Hansch MOS 可靠性模型可用于模拟应力条件下MOS晶体管的退化。器件特性退化的原因是热电子(空穴)注入栅氧化层,以及电子(空穴)电荷被有效界面受主(施主)类陷阱俘获。
该模型根据lucky电子模型计算热电子(空穴)注入电流。在具有一定捕获截面的氧化物-半导体界面上,指定了类受主和类施主陷阱在不同位置的分布。通过瞬态响应计算,得到器件退化与应力作用时间的关系。在每个时间步长上求解了捕获速率方程,从而计算了捕获的电子(空穴)浓度。电子捕获的速率可以用以下方程式来描述:
其中,在瞬态模拟过程中,N(x、t)表示在界面上点x,在时刻t,捕获的电子(空穴)密度。NTA和NTD参数表示在t=0时的类受主和类施主陷阱密度。Jinjn(x、t)和Jinjp(x、t)参数是注入的电子和空穴电流密度,SIGMAE和SIGMAH是电子和空穴的捕获截面。
若要激活此模型,使用DEVDEG,DEVDEG.E和DEVDEG.H(分别考虑热电子和空穴注入、热电子或热空穴注入)。
应力模拟的结果可用于计算退化器件的特性(阈值电压漂移、跨导退化等)。可以查看陷阱的分布、热电子(空穴)电流密度以及捕获电子(空穴)分布。
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****半导体器件仿真设计课程开课通知****
课程名称 | 半导体器件与仿真设计 |
课程特点 | (1)详细讲解半导体器件结构参数、电学参数及工艺参数三者的对照关系; (2)可选择课程内容中的任一章进行讲解; (3)将半导体器件物理理论与工艺实践结合起来讲解; (4)针对电参数指标要求,采用TCAD进行半导体器件结构设计,给仿真语句 (5)可选择一对一在线直播讲解的形式,也可以采用先购买录制课程,遇到疑问再答疑的形式; (6)对于课程参与人员的信息保密。 |
题目、内容简介及学时、课时费 | 第一章 半导体器件物理与工艺(4学时,100元/人/时) 主要内容:详细讲解二极管、三极管、MOS管及IGBT器件结构、工作原理、制造工艺、结构参数/电学参数/工艺参数之间的关系等。 第二章 仿真软件语句、实例讲解(4学时,100元/人/时) 主要内容:详细讲解仿真语句和模型,主要讲解半导体器件(diode、BJT、MOS、IGBT)仿真语句和仿真设计方法。讲解过程中也会涉及到电路仿真软件和版图绘制软件。 第三章 XX型号二极管仿真设计(4学时,200元/人/时) 主要内容:根据器件datasheet,完成器件结构参数设计,设计得到的电参数满足指标要求。 第四章 XX型号BJT仿真设计(4学时,200元/人/时) 主要内容:根据器件datasheet,完成器件结构参数设计,设计得到的电参数满足指标要求。 第五章 XX型号MOSFET仿真设计(4学时,200元/人/时) 主要内容:根据器件datasheet,完成器件结构参数设计,设计得到的电参数满足指标要求。 第六章 XX型号IGBT仿真设计(4学时,200元/人/时) 主要内容:根据器件datasheet,完成器件结构参数设计,设计得到的电参数满足指标要求。 第七章 其它类型器件仿真设计(4学时,200元/人/时) 主要内容:根据器件datasheet,完成器件结构参数设计,设计得到的电参数满足指标要求。 |
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