MEMS - 电子工程专辑

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矽劼微电子发布离心式MEMS雾化芯片

据麦姆斯咨询获悉，2024年12月31日，苏州矽劼微电子有限公司（简称：矽劼微电子）正式发布离心式MEMS雾化芯片。作为雾化装置的核心器件，雾化芯片一直是决定雾化性能的关键部件。而离心式雾化芯片因其效率高、颗粒均匀、适用范围广的特点，在医疗、家居、工业等领域备受关注。矽劼微电子在对传统注塑雾化结构的基础上，结合MEMS加工工艺，成功推出50微米-250微米不同流道尺寸的离心式MEMS雾化芯片，顺利

MEMS 2025-01-03 137浏览
奥松半导体8英寸MEMS特色芯片IDM产业基地项目主厂房封顶

2024年12月28日上午，奥松半导体的8英寸MEMS特色芯片IDM产业基地项目FAB主厂房成功封顶，这一里程碑式的成就标志着该项目工程建设进入一个新的阶段，3号FAB厂房是该项目的核心部分，其按时封顶对于后续的洁净室装修和按计划投产至关重要，同时也标志着奥松向智能传感器产业发展迈出更加坚实的一步。奥松半导体项目位于西部科学城重庆高新区，一期建筑面积超过13万平方米。项目建成后，奥松半导体将进一步

MEMS 2025-01-01 112浏览
泥炭与xMEMS联合打造基于MEMS扬声器的高清音质TWS耳机

近期，SOUNDPEATS（泥炭）宣布推出备受期待的Capsule3 Pro+ TWS耳机，采用了xMEMS开创性的固态全硅MEMS扬声器 Cowell。凭借xMEMS的扬声器提供卓越的音质、相位一致性和高音扩展，Capsule3 Pro+ 耳机确保了在整个频率范围内提供精确、高保真、高分辨率的音频，并改善了细节和分离度。此外，通过集成xMEMS的紧凑型硬件，用户可以期待更符合人体工程学的SOUN

MEMS 2025-01-01 99浏览
差分MEMS石英谐振加速度计+低噪声振荡读出电路：高分辨率、高稳定性

微机电系统（MEMS）加速度计在惯性制导、地震探测、可穿戴设备、智能机器人等领域有着广泛的应用。为了获得理想的MEMS谐振器，迫切需要一种便于驱动和检测的材料。单晶石英具有天然的压电效应，可通过在其表面放置电极并施加交流电压来驱动其进入特定模式，无需额外结构即可实现机电能量的高效转换。MEMS石英谐振器具有结构紧凑、品质因数（Q）高、线性工作范围宽等特点，其稳定的晶体结构使其成为制造MEMS谐振加

MEMS 2025-01-01 106浏览
MEMS扬声器初创公司Myvox蓄势待发，MEMS代工厂Silex助力量产

据麦姆斯咨询介绍，Myvox是总部位于瑞典的一家进入新兴且前景广阔的MEMS扬声器领域的初创公司。作为差异化因素，Myvox采用了“纯MEMS扬声器”的经验，以承诺音频质量的进步，而不仅仅是实现“芯片级扬声器”的规模经济效益。非常接近开始给客户送样阶段，Myvox的MEMS扬声器可在更小的外形尺寸上提供卓越的音频性能。作为一家深科技创业公司，Myvox由拥有40+年MEMS研究经验的行业专家于20

MEMS 2024-12-30 86浏览
用于激光雷达的高可靠双轴MEMS微镜：光学扫描角度大于100°

2024光学扫描角度>100°的高可靠双轴MEMS微镜来源：中国科学院上海微系统所传感技术国家重点实验室MEMS工艺与先进传感器课题组近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所武震宇研究员带领MEMS工艺与先进传感器课题组，设计并制造出了在X轴和Y轴上分别达到102.8°和104.8°光学扫描角的MEMS微镜。该器件具有直径为5mm的反射镜面，并且通过了900g冲击试验和20g振动试验。相关研究工

MEMS 2024-12-30 61浏览
全球首款用于TWS耳机的MEMS扬声器-麦克风解决方案SonicTwin发布

据麦姆斯咨询报道，近期，SonicEdge自豪地宣布将在CES 2025上推出全球首款的集成式MEMS扬声器-麦克风解决方案：SonicTwin – ST100，适用于真无线立体声（TWS）耳机。SonicTwin尺寸仅为8mm x 4mm x 1mm，结合了尖端的声音生成和传感功能，为紧凑型音频创新树立了新标杆。SonicEdge集成式MEMS扬声器-麦克风解决方案：SonicTwin – ST

MEMS 2024-12-28 76浏览
阵列式MEMS惯性导航系统产业化应用的关键技术探究

阵列式 MEMS 惯性导航系统产业化应用的关键技术探究原极（上海）科技有限公司导航与运动控制青年论坛2024 年，在江苏（南京）会议中心召开了 “导航与运动控制青年论坛”。作为国内惯导技术顶级学术会议，此次论坛吸引了包括两位院士在内，一大批惯导领域顶尖专家学者，为行业内的专家学者和企业代表提供了一个交流与合作的平台。在这场备受瞩目的论坛上，原极（上海）科技有限公司总经理杭义军先生针对 MEMS 惯

MEMS 2024-12-28 68浏览
全球首个MEMS微型扬声器团体标准正式实施

2024年12月25日，由深圳市音响行业协会提出并归口的《MEMS微型扬声器通用技术要求》团体标准正式实施，这是全球首个明确统一的MEMS微型扬声器行业标准。该标准的制定始于2023年4月的立项，历经多次研讨与修订。2024年6月26日正式发布，其起草单位汇聚了行业内的众多权威机构与企业，包括立讯精密、瑞声开泰、歌尔股份、美特科技、韶音科技、USound GmbH、盛佳丽电子、苏州声学产业研究院

MEMS 2024-12-28 114浏览
用于MEMS传感器的Cr掺杂V₂O₃薄膜压阻特性研究

压阻式MEMS压力传感器是指利用材料的压阻效应，将待测物理量引起的应力变化转换为电阻变化的器件。目前，大多数压阻式压力传感器采用掺杂硅作为压阻材料。然而，这种材料存在一些局限性，例如压阻系数相对有限，以及与某些金属难以形成良好的欧姆接触等。为了进一步提升压阻式MEMS压力传感器的性能、降低功耗、增强鲁棒性和稳定性，研究人员一直在积极探索新型压阻材料。铬（Cr）掺杂三氧化二钒（V₂O₃）薄膜在室温下

MEMS 2024-12-27 104浏览
“高灵敏MEMS磁敏感元件及传感器”项目成果在四川电网试点应用

近日获悉，由中国电力科学研究院有限公司牵头，国网四川省电力公司、中国科学院物理研究所、西安交通大学等9家单位和高校共同承担的国家重点研发计划项目“高灵敏微机电系统加工技术（MEMS）磁敏感元件及传感器”研究成果在四川电网试点应用，为新型电力系统“电网-设备-客户”状态全景感知提供数据支撑。随着新型电力系统建设加速和新能源汽车行业快速发展，磁敏感元件及传感器向着高灵敏、高可靠、微型化方向发展。项目研

MEMS 2024-12-26 72浏览
MEMS微镜驱动技术：趋势、创新及未来前景

MEMS微镜凭借在众多领域的应用，近些年在科研及光学产业吸引了极高的关注。MEMS微镜的应用范围非常广，包括共聚焦显微镜、投影显示、光学相干断层扫描（OCT）、激光雷达（LiDAR）、3D扫描仪、光开关、光谱仪以及医学成像等。MEMS扫描器已成功取代OCT和共聚焦显微镜中功耗较高的大尺寸振镜扫描器。它们为高速光束操控提供了一种结构紧凑、成本效益高且省电的替代方案。MEMS微镜的性能主要取决于驱动器

MEMS 2024-12-26 76浏览
高性能MEMS传感器厂商莱斯能特完成A+轮融资

近日，知名投资机构云岫资本宣布完成对莱斯能特（苏州）科技有限公司（简称：莱斯能特）的A+轮投资。本次投资发生于2024年12月16日，标志着莱斯能特在高性能MEMS传感器芯片领域的创新实力得到了资本市场的高度认可。莱斯能特自2022年10月26日成立以来，专注于工业类、汽车类高性能MEMS传感器芯片的研发、生产和销售，公司总部位于苏州高新区光子产业园，研发中心在上海浦东，在美国达拉斯设有研发办公室

MEMS 2024-12-23 211浏览
博思发推出新款MEMS风速计，用于HVAC便携式风速仪和固定式管道风速监测器

据麦姆斯咨询报道，博思发科技（Posifa Technologies）近期推出了新款MEMS风速计PAV5000系列。该系列MEMS风速计经过全面校准和温度补偿，可轻松集成到暖通空调（HVAC）行业的便携式风速计和固定式管道风速监测器中，其坚固耐用、性价比高，采用探头式封装，可提供精确的风速和温度测量，提供更全面的环境状况信息。PAV5000系列搭载博思发科技第三代热式流量芯片，采用一对热电堆来检

MEMS 2024-12-19 15浏览
MEMS微镜厂商微视传感荣获“中国传感器优秀产品奖”

12月1-2日，2024传感器大会在郑州国际会展中心成功召开。本次大会以“感知世界智创未来”为主题，以“立足中原、辐射中国、引领国际”为理念，微视传感受邀参与此次盛会，与来自全球传感器领域最具影响力的院士专家、龙头企业、科研院所科研技术负责人等会聚一堂，共同交流全球传感器科技、产业和应用的最新成果。在大会分会场活动——第二届国际传感器企业家峰会上，公布了“中国传感器优秀企业及优秀产品奖”名单，微

MEMS 2024-12-19 24浏览
“高性能谐振式硅基MEMS惯性传感器关键技术及应用”项目荣获江苏省科学技术三等奖

据麦姆斯咨询报道，近日，江苏省召开了全省科技大会暨科学技术奖励大会，公布了2023年度江苏省科学技术奖。由敏芯股份、东南大学以及中国电子科技集团共同完成的“高性能谐振式硅基MEMS惯性传感器关键技术及应用”项目荣获江苏省科学技术三等奖。江苏省科学技术奖由省人民政府设立，是江苏省科技领域的最高奖项，主要奖励在技术发明、技术开发、重大工程建设、科学技术成果推广转化、高新技术产业化、社会公益等方面取得显

MEMS 2024-12-18 99浏览
北方微电子院牵头成立SAC/TC336硅光MEMS标准化工作组

12月10日，SAC/TC336全国微机电技术标准化技术委员会硅光MEMS标准化工作组成立大会在北方微电子院召开。国标委领导，20家成员单位代表共35人出席会议，北方微电子院副总经理吴猛主持会议，党委书记、董事长陈丙根参会并致欢迎辞。SAC/TC336主任委员孙立宁、秘书长李根梓分别为大会致辞，北方微电子院对工作组筹建情况进行报告，与会专家逐一发言。浙江大学、北京理工大学、中科院苏州纳米所、北方微

MEMS 2024-12-17 39浏览
Melexis推出具有LIN接口的MEMS压力传感器，极大简化设计且降低成本

据麦姆斯咨询报道，近期，全球微电子工程公司Melexis宣布，推出新型压力传感器MLX90833，该传感器采用创新的Triphibian™技术，能够精准测量2至70bar范围内气体和液体介质的压力，并且所有功能集成在紧凑的SO16封装中。该器件出厂时已经过校准，可通过LIN数字接口输出精准的绝对压力读数，助力热泵制造商简化集成流程，提高生产效率。热管理系统日益复杂，对LIN的需求不断增长随着热泵系

MEMS 2024-12-17 53浏览
电容式MEMS六轴力/力矩传感器：大量程、高灵敏度、低串扰

微型六轴力/力矩传感器在机器人触觉感知、微创手术以及其它狭小空间操作等领域具有广阔的应用前景。目前大多数商用传感器由于尺寸过大难以满足这些应用需求。采用硅微加工技术制造的硅基微机电系统（MEMS）六轴力/力矩传感器具有微型化和批量制造的优势，为解决尺寸大、成本高等问题提供了理想的方案。据麦姆斯咨询报道，近期，西安交通大学赵立波教授、韩香广助理教授团队开发出一种基于电容检测原理的三明治结构MEMS六

MEMS 2024-12-17 217浏览
MEMS智能传感器技术分会场活动召开@世界传感器大会

12月1日， MEMS智能传感器技术分会场活动在郑州国际会展中心成功召开。本次论坛邀请了MEMS与智能传感器的专家学者，围绕智能传感器行业发展存在的突出问题及薄弱环节，以及我国MEMS与智能传感器技术的核心竞争力进行了深度探讨。中国工程院院士、陕西省科协主席、西安交通大学蒋庄德教授亲临大会并为本分会场专题报告致辞。本次会议由郑州市人民政府、中国仪器仪表学会主办，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分

MEMS 2024-12-17 52浏览
xMEMS将演示MEMS扬声器和MEMS冷却芯片解决方案@CES2025

据麦姆斯咨询报道，近日，压电MEMS创新前沿平台开发商和世界领先的全硅MEMS扬声器创造者xMEMS宣布，将在CES 2025上将首次公开展示其最新的MEMS创新产品：Sycamore MEMS扬声器和MEMS冷却（µCooling）芯片——Fan-on-a-Chip（片上风扇）。MEMS冷却（µCooling）芯片Sycamore MEMS扬声器xMEMS营销与业务开发副总裁Mike Housh

MEMS 2024-12-15 49浏览
第十六届传感器与MEMS产业化技术国际研讨会(暨成果展)在上海圆满落幕！

11月14日—15日，由上海市科学技术协会、上海市长宁区人民政府指导,中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术联合国家重点实验室、中国电子学会传感与微系统技术分会、上海工研院SITRI主办,上海新微科技集团有限公司、上海硅巷、上海中科新微信息科技园有限公司、上海龙媒商务咨询有限公司承办，北京赛微电子股份有限公司协办的“第十六届(2024年)传感器与MEMS产业化技术国际研讨会(暨成果展)”（

MEMS 2024-12-14 90浏览
光学脉搏MEMS传感/供能系统应用于人体长期血压监测和静脉PPG波形监测

研究背景随着人工智能（AIoT）革命对可穿戴电子产品的需求不断增加，微型供能系统在实现高功率输出、高面容量而面临着更严峻的挑战。本文提出了一种超氧活化的三电子转移 (Ni↔Ni³⁺)氧化还原反应新机制，同时实现了微型水系镍锌电池（CPS-Ni||Zn MB）的高能量密度及高功率密度，并作为应用展示，以制作的MB作为MEMS集成化供能系统，结合PPG传感系统实现了人体长期血压/静脉实时监测。Ultr

MEMS 2024-12-13 55浏览
深迪半导体：智能生活源于一颗颗米粒般的MEMS芯片

深迪半导体：智能生活源于一颗颗米粒般的MEMS芯片深迪半导体（绍兴）有限公司是一家专注于商用MEMS（微机电系统）传感器技术的高科技企业，特别是在MEMS陀螺仪和加速度计领域拥有显著的技术优势和市场影响力。作为中国首家成功研发并量产商用MEMS陀螺仪的公司，深迪半导体在行业内树立了标杆，引领着中国MEMS传感器技术的发展方向。2022年深迪半导体柯桥基地投产。据介绍，“深迪半导体”目前主要为客户提

MEMS 2024-12-11 94浏览
地球山与AudioPixels合作的第二代MEMS扬声器取得重大进展

据麦姆斯咨询获悉，近期，地球山（苏州）微电子科技有限公司（简称：地球山）与以色列Audio Pixels联合研制的数字像素级MEMS扬声器技术取得重大突破。双方研制的第二代MEMS扬声器所达到的声压级已被验证符合其商业化可行性的数字声音重建（DSR）扬声器平台的目标，不但实现了全频域的音质效果，而且还提高了MEMS扬声器芯片的声压级别。地球山研发的MEMS扬声器晶圆Audio Pixels技术利用

MEMS 2024-12-10 142浏览

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