MOEMS - 电子工程专辑

MOEMS

基于自由形式反弹簧设计的高灵敏度MOEMS重力仪

重力仪（Gravimeter）用于测量重力加速度，在地质灾害预测和勘探等地球物理应用领域具有重要价值。传统的重力仪由于体积庞大、成本高昂，限制了其应用场景。微机电系统（MEMS）凭借微型化与集成化优势，能够实现低成本的小型重力仪方案，可以实现大规模部署。然而，现有的MEMS重力仪在实现超高灵敏度方面，仍面临着制造公差和器件尺寸的限制。据麦姆斯咨询报道，近期，西北工业大学黄维教授、王小旭教授、卢乾波

MEMS 2025-03-08 403浏览
微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试

微机电系统（MEMS）加速度计以其体积小、功耗低、成本低等优势广泛应用在无人驾驶、地震检测等领域。目前主流MEMS加速度计以电容式检测为主，相较于电容式加速度计，光栅位移检测极限要高于电容式1 ~ 2个数量级，因此基于光栅检测的微光机电系统（MOEMS）加速度计具备精密光学检测高精度和抗电磁干扰的优势，将其检测方式用于MEMS加速度计中，可以实现更高精度的加速度检测。据麦姆斯咨询报道，近期，中北大

MEMS 2024-05-17 8542浏览
综述：MOEMS气体传感技术研究进展

微光机电系统（MOEMS）气体传感技术是光学式气体传感器技术与MOEMS技术、新材料技术相结合的创新型技术方案。MOEMS气体传感器具有更低的价格、更高的集成度、更强的抗干扰能力，以及更高的检测精度。据麦姆斯咨询报道，针对MOEMS气体传感技术的研究进展，南京邮电大学的研究团队进行了综述分析，阐述了主要光学式气体传感系统的工作原理及系统结构、MOEMS气体传感技术中最新的微光学器件及微光学系统，并

MEMS 2023-11-22 1022浏览

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