6月30日,由国家智能传感器创新中心(简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。
该中试线以国产设备为主,具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力,同时为国产装备提供验证平台,加速先进传感器产业链国产化,实现自主可控。
面向新兴技术发展和市场应用需求,创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件和新集成等关键共性技术,重点突破光学、声学、力学、生物等先进传感器的核心工艺,并推动相关产品及应用的产业化。
在信息时代,传感器作为海量数据接收和传递信息的入口,是万物互联的重要基础,同时随着近年来物联网的迅速发展,全球进入智能时代,智能传感器在移动终端、智能硬件、智能制造、汽车电子、消费电子等领域具有广阔的应用前景。
国家智能传感器创新中心成立于2018年6月,致力于联合传感器上下游及产业链龙头企业开展共性技术研发,专注传感器设计集成技术、先进制造及封测工艺,布局传感器新材料、新工艺、新器件和物联网应用方案等领域,形成“产学研用”协同创新机制。