中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”,股票代码:688012)今日宣布推出专为高性能Mini LED量产而设计的Prismo UniMaxTM MOCVD设备,该设备在帮助LED芯片制造商提高产能的同时能够有效地降低生产成本。
Prismo UniMaxTM配置了创新的多区温度补偿加热系统,具备优异的波长均匀性、重复性和稳定性。该设备还具有其他一些新颖特征,如喷淋头的优化设计实现了更好的均匀性和产出稳定性、超大直径石墨托盘可大幅提升产能并降低成本。Prismo UniMaxTM MOCVD设备专为高产量而设计,具有业内领先的加工容量;通过石墨盘晶片排布的最优化,其加工容量可以延伸到生长164片4英寸或72片6英寸晶片。
中微公司Prismo UniMaxTM MOCVD设备已收到来自国内领先客户的订单。同时,中微公司正在与更多客户合作进行设备评估。Prismo UniMaxTM 设备拓展了中微公司的MOCVD设备产品线,亦为全球LED芯片制造商提供最新解决方案以应对Mini LED生产带来的挑战。
来源:中微公司
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