2019年全球刻蚀市场觃模达到 115亿美元,复合年增长率近19%。叐终端应用市场蓬勃发展 、及半导体制造技术升级驱劢 ,根据SEMI预测,预计到2025年,全球刻蚀设备市场觃模将增长至 155亿美元,CAGR约为5%。 介质刻蚀不硅刻蚀各占据约半壁江山;电容性等离子刻蚀机(CCP)主要应用亍高硬度介质材料的刻蚀,电感性等离子刻蚀机(ICP)主要用亍硅材料等软性材料刻蚀。半导体行业发展遵循螺旋式上升 规律,随着半导体行业日趋成熟,终端应用渗透越来越广泛,特别是集成电路和微观器件品类越来越丰富,下游晶囿厂的资本性支出的波劢和行业周期性有望降低。5G+AIoT赋能下,电劢汽车、新能源发电等新兴创新市场高速发展,应用端硅含量大幅提升,带动全球半导体需求蓬勃迸发。终端应用多样化性增加,制造技术也同步分化,且技术迭代加快,下游产品定制化趋势明显。整体需求的迸发,与终端应用和技术的多样化发展,反向驱劢半导体设备需求与技术更迭,预计5G时代全球晶圆制造设备(WFE)市场规模将达到850亿美元量级。刻蚀高价值量+刻蚀用量提升,带动全球刻蚀设备5%复合增速。材料与工艺持续变革,刻蚀壁垒持续加强。更小尺寸、新材料、新晶体管结构等发革对晶囿刻蚀提出了更高的要求。选择性要求方面,多层薄膜刻蚀已成为刚需;准确性要求方面随着存储等器件持续垂直扩展,刻蚀既要在深宽比越来越高情况下保证形成最佳刻蚀轮廓,也要保持相同的特性关键尺寸以维持横向器件密度不变。下游扩产+国产替代,国产厂商迎来黄金发展期。近年来国产厂商产品技术实力快速跃进,市场开拓持续取得新进展,相较其他晶圆前道制造设备,刻蚀设备国产化率已接近20%,处于高位。随着国内晶圆厂、存储器厂商扩产,乘着市场和国产替代的东风,国产刻蚀设备厂商将迎来黄金发展期。
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