PECVD - 电子工程专辑

PECVD

北方华创：全新12英寸PECVD设备正式交付！前三季度营收同比增加39.51%！

11月1日，北方华创发文称，近日其自主研发的高均匀性、大产能12英寸等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备——Cygnus系列，已成功交付客户。这一里程碑标志着北方华创在半导体设备制造领域的又一重大突破，进一步巩固了其在薄膜沉积技术的领先地位。Cygnus系列PECVD设备主要用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳氧化硅、碳氮化硅等多种高品质介质薄膜，满足逻辑、存储和先进封装对钝化层、隔离层、抗

飙叔科技洞察 2024-11-03 960浏览
薄膜沉积设备解析——PECVD/LPCVD/ALD设备的原理和应用

薄膜沉积是在半导体的主要衬底材料上镀一层膜。这层膜可以有各种各样的材料，比如绝缘化合物二氧化硅，半导体多晶硅、金属铜等。用来镀膜的这个设备就叫薄膜沉积设备。从半导体芯片制作工艺流程来说，位于前道工艺中。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类：物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积（CVD），其中CVD工艺设备占比更高。物理气相沉积（PVD）指将材料源表面气化并通过低压气体/等离子体在基体表面沉积，包

半导体工艺与设备 2024-07-10 2694浏览
PECVD制备SiO2光波导薄膜

光波导可以用在很多领域，VR眼睛、光纤分路器等等，而采用PECVD是一种常用且容易控制参数的工艺手段。PECVD是利用辉光放电产生的非平衡等离子体激活反应气体，使之电离，从而获得离子、原子和大量的活性基团，并发生化学反应，在衬底上沉积薄膜。在制备二氧化硅平面光波导分路器时，光波导质量直接影响着器件性能的好坏，其工艺难点主要有：①精确控制膜层的折射率和厚度，目的是最大程度的和设计理论值保持一致，提高

芯片工艺技术 2024-07-03 1164浏览
薄膜沉积设备解析——PECVD/LPCVD/ALD设备的原理和应用

薄膜沉积是在半导体的主要衬底材料上镀一层膜。这层膜可以有各种各样的材料，比如绝缘化合物二氧化硅，半导体多晶硅、金属铜等。用来镀膜的这个设备就叫薄膜沉积设备。从半导体芯片制作工艺流程来说，位于前道工艺中。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类：物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积（CVD），其中CVD工艺设备占比更高。物理气相沉积（PVD）指将材料源表面气化并通过低压气体/等离子体在基体表面沉积，包

半导体工艺与设备 2023-12-09 6977浏览
薄膜沉积设备解析——PECVD/LPCVD/ALD设备的原理和应用

薄膜沉积是在半导体的主要衬底材料上镀一层膜。这层膜可以有各种各样的材料，比如绝缘化合物二氧化硅，半导体多晶硅、金属铜等。用来镀膜的这个设备就叫薄膜沉积设备。从半导体芯片制作工艺流程来说，位于前道工艺中。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类：物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积（CVD），其中CVD工艺设备占比更高。物理气相沉积（PVD）指将材料源表面气化并通过低压气体/等离子体在基体表面沉积，包

半导体工艺与设备 2023-08-29 2392浏览
学习拓荆科技：国内PECVD龙头

股东情况：第一大股东为国家集成电路基金，中微公司持有公司总股本的11.20%，是公司第三大股东。管理团队：董事长、总经理等在内的技术团队拥有泛林、美国诺发、 Mattson、 Intel等的CVD、ALD、量测、刻蚀等丰富的行业经验。客户结构：中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、厦门联芯、燕东微电子等国内外主流晶圆厂客户，已广泛应用于国内晶圆厂14nm及以上制程集成电路制造产线，并已展开10

半导体工艺与设备 2023-05-18 1722浏览
【求是缘技术沙龙】PECVD设备生产良率对厂房设计的要求挑战和对策

文章来源于求是缘半导体联盟会员单位：生特瑞生特瑞（上海）工程顾问股份有限公司成立于2004年，由一批具有丰富国际工程管理经验、在海外工作逾十年的行业专家管理经营。生特瑞将先进的国际项目管理经验引入中国，为全球汽车、化工、商业、通用工业、公用建筑、新能源、高新技术、生物医药、主题乐园及污水处理等行业的领军企业提供全面而优质的工程服务。“Abstract摘要PECVD 在芯片成膜与扩散工艺过程中，极

求是缘半导体联盟 2023-03-18 1569浏览
支持存储与逻辑芯片制造！盛美上海进军PECVD设备市场

12月14日消息，盛美半导体设备（上海）股份有限公司(以下简称“盛美上海”)作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决方案的领先设备供应商，近日宣布推出拥有自主知识产权的Ultra PmaxTM等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，拓展了一个重要的全新产品分类。盛美上海预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD设备。盛美上海首席执行官王坚表示：“Ultra Pm

半导体前沿 2022-12-14 1565浏览

正在努力加载更多...

广告

今日新闻

热门文章排行

1 芯片原产地解读，附18家美国芯片企业原产地详细分析

芯存社  14175
2 中美34%关税！对半导体产业影响几何？

芯极速  4807
3 中方重磅官宣：对美加征34%关税，对半导体行业有哪些影响

芯存社  3696
4 如何应对美国加征关税影响？多家厂商回应，美光决定加收产品附加费！

皇华电子元器件IC供应商  3623
5 美方威胁对华加征50%关税，中方回应！

皇华电子元器件IC供应商  3619
6 暴涨175%！这些化工原料逆势大涨！

PCB资讯  2333
7 小米SU7事故后雷军终于露面略显憔悴：网友喊话心疼一分钟

快科技  2265
8 不允许起火爆炸，GB38031《电动汽车用动力蓄电池安全要求》

锂电联盟会长  2076
9 中美互加关税，数字只是数字，对半导体影响几何

芯思想  1845
10 微软回应“退出中国”传闻

芯极速  1839
11 特朗普最后通牒：若中国不撤回报复关税，就再加征50%！中方严正回应

EETOP  1837
12 公安厅调查“小米SU7事故”

电动知家  1666
13 针对中国？特朗普将关税加至125%，其他国家暂缓征收90天并降至10%！

飙叔科技洞察  1621
14 出事故的小米SU7，到底是谁家的电池？

锂电联盟会长  1436
15 重磅！中方反制，对美加征34%关税！对半导体产业影响几何

DT半导体材料  1296
16 突发：125%关税，立即执行！美国再加码，贸易战“白热化”

硬件笔记本  1271
17 【光电集成】华为科学家委员会主任何庭波：半导体正处于变革的十字路口

今日光电  1183
18 特朗普放弃打压英伟达H20芯片！

皇华电子元器件IC供应商  1126
19 国产视频接口标准正式发布！192GPS480W供电，完美取代HDMI和DisplayPort

EETOP  1118
20 重磅！中方反制，对美加征34%关税！对半导体产业影响几何

皇华电子元器件IC供应商  1067
21 一文看懂OPPOFindX8系列暨移动智能生态旗舰新品发布会，售价3699元起

CINNOResearch  1042
22 史无前例！苹果iPhone恐怕要涨价了，价格翻近一倍

ittbank  1004
23 关税对芯片制造商影响有多大？这篇文章全部说透了！

美股研究社  966
24 突发！某国紧急叫停零跑C16车型认证

谈思汽车  962
25 2000人将失业！传美科技巨头退出中国？最新回应来了

芯通社  886
26 揭秘！2025慕尼黑上海电子展丨展位图及展商名单公布！

电力电子技术与新能源  796
27 史无前例！苹果iPhone恐怕要涨价了，价格翻近一倍

快科技  791
28 中国反制措施五连发！回应：美方危害全球经贸秩序稳定！

飙叔科技洞察  791
29 关税战令苹果手机价格或飙升！政策将重创苹果公司供应链

CINNOResearch  785
30 外媒：苹果iPhone将涨价至1.6万元

芯极速  770

广告

最新评论更多>>

可以在文章引用您的一张数据吗？

listen 评论文章 2025-04-09

221亿、13.9万台-2024年度中国移动机器人产业发展研究报告发布！
正好做这个热释电相关的课题，很有用

用户3871759 评论文章 2025-04-08

一文读懂热释电传感器的原理与应用

资料

文库

帖子

博文

在线研讨会

EE直播间

利用高性能源表和强大的软件，实现半导体参数的测试和分析直播时间：04月17日 10:00

E聘热招职位