清洗步骤在晶圆制造过程中越来越多。随着制程的推进，晶圆制造的良率也开始下降。为了应对这一问题，有效的解决方法之一就是增加清洗工艺，在80-60nm制程中，清洗工艺大约100多个步骤，而到了20-10nm制程，清洗工艺上升到200多个步骤以上。亚化咨询数据显示，目前中国大陆共计有17座12英寸晶圆厂处于建设当中。项目主要分布在北京、合肥、山东、福建及江浙一带，具体项目信息如上表所示。晶圆厂的扩产势必也会拉动对国内清洗设备的需求。根据Gartner统计数据，2018年全球半导体清洗设备市场规模为34.17亿美元，2019年和2020年受到全球半导体行业景气下降的影响有所下行，分别为30.49亿美元和25.39亿美元，预计2021年后随着全球半导体行业复苏，半导体清洗设备市场会逐年增长，预计2024年达到近32亿美元。来源：海关数据，亚化咨询《中国半导体晶圆厂设备国产化季度报告》把目光看向国内，海关数据显示，2020年中国半导体湿法刻蚀及清洗、剥离设备的进口额已经突破6亿美元，进口金额仍然不小。根据亚化咨询数据，清洗设备是国产化率最高的半导体设备。结合未来晶圆厂建设进度，可以预测，中国国内每年装机需求强劲，依然有很大的上升空间。来源：亚化咨询《中国半导体晶圆厂设备国产化季度报告》根据Gartner数据，国际上共有5家企业在生产单晶片清洗设备，分别是Screen Semiconductor Solutions、TEL、Lam Research、SEMES和ACM Research（盛美）。那么，国内主流FAB对这些厂家的偏爱如何？直接拿数据说话！据亚化咨询统计，长江存储、华虹无锡、上海华力二期项目共累计采购的200多台清洗设备中，按中标数量对供应商排序依次是Screen、盛美半导体、Lam Research、TEL、北方华创、沈阳芯源等。盛美半导体的市场份额排名第二，已超过Lam Research。来源：亚化咨询《中国半导体晶圆厂设备国产化季度报告》截至2021年8月19日，长江存储共累计中标141台清洗设备，其中国产设备占比高达26.95%，而盛美半导体就占去了24.11%的比重！华虹无锡项目采购的50多台清洗设备中，其供应商按中标数量排序依次是Screen、盛美半导体、Lam Research、TEL，所占份额依次是54%、21%、21%、2%，盛美半导体与Lam Research所占份额相同。上海华力二期项目采购的70多台清洗设备中，其供应商按中标数量排序，前三依次是Screen、Lam Research、盛美半导体。根据以上三个项目，结合国际市场情况，不难发现，国产清洗设备在国内的FAB中很受青睐，采购比例远超国际份额！根据亚化咨询整理自招标网的数据显示，目前盛美半导体已经累计中标超过100台半导体专用设备。可见半导体清洗设备国产化的进程正持续推进，加之存在半导体设备国产化率的指标，也给了国产供应商不断调试、持续进步的机会。湿法制程设备与技术论坛2021将于11月3-4日在杭州召开，探讨新形势下湿制程设备产业发展的现状与趋势、上下游市场产生的新需求等问题，为湿制程设备业持续发展提供坚实的支撑。会后，论坛还将组织特有的产业链对接互动等活动。
会议主题
1、半导体设备行业经济运行剖析和成长瞻望
2、中国半导体设备行业支撑政策讨论
3、泛半导体领域湿法制程设备关键技术、近况和成长趋势
4、特色湿法制程设备分享及技术能力展示
5、湿法制程设备制造的焦点手艺和共性手艺探讨
6、湿法设备要害部件的研发及量产进展
7、半导体技术革新对设备产生的新需求
8、湿法制程配套耗材产业现状及发展
9、上下游对接互动
10、商务考察
同期，另有 第四届中国半导体大硅片论坛，欢迎点击图片报名！
会议日程 |
硅外延片的生产技术及市场需求 ——合晶科技 |
集成电路用硅片未来发展技术趋势 ——国内半导体硅片厂 |
重掺As衬底上的外延工艺/SOI技术 ——上海新傲科技 |
半导体大尺寸单晶生长的挑战 ——南京晶能 |
电子级多晶硅的生产技术与市场 ——Hemlock |
电子级多晶硅国产化 ——黄河水电 |
中美贸易战和瓦森纳协议对中国半导体大硅片产业发展影响 ——国内某存储企业 |
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更多精彩报告有待后续揭晓！！！
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