一封装工艺设备
1 共晶贴片
主要功能:实现激光器芯片与管座或者热沉的共晶贴片焊接。
控制参数: 1 焊接的温度曲线
2 焊接位置精度
3 压力
4 保护气体
2 绑线连接
主要功能:实现激光器芯片与管座或者热沉的电通路连接。
控制参数:1 焊接的温度
2 焊接位置精度
3 压力
4 超声波强度
3 检查
主要功能:贴片,芯片,金线键合等表面缺陷检验。
控制参数:放大倍率
4 透镜与光纤耦合
主要功能:将激光器发出的光进行整形。进入光纤或空间输出。
控制参数:1 光斑
2 耦合效率
5 烘烤、老化
主要功能:芯片的加电老化,工艺过程的应力释放,胶水的固化。
控制参数:1 电压电流
2 温度曲线
3 时间
6 封盖-平行缝焊
主要功能:封盖,封帽,密封
控制参数:1 电压电流
2 压力
3 对位
4 露点
5 气体成分
7 捡漏-粗检验-细检验
8 测试
主要功能:P-I-V,光斑,光谱,眼图根据不同需求测试不同电参数与光参数。
控制参数:1 电压电流
2 温度
3 距离
芯片测试探针台,电流源,电压源,信号发生器,光谱仪,示波器,温度控制器,光斑分析仪,功率计等仪器设备。
二 封装结构
1 TO
2 蝶形
3 F-mount,C-mount,G-stack
三 关键物料
1 焊料
焊料:Au80Sn20
用于芯片与热沉之间的焊接
优点: 1 热膨胀系数低
2 拉伸强度大可以满足气密性
3 延伸率低保证焊接可靠性
4 熔点280度
5 热导率 57W/m.K焊料中最高
抗蠕变性,高低温循环老化稳定。
2 热沉
ALN:1 导热率高散热性能好
2 热膨胀系数于硅 GaAs接近
3 介电常数低
4 介质损耗小
5 强度高
CuW:具有钨的低膨胀特性,又具有铜的高导热特性,可以与陶瓷材料半导体材料、金属材料等形成良好的热膨胀匹配
4 胶水
银胶:用于粘结导热或者导电的元器件,具有优良的导热和导电性能。比如H20E,京瓷纳米银浆
环氧胶:UV胶,密封胶,用于粘结元器件。高的剪切力强度,瞬间固化,低的收缩系数。种类繁多,根据不同应用选用不同的胶水。