PMUT - 电子工程专辑

PMUT

基于溅射铌酸钾钠（KNN）的高声压PMUT，可用于触觉、扬声器和测距仪等领域

超声换能器已被广泛应用于物体检测、无损检测（NDT）、生物医学成像和治疗等。与块体型超声换能器相比，占位面积小的压电式微机械超声换能器（PMUT）具有低功耗和宽带宽的优势，可用于消费电子产品和物联网（IoT）等多种领域，例如ToF测距、手势识别、指纹传感和3D成像。然而，这些小型PMUT传感器的输出声压相对较低，这限制了其在各种应用中的信号传输。如果要扩大PMUT在隔空触觉、扬声器和声镊等领域中的

MEMS 2025-01-09 194浏览
同步提升PMUT带宽和声压，推动医学超声成像应用大众化

医学超声影像设备广泛应用于人体健康诊断，超声换能器是其中的核心部件。基于块体型多晶或单晶压电陶瓷及复合材料的换能器，可以产生高声压和大带宽超声信号，进而得到高分辨率和高清晰度图像，因此现阶段在医学超声成像领域占据无可匹敌的统治地位。然而块体型压电陶瓷需经高精度机械切割制成单个元件，其生产效率较低且与先进半导体制造技术的兼容性不足，阻碍了超声诊断的受众规模和应用范畴，行业亟需创新的医用超声换能器实现

MEMS 2024-07-30 1544浏览
基于PMUT的植入式超声刺激器实现多巴胺调节

导语脑刺激方法常被用于神经治疗与科学研究中，近年来经颅超声刺激方法逐渐得到人们重视，然而颅骨的存在阻挡了超声的传播。植入式压电超声刺激器（ImPULS）具有微米级的刺激器，可以对深层脑组织进行有效刺激，不仅提供一种更安全的刺激方法外，还可能成为研究人员了解大脑工作原理的重要工具，相关研究成果发表在《Nature Communications》期刊上。01研究背景经颅聚焦超声可以在神经组织

MEMS 2024-07-23 571浏览
小尺寸高频PMUT的结构工艺及超声成像

据麦姆斯咨询报道，2024年7月26日至28日，天津大学副教授牛鹏飞将参加《第63期“见微知著”培训课程：声学MEMS与传感器》并进行授课，具体信息如下：授课主题：小尺寸高频PMUT的结构工艺及超声成像授课老师简介：牛鹏飞，博士，现任天津大学精密仪器与光电子工程学院副教授。他的博士学位由西班牙巴塞罗那材料研究所ICMAB-CSIC和巴塞罗那微电子研究所IMB-CNM-CSIC联合培养，毕业后在美国

MEMS 2024-07-22 899浏览
PMUT新技术与新应用

据麦姆斯咨询报道，2024年7月26日至28日，天津大学北洋学者张孟伦将参加《第63期“见微知著”培训课程：声学MEMS与传感器》并进行授课，具体信息如下：授课主题：PMUT新技术与新应用授课老师简介：张孟伦，工学博士，天津大学北洋学者，英国剑桥大学访问学者。他专注MEMS领域研究十余年，研究领域覆盖各类声学MEMS器件，包括麦克风、扬声器、超声换能器及频率器件等。在压电MEMS方向以第一作者/通

MEMS 2024-07-21 679浏览
微机械超声换能器（CMUT和PMUT）关键技术与典型应用

据麦姆斯咨询报道，2024年7月26日至28日，西安交通大学副教授李支康将参加《第63期“见微知著”培训课程：声学MEMS与传感器》并进行授课，具体信息如下：授课主题：微机械超声换能器（CMUT和PMUT）关键技术与典型应用授课老师简介：李支康，博士，西安交通大学副教授、博士生导师，陕西省青年科技新星，西安交通大学医工交叉十大创新人才，仪器科学与技术学院智能传感与系统研究所副所长。西安交通大学机械

MEMS 2024-07-19 1887浏览
基于PMUT的液体监测及无损探伤

据麦姆斯咨询报道，2024年7月26日至28日，上海微技术工业研究院总监娄亮将参加《第63期“见微知著”培训课程：声学MEMS与传感器》并进行授课，具体信息如下：授课主题：基于PMUT的液体监测及无损探伤授课老师简介：娄亮，博士，现任上海微技术工业研究院（SITRI）总监、MEMS工艺平台负责人，上海大学微电子学院连聘导师。他2008年本科毕业于中国科学技术大学；2012年博士毕业于新加坡国立大学

MEMS 2024-07-18 674浏览
用于3D空间感知的多频单通道空气耦合PMUT

压缩感知（CS）为解决当前3D超声成像的局限性提供了一种有希望的解决方案。通过精心选择稀疏表示和合适的采样策略，压缩感知可以在减少测量数据量的情况下加快采集过程，同时还能确保目标信号基本信息的精确重建。目前，压缩感知已广泛应用于通信系统和网络、医学成像和地震研究等领域。据麦姆斯咨询报道，近期，奥地利硅实验室（Silicon Austria Labs）的研究团队提出一种创新的3D空间感知方法，即基于

MEMS 2024-07-17 642浏览
MEMS扬声器、PMUT、CMUT的期刊文献与专利分析

据麦姆斯咨询报道，2024年7月26日至28日，麦姆斯咨询行业研究员史红健将参加《第63期“见微知著”培训课程：声学MEMS与传感器》并进行授课，具体信息如下：授课主题：MEMS扬声器、PMUT、CMUT的期刊文献与专利分析授课老师简介：史红健，博士，麦姆斯咨询行业研究员，主要开展MEMS和传感器领域的期刊文献和专利的检索与分析工作。他博士毕业于东南大学，曾在同济大学航空航天与力学学院担任博士后、

MEMS 2024-07-12 619浏览
基于溶胶-凝胶PZT薄膜的空气耦合PMUT，赋能空中超声应用

在过去的70年里，超声换能器已广泛应用于工业和生物医学领域，例如无损评估、医学成像和非侵入性治疗等。然而，商用空气耦合超声换能器通常体积庞大，难以集成到消费电子产品中，从而阻碍了空中超声应用的进一步发展。据麦姆斯咨询报道，近期，由台湾国立成功大学Chih-Hsien Huang副教授和Yeong-Her Wang特聘教授领导的科研团队开发了第一个使用溶胶-凝胶锆钛酸铅（PZT）薄膜的空气耦合压电式

MEMS 2024-07-11 941浏览
综述：生物医学应用的PMUT和CMUT器件

超声技术因其在推动生物医学研究和创新方面的重要作用而得到广泛认可。该领域创新的一个关键点是微机电系统（MEMS）集成技术的发展，这为在制造和性能方面超越传统块体型超声换能器的超声技术提供了许多有效的替代方案。一方面，基于MEMS的超声换能器，例如微机械超声换能器（MUT），受益于与CMOS技术的兼容性，从而使制造工艺具有更低的成本、更高的设计灵活性和可重复性；事实上，它们支持在同一封装上实现MEM

MEMS 2024-07-10 1566浏览
基于AlN压电材料的高性能PMUT阵列

超声换能器在许多领域都有着广泛应用，例如医学成像、无损检测和目标识别等。随着MEMS技术的日益进步，微机械超声换能器（MUT）取得了长足的进步。相比于传统的块体型超声换能器，MUT展示出了许多优势，如体积小、功耗低、可批量制造和一致性好等。其中，电容式微机械超声换能器（CMUT）可以达到较高的机电耦合系数，但是也需要较小的空气间隔和较大的偏置电压，制造难度较大。压电式微机械超声换能器（PMUT）则

MEMS 2023-10-12 1577浏览
面向高频医用超声成像的PMUT设计与性能仿真

据麦姆斯咨询报道，2023年10月13日至15日，上海师范大学副教授张巧珍将参加《第55期“见微知著”培训课程：微机械超声换能器（MUT）》并进行授课，具体信息如下：授课主题：面向高频医用超声成像的PMUT设计与性能仿真授课老师简介：张巧珍，博士，上海师范大学信息与机电工程学院副教授。2018年毕业于上海交通大学仪器科学与技术专业，获工学博士学位；2015年~2016年赴日本国立千叶大学工学院进行

MEMS 2023-10-11 1125浏览
基于PMN-PT压电复合振动膜的PMUT仿真与结构优化

近年来，微机械超声换能器（MUT）技术一直处于快速发展阶段。与传统的块体型超声换能器相比，MUT具有体积小、质量小、集成度高及成本低等特点，因此已经成为当前超声换能器领域研究的热点方向之一。其中，压电式微机械超声换能器（PMUT）具有易与水和空气声阻抗匹配，以及集成度高的特性，引起了学者的广泛关注。PMUT在医疗成像、手势识别、内窥成像和指纹识别等领域有着重要的应用，而灵敏度等性能是影响其成像质量

MEMS 2023-10-09 1022浏览
基于ScAlN薄膜的双环结构PMUT，探测距离高达6米

超声换能器（Ultrasonic transducers）可以提供不受物体颜色和环境光强度影响的精确距离信息，在泊车辅助、机器人避障和存在检测等距离传感应用中发挥着重要作用。然而，传统的块体型压电换能器体积大、耗电量大，并且与集成电路（IC）工艺不兼容，这使其对于小型化和集成移动应用来说不够理想。基于MEMS技术的压电式微机械超声换能器（PMUT）具有体积小、功耗低、灵敏度高、集成度高等优点，是扩

MEMS 2023-10-09 1438浏览
集成Helmholtz谐振腔的声压增强型PMUT，测距能力有效提升

压电式微机械超声波换能器（PMUT）在医疗成像、测距、无损检测和流量感应等领域有着广阔的应用前景。PMUT通过挠性膜的振动输出超声压力波，因此，输出声压的强度是衡量其测距能力的一个重要指标。据麦姆斯咨询报道，针对传统结构PMUT输出声压较低的问题，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所轻量化实验室、长春理工大学以及中国科学院多功能材料与轻巧系统重点实验室的研究人员合作提出了一种集成亥姆霍兹（Hel

MEMS 2023-09-24 1180浏览
面向PMUT的亚门级超高精度飞行时间（ToF）测量电路

据麦姆斯咨询报道，2023年10月13日至15日，南京湃睿半导体有限公司联合创始人黄孙峰将参加《第55期“见微知著”培训课程：微机械超声换能器（MUT）》并进行授课，具体信息如下：授课主题：面向PMUT的亚门级超高精度飞行时间（ToF）测量电路授课老师简介：黄孙峰，南京理工大学微机电系统硕士，德国卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）微电子博士在读。他拥有近20年传感器半导体从业经验，历任全球知名分销商市场

MEMS 2023-09-22 791浏览
基于PMUT的液体密度测量传感器：体积小且功耗低

液体具有多种物理特性，例如密度、黏度和表面张力等，通过测量这些参数可以反映出液体的性质，其中密度是反映液体性质的重要指标之一。例如，在葡萄酒酿制过程中，通过监测葡萄酒发酵时浆液的密度可以判断出葡萄酒发酵的程度和葡萄酒的品质；在医疗领域中，血液中毒与肾功能衰竭会引起血液密度的紊乱，通过测量血液密度可以进行急症的初筛；在石油开采过程中，通过测量石油的密度可以分析计算油田的出产量并制定合理的开采方案。据

MEMS 2023-09-20 1491浏览
微机械超声换能器（CMUT和PMUT）关键技术与典型应用

据麦姆斯咨询报道，2023年10月13日至15日，西安交通大学副教授李支康将参加《第55期“见微知著”培训课程：微机械超声换能器（MUT）》并进行授课，具体信息如下：授课主题：微机械超声换能器（CMUT和PMUT）关键技术与典型应用授课老师简介：李支康，博士，西安交通大学副教授、博士生导师，陕西省青年科技新星，西安交通大学医工交叉十大创新人才，仪器科学与技术学院智能传感与系统研究所副所长。西安交通

MEMS 2023-09-19 1937浏览
基于行列寻址的PMUT柔性曲面阵列，用于高质量超声成像

微机械超声换能器（MUT）是利用MEMS技术制备的一种新型超声换能器。其中，压电式微机械超声换能器（PMUT）被广泛应用于超声成像系统。单个PMUT通常不能满足实际应用中的多方面要求，而PMUT阵列则可以。因此，设计更精良的PMUT阵列是提高超声成像质量的关键因素。此外，由于从三维图像中可以获取更详细的信息，近年来，研究人员越来越重视对三维超声成像系统的开发，而二维PMUT面阵是能够实现三维超声成

MEMS 2023-09-18 1828浏览
利用高阶模态设计高性能高频PMUT

压电式微机械超声换能器（PMUT）已被应用于指纹识别、物体检测和医学成像等领域。基于块体型压电陶瓷的传统超声换能器与空气或液体的声耦合较差，并且将其加工成用于3D成像的2D换能器阵列的成本高昂。相反，微机械超声换能器（MUT）的声阻抗低，可以与空气/液体良好耦合。此外，PMUT还具有元件尺寸小、功耗低、成本低以及易于与电子器件集成等优点。无需昂贵的切割工艺，高频（≥ 10 MHz）PMUT是块体型

MEMS 2023-09-14 1308浏览
imec基于AlScN压电材料开发新一代PMUT超声成像

通过向人体发射高频声波并将其回波转换为电信号，可以构建体内实时图像。通过超声成像对子宫内的胎儿进行非侵入性可视化已得到广泛认可。除了医学成像，超声波还可以应用于汽车、虚拟现实（VR）/增强现实（AR）应用以及其他领域的生物识别和手势识别。目前，超声换能器通常采用硅基半导体设备来生产。对于大面积覆盖的高分辨率医学成像，需要大尺寸传感器，这对于硅基传感器来说具有挑战性，因为其每平方毫米的成本很高。用于

MEMS 2023-09-11 1179浏览
基于应变模态振型的可配置PMUT电极设计

压电式微机械超声换能器（PMUT）已成为传统块体型压电技术的可行替代品，特别是在小型化、低成本、低驱动电压、易于制造和集成到前端电子器件的应用中至关重要。具有多个电极的PMUT可以通过激励振膜的选定振动模态来用作多频率换能器，从而提供可配置性，这在现代超声成像和治疗技术中可能是有益的。这需要合理地安排电极配置以激励所需的模态或模态组合。电极图案的优化可以使用全电声有限元法（FEM）仿真来完成，但这

MEMS 2023-08-08 960浏览
综述：薄膜PMUT研究进展

据麦姆斯咨询报道，近日，新加坡国立大学（National University of Singapore）和新加坡科技研究局（A*STAR）微电子研究所的研究人员组成的团队在Microsystems & Nanoengineering期刊上发表了题为“Thin-film PMUTs: a review of over 40 years of research”的综述论文，该论文的通讯作者为新加坡国

MEMS 2023-08-03 1344浏览
MEMS压电超声换能器CMUT&PMUT以及生产工艺

MEMS 压电超声换能器1、声波与超声波声波：物体振动时激励着它周围的空气质点振动，由于空气具有可压缩性，在质点的相互作用下，振动物体四周的空气就交替地产生压缩与膨胀，并且逐渐向外传播，从而形成声波。声波传播方式不是物质的移动，而是能量的传播。也就是说质点并不随声波向前扩散，而仅在其原来的平衡位置附近振动，靠质点之间的相互作用影响到邻近的质点振动，因此，振动得以向四周传播，形成波动。纵波：质点振动

秦岭农民 2023-07-07 2684浏览

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