国内首台12寸独立式光学线宽测量机台（OCD）
据悉，OCD设备（产品型号为EPROFILE 300FD）是该类型的国内首台机台，主要用于45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测，并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。EPROFILE 300FD测量系统拥有完全自主知识产权，包括宽谱全穆勒椭偏测头、对焦对位系统、系统软件等核心零部件均为自主研发，是真正意义上的高端国产化机台。
精测电子介绍称，OCD设备除具有全自动光学膜厚测量能力外，还可以进行显影后检查（ADI）、刻蚀后检查（AEI）等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度（SWA）、高度/深度等关键尺寸（CD）特征或整体形貌测量，具有高速、准确和非破坏性等特点，是半导体前道检测的关键设备之一。
国内唯一12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）
Review SEM设备是上海精测半导体的另一项主力产品，是先进的全自动晶圆在线电子束缺陷复查和分类设备，对光学缺陷检测设备的结果进行高分辨率复查、分析和分类。
此次出厂的机台配备了基于深度学习的高准确率智能化自动缺陷检测与分类算法，将进一步帮助客户提升缺陷复查分析的效率并显著提升设备使用的便捷性。
