划在2024年投入市场验证。作者 | 黄修眉3月18日晚间,中微公司发布2023年年度报告称,该公司2023年实现营收62.64亿元,同比增长32.15%;实现归母净利润17.86亿元,同比增长52.67%。中微公司董事长、总经
科创板日报
2024-03-19
498浏览
中微公司2023年度净利润同比增超五成!今年拟推出超10款新型薄膜沉积设备
来源:中微公司公告 3月18日晚间,中微公司发布2023年年度报告称,该公司2023年实现营收62.64亿元,同比增长32.15%;实现归母净利润17.86亿元,同比增长52.67%。中微公司董事长、总经理尹志尧在年报中表示,2023年成为中微自成立以来,经营业绩最好的一年。 从近几年数据来看,中微公司2023年归母净利润创下近三年新高。其2021年至2023年,归母净利润分别
CINNOResearch
2024-03-19
624浏览
总投资5亿!这一半导体薄膜沉积设备研发及生产项目封顶
由瑞士万通黄金赞助的第五届半导体湿电子化学品与电子气体论坛将于3月27-28日在无锡召开,详见后文近日,江苏首芯半导体项目生产厂房主体结构封顶仪式举行。中电二公司消息显示,江苏首芯半导体薄膜沉积设备研发及生产项目位于无锡江阴高新区,为集半导体前道制程薄膜沉积高端设备研发、生产、销售为一体的总部基地,总投资5亿元,计划于2024年6月投产。2023年10月12日,江苏首芯半导体薄膜沉积设备项目在江阴
半导体前沿
2024-01-24
1320浏览
住友精密推出MEMSInfinity代工服务,具备PZT薄膜沉积与图案化能力
据麦姆斯咨询介绍,住友精密(Sumitomo Precision Products)是一家全球领先的高精度工业产品制造商,近期推出旗下MEMS Infinity的代工服务,扩大在MEMS制造生态系统中的作用。MEMS Infinity是一家150毫米和200毫米MEMS晶圆代工厂,通过原型设计和大规模生产,满足客户对MEMS概念设计和评估的不断增长的需求。MEMS Infinity位于日本尼崎市(
MEMS
2024-01-22
604浏览
【光电集成】27半导体专题篇七:薄膜沉积设备
今日光电 有人说,20世纪是电的世纪,21世纪是光的世纪;知光解电,再小的个体都可以被赋能。追光逐电,光赢未来...欢迎来到今日光电!----追光逐电 光赢未来----来源:平安证券电子申明:感谢原创作者的辛勤付出。本号转载的文章均会在文中注明,若遇到版权问题请联系我们处理。 ----与智者为伍 为创新赋能----【说明】欢迎企业和个人洽谈合作,投稿发文。欢迎联系我们诚招运营合伙人 ,对新
今日光电
2023-12-27
496浏览
太平洋西北国家实验室最新AM:隔膜对锂沉积行为的重要影响远超想象!
点击左上角“锂电联盟会长”,即可关注!背景介绍在过去的几年里,学术界和工业界都见证了对锂金属电池(LMB)的兴趣迅速复苏,但由于其相对较短的寿命和安全问题,可充电LMB尚未成功商业化。这两个问题都与不均匀的Li沉积和Li金属固有的高反应性有关。人们已经付出了巨大的努力来调节Li沉积的离子通量分布。近年来,隔膜在调节锂沉积行为中的作用越来越受到关注。成果简介近日,美国太平洋西北国家实验室的Xu Wu
锂电联盟会长
2023-12-27
726浏览
半导体前端工艺|第五篇:沉积——“更小、更多”,微细化的关键
01沉积:“加法工艺”在前几篇文章,我们一直在借用饼干烘焙过程来形象地说明半导体制程。在上一篇我们说到,为制作巧克力夹心,需通过“刻蚀工艺”挖出饼干的中间部分,然后倒入巧克力糖浆,再盖上一层饼干层。“倒入巧克力糖浆”和“盖上饼干层”的过程在半导体制程中就相当于“沉积工艺”。▲ 图1: 倒入巧克力糖浆后,再盖上一层饼干层沉积工艺非常直观:将晶圆基底投入沉积设备中,待形成充分的薄膜后,清理残余的部分即
芯存社
2023-12-20
976浏览
电化学沉积技术在集成电路行业的应用
摘要:电化学沉积技术,作为集成电路制造的关键工艺技术之一,它是实现电气互连的基石,主要应用于集成电路制造的大马士革铜互连电镀工艺和后道先进封装 Bump、RDL、TSV 等电镀工艺。受 WLP、2.5D、3D、SIP 等先进封装技术的推动,未来 3 年市场空间可达 15~20 亿美元。0 引言电 化 学 沉 积 技 术, 简 称 ECD(Electrical Chemical Deposition
半导体工艺与设备
2023-12-12
915浏览
薄膜沉积设备解析——PECVD/LPCVD/ALD设备的原理和应用
薄膜沉积是在半导体的主要衬底材料上镀一层膜。这层膜可以有各种各样的材料,比如绝缘化合物二氧化硅,半导体多晶硅、金属铜等。用来镀膜的这个设备就叫薄膜沉积设备。从半导体芯片制作工艺流程来说,位于前道工艺中。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类:物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD),其中CVD工艺设备占比更高。物理气相沉积(PVD)指将材料源表面气化并通过低压气体/等离子体在基体表面沉积,包
半导体工艺与设备
2023-12-09
5000浏览
电化学沉积技术在集成电路行业的应用
魏红军 谢振民(中国电子科技集团公司第四十五研究所)摘要:电化学沉积技术,作为集成电路制造的关键工艺技术之一,它是实现电气互连的基石,主要应用于集成电路制造的大马士革铜互连电镀工艺和后道先进封装 Bump、RDL、TSV 等电镀工艺。受 WLP、2.5D、3D、SIP 等先进封装技术的推动,未来 3 年市场空间可达 15~20 亿美元。0 引言电 化 学 沉 积 技 术, 简 称 ECD(Elec
半导体工艺与设备
2023-11-29
1089浏览
国产半导体薄膜沉积设备公司完成近5亿元新一轮融资!作为核心供应商进入中芯国际、华虹宏力等大厂!
2023年11月25日,国产半导体薄膜沉积设备研发制造企业上海陛通半导体能源科技股份有限公司完成近5亿元新一轮融资。陛通半导体消息显示,本轮融资获得君桐资本、金浦创新、上海科创集团、浙江发展资产、赛富管理、三元资本等支持,力合资本、长江国弘等多家老股东追投。本轮融资后,陛通半导体将持续加大技术和产品研发投入,积聚更多优秀人才,推出更多国产高端薄膜沉积设备品种,加快产业化布局。陛通半导体成立于200
深圳飙叔
2023-11-25
679浏览
中南大学梁叔全&方国赵课题组:利用准共晶电解液重构水系锌锰电池正极界面锰沉积
★欢迎星标 果壳硬科技★研究团队 | 作者酥鱼 | 编辑水性锌锰电池(ZMBs)作为一种安全环保的新型电池越来越受到青睐。然而,传统的水系电解质(如2 M锌盐)所引起的容量下降一直困扰着它,这主要是受锰溶解/沉积界面反应不可控的影响。一方面,Zn2+和Mn2+的溶剂化结构难以区分,在正极界面处脱溶剂化时没有明显的动力学差异,导致竞争反应和共沉积形成电化学活性较低的ZnMn2O4等产物。另一方面,根
果壳硬科技
2023-11-18
768浏览
技术||气相沉积硅炭
点击左上角“锂电联盟会长”,即可关注!近年来,硅负极材料的产业化步伐得到了加速。无论是国内外主流车辆制造商、电池生产企业还是移动设备制造商,均在积极投入硅基负极材料的应用研发中。硅负极材料的应用逐渐成为各产业方打造电池性能差异化的重要竞争领域。特斯拉,作为电动车的领军企业,2020年10月,特斯拉宣布与松下联合开发其配套Cybertruck 的4680圆柱大电池,其天然抑制负极膨胀的能力使得硅负极
锂电联盟会长
2023-11-11
1903浏览
明年6月投产!首芯半导体薄膜沉积设备项目在江阴开工
来源 :无锡新传媒10月12日上午,首芯半导体薄膜沉积设备项目在江阴高新区举行开工仪式,这是江阴引进的首个半导体主要设备项目。无锡市委常委、江阴市委书记许峰宣布项目开工。市领导顾文瑜、时平,江苏首芯半导体科技有限公司董事长兼总经理周纬参加开工仪式。首芯半导体薄膜沉积设备项目将在高新区建设集半导体前道制程薄膜沉积高端设备研发、生产、销售为一体的总部基地。该项目具有科技含量高、产品应用前景广、国产替代
CINNOResearch
2023-10-13
1657浏览
明年6月投产!首芯半导体薄膜沉积设备项目开工
第三代半导体技术与材料论坛将于2023年10月17-18日在厦门召开第六届半导体大硅片论坛将于12月7-8日在上海召开,将参观新昇半导体(上海硅产业集团)与超硅半导体,详见后文10月12日,江苏首芯半导体薄膜沉积设备项目在江阴高新区举行开工仪式。图片来源:江阴发布江阴发布消息显示,首芯半导体薄膜沉积设备项目将在高新区建设集半导体前道制程薄膜沉积高端设备研发、生产、销售为一体的总部基地,计划于202
半导体前沿
2023-10-13
1092浏览
半导体薄膜沉积设备发展趋势与国产化
摘要根据最新市场研究,2022年中国半导体薄膜沉积设备市场将面临更新和替代。AMI、TEL、AppliedMaterial和Lam是该市场上做得最好的供应商,国内的北方华创和沈阳拓荆也有送样机。然而,ALD的交期可能会在15个月左右且存在波动。详情中国半导体薄膜沉积设备市场规模约75亿-90亿美元,其中CVD约占50%,PVD占20-25%,ALD占10-15%,other占10-15%。ALD技
半导体工艺与设备
2023-09-19
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