大基金二期再出手，投资这家半导体设备公司

芯通社 2021-10-19 16:40

入门级示波器多少钱合适？ 精密双向电流传感放大器：精准测量，守护电流安全

大基金一期逐渐退出的同时，二期也在持续跟进。

10月18日，至纯科技公告，为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标，提高产业资源整合能力，公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入核心战略投资者。

根据公告，本次交易前，至微科技注册资本为4.55亿元，依据增资前至微科技25亿元的估值，对应5.4945元/注册资本，本次远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）、上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙）合计向至微科技增资4.2亿元，其中大基金二期和混改基金分别出资1820万元，持股比例为3.42%。

△增资完成后至微科技股东信息（Source：至纯科技公告截图）

公开资料显示，至微科技是承载至纯科技重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿法设备研发和产业化的主体。自成立以来，至微科技完成了系列化产品的研发、制造和销售，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。

此前，至纯科技曾表示，公司28nm节点全部湿法工艺设备已认证完毕。14nm~7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客户产线验证。

免责声明

本平台所刊载的所有资料及图表仅供参考使用。刊载这些文档并不构成对任何股份的收购、购买、认购、抛售或持有的邀约或意图。投资者依据本网站提供的信息、资料及图表进行金融、证券等投资项目所造成的盈亏与本网站无关。除原创作品外，本平台所使用的文章、图片、视频及音乐属于原权利人所有，因客观原因，或会存在不当使用的情况，如部分文章或文章部分引用内容未能及时与原作者取得联系，或作者名称及原始出处标注错误等情况，非恶意侵犯原权利人相关权益，敬请相关权利人谅解并与我们联系及时处理，共同维护良好的网络创作环境。