关注 | 浸润式微影之父：林本坚的最后战役！

半导体工艺与设备 2021-09-26 08:11 5088浏览 0评论 0点赞

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圣经中，有两个角色80岁后才开始新事业，一位名气很大的先知摩西，另一位则是85岁仍雄心万丈，主动请缨出战亚衲族人的「迦勒」。

10年前，「浸润式微影之父」、前台积研发副总林本坚，在张忠谋80岁生日时，曾写一段祝福的话送给上司，引用摩西的故事，强调：世界上有名的人，都是80岁之后，事业才开始。

对《天下》说到这里，林本坚笑得腼腆，他认为，张忠谋就像摩西，是开路者；而自己像迦勒，是战士、是打仗的人，「我体力虽没有年轻时好，但仍然很活跃的，还能和年轻人较量网球，」他笑着说。

林本坚，今年79岁，觉得自己「还没成年」，正要开始新事业！

中研院首位产业界院士，掌舵清大半导体学院

接受《天下》专访这天，新竹午后明媚的斜阳映入清大教师休息室，林本坚穿着一丝不苟黑西装、发丝梳得笔直，眼神坚定，他将成为清华大学首任「半导体学院院长」，学校刚成立筹备处，预计明年开始招收硕士班学生。

向清大校长贺陈弘推荐林本坚的，是当时的成大副校长吴诚文。

他表示，林本坚身为中研院史上第一个产业界出身院士，在业界、学界都地位尊崇，「有号召力，可为清大带来其他学校没有的竞争力。」吴诚文已于8月重回清大，担任电机系特聘讲座教授。

吴诚文当初告诉贺陈弘，清大在材料研究领域非常强，未来半导体业所需人才，逐渐往材料、设备领域位移。在此趋势下，最适当的人就是林本坚，「他当院长的好处是他在台积做到高位、有重大发明、Morris（张忠谋）也很敬重他，林本坚又熟悉设备、材料，这正是清大强项，可以让清大跟其他学校有区别。」

他笑着说，清大抢先找了林本坚，先声夺人；阳明交大因此跟进，也找了另一个台积退休大将、前技术长孙元成，掌管半导体学院；成大亦有重要人选正在评估。

「现在压力在台大那里了，」吴诚文说。

科技业传奇，发明浸润式微影将摩尔定律推进七代

林本坚，台湾科技业传奇人物。一生追寻光影，人生中有两道关键之光：追随耶稣的圣光和半导体之光。

他在IBM待了22年，2000年后加入台积，推动牵动全球半导体高阶制程最关键的浸润式微影技术，将摩尔定律推进了七代，让台积得以引领全球半导体业技术，成为与英特尔、IBM大厂一较高下的幕后功臣。

从台积退休后几年，林本坚常走到住家附近的关新胜利堂传道，专心投入基督教传福音、服务会友（教会的朋友），甚至夜半三更还在接会友电话，帮他们做心理辅导。

但他感叹地说，也许上帝没打算让他成为全天候的传道者。5年前他开始在清大担任讲座教授，发现传道、授业、解惑的教师角色一如传福音，都在帮助人们得到丰富的生命，因此当清大要成立半导体学院，找他当院长，他「义不容辞」。

「我其实没有花很大力气来说服他，」清大校长贺陈弘说，「林院士不需要钱、也不被金钱诱惑，所以，与其说我争取他，不如说是林院士觉得做半导体学院，是有意义的事！」

苏格拉底式辩论课，培养半导体专才、通才、活才

林本坚要培养半导体的「专才」、「通才」、「活才」。

「专才」指具备扎实的知识理论基础，如林本坚大学时就对数理化用心学习，又毕生投入光学领域的技术突破，将本科学好，培养科学型人才，是台湾半导体学院当务之急。

「通才」则指除了精通自己的学问，还能与机械、物理、设备、设计、制程或材料等其他领域的专才沟通、合作，「要知道其他人在做什么，」然后共同协作、为技术创造更大突破。

「活才」则是具备「解决新问题的能力」。林本坚认为，半导体技术快速迭代，所以必须有新点子、新创意、新方法，才能为公司或为世界解决问题、开创新局。

他回想当年在IBM，尽管懂微影，却不懂与微影搭配的蚀刻技术，是靠与同事请益、合作，才有所理解，这是他从专才到通才的过程。但他希望从学校，就要求学生多选修、成为通才。

要培养活才及独立思考能力，他在教授「半导体纳米微影」课程上，就常进行彷彿苏格拉底式的辩论课，例如他会询问某制程为何会产生放大率的变化？刻意挑战学生：是因为光的方向？冷缩热胀？还是其他原因？

他会要求同学提出至少三种方法并论证优缺点，未必只有一个正解，「我希望他们理解：思考事情、找方法，不只有一个答案。」

过去，林本坚最著名的一点，是只要当他认定某件事在科学上是正确的，绝对坚持下去，「虽千万人吾往矣。」

最著名的事迹，是当初他在扶持浸润式微影技术时，几乎与整个半导体业界对干。

他在日常生活，一样秉持这样的科学精神。例如，他练习打网球时，在球拍上装有感测器，可以显示球的速度、旋转率、球打中球拍的位置是中心或旁边，「这样我就能量化自己的进步，」林本坚说。

林本坚校园人气十足，同学暱称他为「Burn爷爷」，清大7月在官方脸书公布他将成为半导体学院院长，就吸引超过300则同学留言：「XXX，是你最爱的Burn爷」、「名师出高徒」、「回来浸润一下」、「半导体大师」、「工作的保证」。清大内部人士笑说，「Burn爷爷佳评如潮。」

林本坚打算为半导体学院学生聘请海内外权威、技术专家，以co-teaching（协同教学）方式，让学生在台湾校园，就能掌握全球技术进展和实务趋势。

门徒高蔡胜：林本坚给了我国际级战役与视野

只不过，留在台湾念硕、博士，真能成为国际级的人才？

林本坚认为可以，他举了个实例：自己得意部属、前台积OPC（光学接近修正）与光罩部门处长高蔡胜。

「他是国际级的权威，」他说。

高蔡胜毕业自清大物理研究所博士班，是道地土博士，「但我念博士班时，就知道自己这辈子得不到诺贝尔奖，」高蔡胜回想，「我很清楚自己的智力到哪，名、利都不能强求，得自己来。」

是林本坚，给了他国际级的战役与视野。

2000年，林本坚被台积前共同营运长蒋尚义延揽，也找高蔡胜加入台积任技术副理，自此跟着林本坚闯荡半导体江湖。林本坚在各大国际论坛发表论文、讨论技术趋势、提倡浸润式微影制程，自己就跟着去。「当时有很多公开场合的仗要打，我就是当打手！」高蔡胜哈哈大笑、说得直白。

ASML副总裁严涛南：已答应林本坚邀请，将赴清大授课

高蔡胜被林本坚找来当未来清大半导体学院执行长，他说，只要同学在校期间「每个项目都好好做」，就算不出台湾，也能成就事业，成功与否，取决于「本事」与「机运」！

「本事是自己的学问与知识基本功要好，机运则是，找一位肯真心提拔、指点你的大师，为你开拓职涯，」高蔡胜说，与其到美国、澳洲念间不知名大学，不如在台湾找好教授、好业师，让伯乐（业师）引领你，就像当年，林本坚是他的伯乐。

林本坚指出，台湾现在有台积电，也有从IC设计、封装测试等半导体产业链各领域权威，每年都发表国际论文、为科技持续突破。未来这些业界翘楚，都会是学院邀请的关键业师。

例如，他另一个台积旧部属，现任ASML全球副总裁严涛南。

人正在美国的严涛南说，自己已经答应林本坚的邀请，未来会在清大半导体学院当兼任教授授课，「Burn不是manager、他是一个leader！台湾半导体技术研发的成功与这些领导者的存在有关，每个人都可以购买设备，但是否具备领导力？才是关键。」

「我们（台湾半导体）以前落后很多，但现在我们领先很多了！」林本坚也有信心，掌舵半导体学院、有他找来的权威业师，本土人才也能发光发热，他要培养出能与全世界竞争的领导型人才。

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