近日，无锡中微晶园电子有限公司（简称：中微晶园）马博受邀于江南大学集成电路学院展开“MEMS技术在传感、通信和计算领域的产业化应用”主题讲座。
讲座当天，中微晶园马博首先回溯MEMS技术发展历程并介绍了该项技术的工艺和材料基础。MEMS即微机电系统技术，它融合了机械、电子与材料科学的交叉领域，正以革新性姿态重塑各个行业的技术生态，是现实模拟世界与虚拟数字世界之间需要互动的桥梁。未来，新材料、新工艺、AI世界将为MEMS技术赋能新的创新动力。
其后，中微晶园马博分别从传感、通信、模拟计算、硅光技术四个方面详细讲解了MEMS技术在这些领域的产业应用。在传感方面，马博分析了MEMS应用在压力传感器、加速度计、角速度传感器、封装、热电堆探测器、非制冷红外探测器等技术中的原理和效果；在通信方面，马博讲解了SAW滤波器技术、FBAR滤波器技术、SMR滤波器技术的特性与应用领域及关键技术点；在模拟计算方面，他提出MEMS谐振器的机械振动频率可被用于模拟乘加运算，显著降低人工智能（AI）推理的能耗；在硅光技术方面，马博指出，MEMS技术与硅光子学的结合，通过将微机械结构与硅基光电子器件集成，实现了光信号的动态调控和高密度集成，两者的协同推动了光子器件的小型化、动态可重构及大规模集成，催生了高性能光子集成电路（PIC）的发展。
最后，中微晶园马博展望MEMS与半导体产业、前瞻二维材料、AI等领域结合的巨大潜力，引发在座师生对相关领域研究方向与未来发展机遇的深入思考。讲座结尾，师生们踊跃互动，积极与嘉宾探讨交流，整场讲座氛围热烈，师生们均收获满满。
