ASML光刻设备“断供”?中芯国际或受重创

芯世相 2019-11-07 13:21

据外媒报道,ASML(阿斯麦)很可能向中国断供光刻设备,中芯国际或因此受到重创。


 

荷兰半导体设备供货商 ASML 供应极紫外光(EUV) 光刻机给中国客户的计划将暂时中止,据多位 ASML 供货商关系人士指出,ASML 原先计划在 2019 年底之前供应 EUV 光刻机给中芯国际,不过该计划目前已暂时喊停。


一位关系人士表示,ASML 是为了避免因供应最先端设备给中国、因而刺激到美方,因此决定暂时中止交货。EUV 光刻机目前是由 ASML 独占进行研发、制造,无法寻求到替代品。

  

目前尚不清楚是在美国设有生产厂的ASML延迟向中国中芯国际发货,是由于美国当局的直接或间接压力,还是因为ASML也在寻求荷兰政府的新出口许可证。

该公司表示:“荷兰政府目前正在处理EUV出口到中国的续期/延期的请求。在此之前,我们无法将EUV运往中国。


在主流微电子制造过程中,光刻是最复杂、昂贵和关键的工艺,占总成本的1/3;目前的28nm工艺则需要20道以上光刻步骤,耗费时间约占整个硅片工艺的40-60%。光刻工艺决定着整个IC工艺的特征、尺寸,代表着工艺技术发展水平。由于高技术要求,光刻机制造难度极大,全世界只有少数几家公司能够制造,主要有阿斯麦Nikon和 Canon等。国内光刻机厂商有上海微电子、中电科集团四十五研究所、合肥芯硕半导体等,由于技术难度巨大,短期内还是处于相对劣势的地位。


 

阿斯麦的主要业务是光刻机,在光刻机领域处于绝对领先的地位,因为制作光刻机的成本过高再加上复杂的制造工艺的限制,即使是ASML每年也只能产出几十套设备。在45纳米以下制程的高端光刻机市场中,阿斯麦占据80%以上的市场份额,而在EUV光刻机领域,目前处于绝对垄断地位,市占率为100%,处于独家供货的状态。

 

阿斯麦的主要客户为全球一线的晶圆厂,除了英特尔三星台积电这三大巨头之外,国内的中芯国际也是阿斯麦的客户。按照媒体报道,中芯国际的这台EUV微影设备最迟2018年5月才下下单给ASML。因为光刻机造价高昂、年产量非常有限,所以ASML采取按订单排产,这个周期一般是18个月左右。


据了解,EUV 是生产 7nm 以下制程所必要的技术,不过中芯国际自 2019 年起才开始进行 14nm 产品的测试量产,因此即便无法拿到上述的 EUV 光刻设备,预估也不会立即对其业绩带来影响。

 

中芯国际为中国最大的晶圆代工厂,不过其全球市占率仅约 5%,和掌控约 5 成市占率的台积电之间的差距巨大。 台积电、三星已于 2019 年导入量产最先端产品的 EUV 设备,且苹果预计 2020 年下半年开卖的新型 iPhone 预估就会搭载采用该技术的 CPU。

 

中国市场占 ASML 营收比重约 2 成、仅次于南韩(35%),因此 ASML 并不是完全取消上述供货计划,今后将谨慎确认美中紧张情势是否有好转等情况、再来决定后续的应对之策。


而此前有消息称美国台积电限制为华为制造芯片,可以确定的是长期看,美国肯定要制约大陆半导体产业崛起,所以大陆芯片设计公司寻求大陆代工是必然趋势。而作为大陆半导体代工龙头,中芯国际产能充足、产线多样,适合众多芯片代工需求,但是此次如果真的被断供了EUV设备,在先进制程方面恐会有落后。 


目前,中芯国际并未对延迟发货进行回应,只说该项目仍处于“文书工作阶段”。ASML表示,它没有对特定的客户订单发表评论。






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