1、在衬底上形成的,掺杂类型与衬底相反的区域称为阱。
2、离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的注入剂量。
3、光刻的工艺过程有底膜处理、涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、和去胶。
4、腐蚀V形槽一般采用各向异向的湿法化学腐蚀方法。
5、化学清洗中是利用硝酸的强酸性和强氧化性将吸附在硅片表面的杂质除去。
6、半导体中的离子注入掺杂是把掺杂剂离子加速到的需要的能量,直接注入到半导体晶片中,并经适当温度的退火。
7、在晶体管输出电流很大时常使用梳状版图结构。
8、CMOS 逻辑电路中,PMOS 管的体端接VDD。
9、在扩散之前在硅表面先沉积一层杂质,在整个过程中这层杂质作为扩散的杂质源,不再有新的杂质补充,这种扩散方式称为有限表面源扩散。
10、Ⅰ号液是碱性过氧化氢清洗液。
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****半导体器件仿真设计课程开课通知****
课程名称 | 半导体器件与仿真设计 |
课程特点 | (1)详细讲解半导体器件结构参数、电学参数及工艺参数三者的对照关系; (2)可选择课程内容中的任一章进行讲解; (3)将半导体器件物理理论与工艺实践结合起来讲解; (4)针对电参数指标要求,采用TCAD进行半导体器件结构设计,给仿真语句 (5)可选择一对一在线直播讲解的形式,也可以采用先购买录制课程,遇到疑问再答疑的形式; (6)对于课程参与人员的信息保密。 |
题目、内容简介及学时、课时费 | 第一章 半导体器件物理与工艺(4学时,100元/人/时) 主要内容:详细讲解二极管、三极管、MOS管及IGBT器件结构、工作原理、制造工艺、结构参数/电学参数/工艺参数之间的关系等。 第二章 仿真软件语句、实例讲解(4学时,100元/人/时) 主要内容:详细讲解仿真语句和模型,主要讲解半导体器件(diode、BJT、MOS、IGBT)仿真语句和仿真设计方法。讲解过程中也会涉及到电路仿真软件和版图绘制软件。 第三章 XX型号二极管仿真设计(4学时,200元/人/时) 主要内容:根据器件datasheet,完成器件结构参数设计,设计得到的电参数满足指标要求。 第四章 XX型号BJT仿真设计(4学时,200元/人/时) 主要内容:根据器件datasheet,完成器件结构参数设计,设计得到的电参数满足指标要求。 第五章 XX型号MOSFET仿真设计(4学时,200元/人/时) 主要内容:根据器件datasheet,完成器件结构参数设计,设计得到的电参数满足指标要求。 第六章 XX型号IGBT仿真设计(4学时,200元/人/时) 主要内容:根据器件datasheet,完成器件结构参数设计,设计得到的电参数满足指标要求。 第七章 其它类型器件仿真设计(4学时,200元/人/时) 主要内容:根据器件datasheet,完成器件结构参数设计,设计得到的电参数满足指标要求。 |
参考材料 | 实例及手册 |
授课方法 | 直播+讲解+答疑 |
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